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微型PECVD系統(tǒng)

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具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司
品牌其他品牌
型號(hào)BTF-1200C-S-PECVD
所在地合肥市
廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間2021/6/10 17:15:08
訪問(wèn)次數(shù)848

產(chǎn)品標(biāo)簽:

PECVD

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

（貝意克） BEQ公司是應(yīng)材料界老顧客要求成立的專業(yè)致力于材料制備設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)型企業(yè)。公司擁有多名海歸技術(shù)專家，顧問(wèn)?？稍诓牧涎芯康母鱾€(gè)領(lǐng)域?yàn)槟艖n解難，公司產(chǎn)品設(shè)計(jì)*，注重細(xì)節(jié)，質(zhì)量可靠，售后無(wú)憂。廣泛應(yīng)用于新能源材料，金屬材料，磁性材料，半導(dǎo)體材料，陶瓷材料，電化學(xué)，薄膜材料，CVD,MOCVD，PECVD ,UPECVD,JPECVD,石墨烯，硅納米管，納米線，藍(lán)寶石（LED），光學(xué)材料，齒科等研究領(lǐng)域。

為更好地服務(wù)于顧客，我公司籌建了多功能實(shí)驗(yàn)室，滿足客戶的各種常規(guī)實(shí)驗(yàn)要求，并有專業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)為您提供更*的建議和方案，讓您能*的選擇到Z適合您實(shí)驗(yàn)的設(shè)備。

貝意克（BEQ）以客戶的需求為使命，為材料學(xué)研究者提供Z適合，*的專業(yè)方案。

Best Equipment (貝意克較好的設(shè)備)將是我們一直追求的目標(biāo)。為客戶解決全套方案是貝意克（BEQ）人的追求！

感動(dòng)式服務(wù)贏市場(chǎng)，專業(yè)性理念立品牌。是貝意克（BEQ）的立業(yè)之本！

以人為本，用人求德。是貝意克（BEQ）用人原則！

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實(shí)驗(yàn)電爐,干燥箱,壓力機(jī)等

產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

產(chǎn)地	國(guó)產(chǎn)	產(chǎn)品新舊	全新

微型PECVD系統(tǒng)，它包括小型真空管式爐，石英真空室、真空抽氣與真空測(cè)量系統(tǒng)、氣路系統(tǒng)、射頻電源系統(tǒng)、物料噴射系統(tǒng)。電源范圍寬：0-100W可調(diào)；溫度范圍寬：100-1200度可調(diào)；濺射區(qū)域?qū)挘?-600mm可調(diào)；適用范圍寬:金屬薄膜，陶瓷薄膜等，復(fù)合薄膜，連續(xù)生長(zhǎng)各種薄膜等。增加功能容易，可擴(kuò)展等離子清洗刻蝕等功能。

微型PECVD系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

主要特點(diǎn)

    1. 薄膜沉積速率高：采用了甚高頻技術(shù)，大大的提高了薄膜的沉積速率，沉積速率可達(dá)10Å/S；
    2. 大面積均勻性高：采用了*的多點(diǎn)射頻饋入技術(shù)，特殊氣路分布和加熱技術(shù)等，使得薄膜均勻性指標(biāo)達(dá)到8%；
    3. 一致性高：用半導(dǎo)體行業(yè)的*設(shè)計(jì)理念，使得一次沉積的各基片之間偏差低于2%；
    4. 工藝穩(wěn)定性高：高度穩(wěn)定的設(shè)備保證了工藝的連續(xù)和穩(wěn)定；

5. 選配物料噴射系統(tǒng)，可將原料直接噴射到反應(yīng)區(qū)。

技術(shù)參數(shù)

真空管式爐	爐管尺寸：	外徑Φ50×700mm
	極限溫度：	1200℃
	溫度控制器：	PID自動(dòng)控制晶閘管（可控硅）輸出功率，30段可編程控制器
	zui快升降溫速率：	60℃
	加熱區(qū)：	230mm
	恒溫區(qū)：	100mm
	溫度精度：	±1℃
	電源：	單相220V,交流50Hz
多通道流量計(jì)控制系統(tǒng)	標(biāo)準(zhǔn)量程：	100，200SCCM；（以氮?dú)鈽?biāo)定，除以上標(biāo)準(zhǔn)外量程可選）
	準(zhǔn)確度：	±1.5%
	工作壓差范圍：	0.1～0.5 MPa
	zui大壓力：	3MPa
	接頭類型：	Φ6雙卡套不銹鋼接頭
高真空系統(tǒng)	泵體積流量N₂：	33 L/S
	壓縮比：	≥10¹¹mbar
	實(shí)驗(yàn)真空值：	≤10^-6mbar
	功率消耗：	140W
	啟動(dòng)時(shí)間：	2min
	電源要求：	185-265V AC
射頻電源	信號(hào)頻率：	13.56MHz±0.005%W
	功率輸出范圍：	0-100W
	zui大反射功率：	10W