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1200度實(shí)驗(yàn)用小型PECVD系統(tǒng):等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱洛陽西格馬高溫電爐有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)
  • 所  在  地洛陽市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時(shí)間2024/3/15 8:52:30
  • 訪問次數(shù)102
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西格馬高溫電爐是具有多年專業(yè)研發(fā)生產(chǎn)電阻爐廠家,產(chǎn)品含:箱式電阻爐,箱式馬弗爐,箱式高溫爐,智能馬弗爐,井式高溫電爐,高溫實(shí)驗(yàn)電爐,義齒爐,升降爐,真空氣氛燒結(jié)爐,粉末冶金燒結(jié)爐,真空爐,真空氣淬爐,井式爐,井式滲碳爐,真空退火爐,罩式退火爐,臺(tái)車式退火爐、真空熱壓爐、淬火爐、熱震爐。西格馬高溫電爐質(zhì)量好,性能穩(wěn)定,值得信賴.洛陽西格馬高溫電爐位于中國高溫耐火材料與高溫電爐產(chǎn)業(yè)基地內(nèi)。洛陽西格馬高溫電爐具有多年的研發(fā)與生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)、擁有多項(xiàng)技術(shù)。擁有一批多年從事高溫電爐專業(yè)設(shè)計(jì)、造詣深厚且技術(shù)、實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)豐富的高級(jí)工程技術(shù)人員和管理人員。* 西格馬座落在古都、牡丹之鄉(xiāng)、洛陽市開發(fā)區(qū)。* 西格馬擁有多項(xiàng)高溫技術(shù)和高溫加熱技術(shù)、隔熱技術(shù)、真空技術(shù)。高溫技術(shù)已實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化、成熟化,應(yīng)用于企業(yè)的技術(shù)進(jìn)步,取得了良好的社會(huì)效益。* 2005年被省認(rèn)定為“產(chǎn)品”和“企業(yè)”。被洛陽市評(píng)定為“知識(shí)產(chǎn)權(quán)*單位”。* 2005年已通過ISO9001:2000國際質(zhì)量體系認(rèn)證,企業(yè)的科技水平和管理水平不斷提高。* 公司擁有進(jìn)出口經(jīng)營權(quán)。產(chǎn)品已銷往香港、中國臺(tái)灣地區(qū)以及韓國、越南、馬來西亞等國家。* “西格馬”和“喜格馬”兩項(xiàng)商標(biāo),已在國家商標(biāo)局注冊(cè);“西格馬”和“喜格馬”的品牌效應(yīng),在行業(yè)內(nèi)迅速發(fā)展、不斷提升。* “西格馬”的質(zhì)量方針:誠信為本、品質(zhì)為先,打造實(shí)驗(yàn)室儀器優(yōu)質(zhì)品牌!以人為本、科技創(chuàng)新,全力服務(wù)實(shí)驗(yàn)儀器現(xiàn)代化?。? “西格馬”的口號(hào)是:西格馬爐業(yè)永遠(yuǎn)與實(shí)驗(yàn)室相伴!讓我們共同享受技術(shù)帶來的方便和效益!主要生產(chǎn):等溫空氣循環(huán)淬火爐、鐘罩爐、升降爐、電熱纖維爐、人工智能箱式電阻爐1000℃、1200℃高溫箱式電阻爐、1350℃管式電阻爐、1600℃馬弗爐、1750℃、1800℃箱式高溫爐、2000℃超高溫爐、2600℃超高溫爐、真空氣氛箱式電阻爐、氣壓爐、熱壓爐、真空氣氛管式電阻爐、燃燒燒結(jié)分析儀、氣固催化反應(yīng)爐、藍(lán)寶石晶體生長爐、單雙向料車、電子天平、真空淬火爐產(chǎn)品。擁有多項(xiàng)中國技術(shù)發(fā)明和多項(xiàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)。被省認(rèn)定為“企業(yè)”和“產(chǎn)品”通過ISO9001國際質(zhì)量管理體系認(rèn)證
電阻爐
什么是PECVD系統(tǒng)?PECVD系統(tǒng)由管式爐,石英真空管、真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)等組成
1200度實(shí)驗(yàn)用小型PECVD系統(tǒng):等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

什么是PECVD系統(tǒng)?

PECVD系統(tǒng)由管式爐,石英真空管、真空系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)等組成。 PECVD 系統(tǒng)主要應(yīng)用于金屬薄膜,陶瓷薄膜等,復(fù)合薄膜,石墨烯等生長。 洛陽西格馬可生產(chǎn)1200度實(shí)驗(yàn)用小型PECVD、1200度實(shí)驗(yàn)用雙溫區(qū)管式爐小型PECVD、低真空CVD系統(tǒng)、等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)。

PECVD系統(tǒng)與CVD有什么區(qū)別?

氣相沉積法化學(xué)氣相沉積(CVD)是半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用*為廣泛的用來沉積多種材 料的技術(shù), 包括大范 圍的絕緣材料,大多數(shù)金屬材料和金屬合金材料。

CVD 技術(shù)常常通過反應(yīng)類型或者壓力來分類,包括低壓 CVD(LPCVD),常壓 CVD(APCVD),亞常壓 CVD(SACVD),超高真空 CVD(UHCVD),等離子體增強(qiáng) CVD(PECVD),高密度等離子體 CVD(HDPCVD) 以及快熱 CVD(RTCVD)。

PECVD:是借助微波或射頻等使含有薄膜成分原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進(jìn)行,利用了等離子體的活性來促進(jìn)反應(yīng),因而這種CVD稱為等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD).

