詳細介紹
閉管軟著陸擴散系統(tǒng)Closed Tube & Soft Landing Diffusion Furnace
產(chǎn)品介紹 Product Introduction
◆閉管磷擴散、硼擴散,帶有工藝廢氣冷卻定向回收裝置,工藝廢氣集中收集從尾部定向排出;工藝氣體可采用噴淋方式引入到石英管內(nèi)。
閉管擴散方式工藝過程*不受外界環(huán)境干擾,工藝質(zhì)量*受控。
◆自動控制溫度過程及工藝過程,全部采用進口優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品。
◆送取片方式:精心設(shè)計制造的軟著陸裝置,全數(shù)字化控制,性能更加穩(wěn)定可靠,其特點平穩(wěn)可靠、無爬行、SiC漿實現(xiàn)免清洗、
定位準(zhǔn)確、承重量大、使用壽命長。
產(chǎn)品介紹 Product Introduction
◆閉管磷擴散、硼擴散,帶有工藝廢氣冷卻定向回收裝置,工藝廢氣集中收集從尾部定向排出;工藝氣體可采用噴淋方式引入到石英管內(nèi)。
閉管擴散方式工藝過程*不受外界環(huán)境干擾,工藝質(zhì)量*受控。
◆自動控制溫度過程及工藝過程,全部采用進口優(yōu)質(zhì)產(chǎn)品。
◆送取片方式:精心設(shè)計制造的軟著陸裝置,全數(shù)字化控制,性能更加穩(wěn)定可靠,其特點平穩(wěn)可靠、無爬行、SiC漿實現(xiàn)免清洗、
定位準(zhǔn)確、承重量大、使用壽命長。
主要技術(shù)指標(biāo)
工作溫度 | 600-1100℃ |
恒溫區(qū)長度: | 1400mm |
溫區(qū)精度(靜態(tài)閉管測試) | 800℃<工作溫度<1100℃:±0.5℃ 600℃≤工作溫度≤800℃:±1℃ |
單點溫度穩(wěn)定性(靜態(tài)閉管測試) | 800℃<工作溫度<1100℃:±0.5℃/24h 600℃≤工作溫度≤800℃:±1℃/24h |
溫度斜變能力 | 可控升溫速度:(600-1100℃)15℃/min; 可控降溫速度:(1100~600℃)8℃/min |
氣體流量設(shè)定精度 | ±1%FS |
氣路系統(tǒng)氣密性 | 1×10-7Pa.m³/S |
自動送料裝置行程 | ~2000mm,速度:5~1000mm/min,SiC漿承重:20kg |
裝片數(shù)量 | 540片/管(槽間距:4.76mm) 1050片/管(槽間距:2.38mm) |
凈化臺潔凈度 | 100級(10000級廠房) |
三相五線制度 | 380V±10%,50Hz±10%Hz |
冷卻水 | 2~4Kgf/cm²,-8L/min |
1管、2管、3管、4管、5管分別可選;自動裝載機械手可選,設(shè)備性能、工藝性能可與進口設(shè)備媲美。 |