主要特點(diǎn)
非氣態(tài)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)由電動(dòng)滑軌式管式爐、三路供氣系統(tǒng)、真空及過濾系統(tǒng)、前驅(qū)體鼓泡裝置，氣體預(yù)熱裝置、軟件控制等部分組成。適用于前驅(qū)體為非氣態(tài)源，如固態(tài)或液態(tài)前驅(qū)體，前驅(qū)體灌溫度可達(dá)400℃，且溫度獨(dú)立可調(diào)，固態(tài)或液態(tài)前驅(qū)體在一定溫度下蒸發(fā)后通過惰性氣體帶入反應(yīng)區(qū)域參與的一些CVD反應(yīng)。
非氣態(tài)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)設(shè)備結(jié)構(gòu)
1. 左右兩端進(jìn)氣抽氣可相互切換；提高基體上涂層的均勻性；
2. 爐體底部在電機(jī)帶動(dòng)下可在導(dǎo)軌上水平移動(dòng)，移動(dòng)速度根據(jù)工藝需要可設(shè)置?！ ?/span>
3. 采用觸摸屏和工控電腦自動(dòng)控制，參數(shù)設(shè)置和操作直觀方便，參數(shù)自動(dòng)記錄保持。
4. 供氣系統(tǒng)可以按照客戶的實(shí)驗(yàn)需求配置幾路質(zhì)量流量計(jì)，流量計(jì)的量程可選，真空系統(tǒng)也可以根據(jù)客戶的需求選擇配置各種真空泵。
技術(shù)參數(shù)：
加熱系統(tǒng)
溫度 | 1200℃（1 hour) |
使用溫度 | ≤1100℃ |
爐膛有效尺寸 | Φ40*800mm（爐管直徑可根據(jù)實(shí)際需要定制。） |
爐膛材料 | 高純氧化鋁纖維 |
熱電偶類型 | K型熱電偶 |
控溫精度 | ±1℃ |
控溫方式 | ?30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定， |
‚操作界面為10”工控電腦，內(nèi)置PLC控制程序 | |
加熱長度 | 150mm |
恒溫長度 | 70mm |
加熱原件 | 電阻絲 |
供電電源 | 220V，50Hz |
額定功率 | 2KW |
三路質(zhì)子流量控制系統(tǒng)
連接頭類型 | Φ6mm雙卡套不銹鋼接頭 |
標(biāo)準(zhǔn)量程（N2) | 100sccm，100sccm、200sccm；（可根據(jù)用戶要求定制） |
準(zhǔn)確度 | ±1.5% |
線性 | ±0.5～1.5% |
重復(fù)精度 | ±0.2% |
響應(yīng)時(shí)間 | 氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec |
工作壓差范圍 | 0.1～0.5 MPa |
壓力 | 3MPa |
接口 | Φ6,1/4'' |
真空機(jī)組
工作電電壓 | 220V±10% 50~60HZ |
功率 | 1千瓦 |
抽氣速率 | 10m³/h |
極限真空 | 5X10-1Pa |
耐壓值 | 0.03MPa |
容油量 | 1.1L |
進(jìn)排氣口徑 | KF25 |
噪音 | 50dB |
連接方式 | 采用波紋管，手動(dòng)擋板閥與波紋管相連 |
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