產(chǎn)品展廳收藏該商鋪

您好 登錄 注冊

當(dāng)前位置:
東莞帕薩電子裝備有限公司>>半導(dǎo)體系列>>等離子體增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備(PECVD)

等離子體增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備(PECVD)

返回列表頁
  • 等離子體增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備(PECVD)

收藏
舉報
參考價 面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 型號
  • 品牌
  • 廠商性質(zhì) 其他
  • 所在地

在線詢價 收藏產(chǎn)品 加入對比

更新時間:2021-11-12 16:05:53瀏覽次數(shù):724

聯(lián)系我們時請說明是制藥網(wǎng)上看到的信息,謝謝!

聯(lián)系方式:錢鋒查看聯(lián)系方式

產(chǎn)品簡介

等離子體增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備(PECVD)產(chǎn)品介紹◆用工控機對工藝時間,溫度,氣體流量,閥門動作,反應(yīng)室壓力實現(xiàn)全自動化控制

詳細介紹

等離子體增強化學(xué)氣相沉積設(shè)備(PECVD)
產(chǎn)品介紹
◆用工控機對工藝時間,溫度,氣體流量,閥門動作,反應(yīng)室壓力實現(xiàn)全自動化控制。
◆采用進口壓力控制系統(tǒng),閉環(huán)系統(tǒng),穩(wěn)定性高。
◆采用進口耐腐蝕不銹鋼管件、閥門,確保氣路氣密性。
◆具有完善的報警功能及安全互鎖裝置。
◆具有超高溫報警及欠溫報警,MFC報警,反應(yīng)室壓力報警,RF報警,壓縮空氣壓力低報警, N2壓力低報警,冷卻水流量低報警。
◆現(xiàn)有的PECVD改造升級后具有生長SiO2薄膜的功能,解決了電池組件PID問題。
同時可生長SiNxOy薄膜(背面鈍化工藝),可極大地提高電池的轉(zhuǎn)換效率。



類型Type
◆裝片數(shù)量:384片/舟(125*125) 336片/舟(156*156)
◆凈化臺潔凈度:100級(10000級廠房)
◆自動化程度:自動控制溫度及工藝過程。
◆送取片方式:軟著陸式,其特點平穩(wěn)可靠、無爬行、定位準(zhǔn)確、承重量大,使用壽命長。


主要技術(shù)指標(biāo) 
每管裝片量384片/舟(125*125) 336片/舟(156*156)
工藝指標(biāo)片內(nèi)±3%,片間±3%,批間±3%
工作溫度200~500℃
溫區(qū)精度及長度(靜態(tài)閉管測試)1200mm±1℃
氣體流量精度±1%FS
氣路系統(tǒng)氣密性1×10-7Pa.m³/S
控制全進口自動壓力閉環(huán)調(diào)節(jié)系統(tǒng),精準(zhǔn)控制反應(yīng)真空;40KHz  高頻電源;工藝舟軟著陸;全數(shù)字式控制,完善安全的過程控制保護。
1管、2管、3管、4管分別可選;自動裝載機械手可選,設(shè)備性能、工藝性能可與進口設(shè)備媲美。
 

其他推薦產(chǎn)品

更多

收藏該商鋪

登錄 后再收藏

提示

您的留言已提交成功!我們將在第一時間回復(fù)您~

對比框

產(chǎn)品對比 二維碼

掃一掃訪問手機商鋪
在線留言