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詳細介紹
閉管軟著陸擴散系統(tǒng)Closed Tube & Soft Landing Diffusion Furnace
產(chǎn)品介紹 Product Introduction
◆閉管磷擴散、硼擴散，帶有工藝廢氣冷卻定向回收裝置，工藝廢氣集中收集從尾部定向排出；工藝氣體可采用噴淋方式引入到石英管內(nèi)。
閉管擴散方式工藝過程*不受外界環(huán)境干擾，工藝質(zhì)量*受控。
◆自動控制溫度過程及工藝過程，全部采用進口優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品。
◆送取片方式：精心設(shè)計制造的軟著陸裝置，全數(shù)字化控制，性能更加穩(wěn)定可靠，其特點平穩(wěn)可靠、無爬行、SiC漿實現(xiàn)免清洗、
定位準(zhǔn)確、承重量大、使用壽命長。
產(chǎn)品介紹 Product Introduction
◆閉管磷擴散、硼擴散，帶有工藝廢氣冷卻定向回收裝置，工藝廢氣集中收集從尾部定向排出；工藝氣體可采用噴淋方式引入到石英管內(nèi)。
閉管擴散方式工藝過程*不受外界環(huán)境干擾，工藝質(zhì)量*受控。
◆自動控制溫度過程及工藝過程，全部采用進口優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品。
◆送取片方式：精心設(shè)計制造的軟著陸裝置，全數(shù)字化控制，性能更加穩(wěn)定可靠，其特點平穩(wěn)可靠、無爬行、SiC漿實現(xiàn)免清洗、
定位準(zhǔn)確、承重量大、使用壽命長。
主要技術(shù)指標(biāo)
| 工作溫度 | 600-1100℃ |
| 恒溫區(qū)長度： | 1400mm |
| 溫區(qū)精度（靜態(tài)閉管測試） | 800℃＜工作溫度＜1100℃：±0.5℃ 600℃≤工作溫度≤800℃：±1℃ |
| 單點溫度穩(wěn)定性（靜態(tài)閉管測試） | 800℃＜工作溫度＜1100℃：±0.5℃/24h 600℃≤工作溫度≤800℃：±1℃/24h |
| 溫度斜變能力 | 可控升溫速度：（600-1100℃）15℃/min； 可控降溫速度：（1100~600℃）8℃/min |
| 氣體流量設(shè)定精度 | ±1%FS |
| 氣路系統(tǒng)氣密性 | 1×10-7Pa.m³/S |
| 自動送料裝置行程 | ~2000mm，速度：5~1000mm/min，SiC漿承重：20kg |
| 裝片數(shù)量 | 540片/管（槽間距：4.76mm） 1050片/管（槽間距：2.38mm） |
| 凈化臺潔凈度 | 100級（10000級廠房） |
| 三相五線制度 | 380V±10%，50Hz±10%Hz |
| 冷卻水 | 2~4Kgf/cm²，-8L/min |
| 1管、2管、3管、4管、5管分別可選；自動裝載機械手可選，設(shè)備性能、工藝性能可與進口設(shè)備媲美。 | |
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