PVD和熱錨點(diǎn)CVD相比,PECVD可以在相對(duì)較低的溫度(小于350℃)下沉積出高均勻性薄膜。此外,對(duì)于SiO2, SiNx, a-Si, SiON 和 DLC等材料的沉積,等離子沉積技術(shù)提供了優(yōu)秀的薄膜性能控制(折射率、硬度等)。

1200度實(shí)驗(yàn)用小型PECVD系統(tǒng)用途

1200度實(shí)驗(yàn)用小型PECVD系統(tǒng)是借助射頻使含有薄膜組成原子的氣體電離,在局部形成等離子體,而等離子體化學(xué)活性很強(qiáng),很容易發(fā)生反應(yīng),在基片上沉積出所期望的薄膜。

1200度實(shí)驗(yàn)用小型PECVD系統(tǒng)系統(tǒng)配置;

1、1200度開啟式滑動(dòng)單溫區(qū)真空管式爐

2、等離子射頻電源

3、多路質(zhì)量流量控制系統(tǒng)

4、真空系統(tǒng)(單獨(dú)購買)

1200度實(shí)驗(yàn)用小型PECVD系統(tǒng)特性:

可實(shí)現(xiàn)手動(dòng)滑動(dòng)或自動(dòng)滑動(dòng)、氣路數(shù)量2-5可選擇;溫度范圍寬;濺射區(qū)域長;整管可調(diào);精致小巧,性價(jià)比高,可實(shí)現(xiàn)快速升降溫,是實(shí)驗(yàn)室生長薄膜石墨烯,陶瓷薄膜,金屬薄膜,復(fù)合薄膜等的不錯(cuò)的選擇,也可作為擴(kuò)展等離子清洗刻蝕使用。

1200度實(shí)驗(yàn)用小型PECVD系統(tǒng)主要參數(shù):

系統(tǒng)名稱

SGM 集成型PECVD系統(tǒng)

SGM 1200℃小型PECVD系統(tǒng)

系統(tǒng)型號(hào)

SGM PECVD-12IH-500A

SGM PECVD-12IH-4Z/G

控制方式

液晶屏微PLC控制系統(tǒng)

手動(dòng)

額定溫度

1200℃(可選1300℃、1400℃、1700℃等

加熱區(qū)長度

200mm(可按需定制)

恒溫區(qū)長度

100mm(可按需定制

溫區(qū)

單溫區(qū)(可生產(chǎn)雙溫區(qū)、三溫區(qū))


爐管材質(zhì)
 
石英管

石英管管徑

Φ60mm

Φ50mm

額定功率

1.2Kw

2Kw

額定電壓

220V

滑動(dòng)方式及距離

自動(dòng)滑動(dòng);200mm

手動(dòng)滑動(dòng);200mm

溫度控制

30段程序控溫

50段程序控溫

控制精度

±1℃

爐管工作溫度

<1200℃

氣路法蘭

采用多環(huán)密封技術(shù)卡箍快速連接

排風(fēng)冷卻裝置

的空氣隔熱技術(shù),結(jié)合熱感應(yīng)技術(shù),當(dāng)爐體表面溫升到50℃時(shí),

排溫風(fēng)扇將自動(dòng)啟動(dòng),使?fàn)t體表面快速降溫。

氣體控制方式

質(zhì)量流量計(jì)(按鍵式)

氣路數(shù)量

2路(2-4路)

4路(可根據(jù)具體需要選配氣路數(shù)量)

流量范圍

0-500sccm(標(biāo)準(zhǔn)毫升/分,可選配)氮?dú)鈽?biāo)定

精度

±1%F.S

響應(yīng)時(shí)間

1sec

工作溫度
(流量計(jì))

20-120℃

工作壓力

進(jìn)氣壓力0.05-0.3Mpa(表壓力)

進(jìn)氣方式

采用防倒流設(shè)計(jì)

規(guī)格

中真空(集成型請(qǐng)單獨(dú)購買)

系統(tǒng)真空范圍

10Pa-100Pa

真空泵

雙級(jí)機(jī)械泵理論極限真空度3x10-1Pa,抽氣速率4L/S(選配:其他抽速真空泵),出氣口配有油污過濾器,額定電壓220V,功率0.55Kw

信號(hào)頻率

13.56MHz±0.005%

功率輸出范圍

0W-500W

0W-100W

反射功率

350W

30W

射頻輸出接口

50Ω,N-type,temale

功率穩(wěn)定度

±0.1%

諧波分量

≤-50dbc

供電電壓

單相交流(187V-253V)頻率50/60HZ

整機(jī)功率

≥70%

屏幕顯示

正方向功率,匹配器電容位置,偏置電壓值

爐體外形尺寸
(僅參考)

290×360×350mm

290×350×490mm

系統(tǒng)外形尺寸
(僅參考)

420×1440×1100mm

530×2310×750mm

系統(tǒng)總重量

大約276Kg


 

 

 

 


關(guān)鍵詞:真空泵 過濾器
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