回轉(zhuǎn)CVD設(shè)備組成：
加熱系統(tǒng)，爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)，螺旋送料系統(tǒng)、供氣系統(tǒng)、真空系統(tǒng)、工控及操作系統(tǒng)。
1、回轉(zhuǎn)CVD設(shè)備加熱系統(tǒng)：
該加熱系統(tǒng)的加熱腔體采用氧化鋁纖維制品，其極低的熱導(dǎo)率和比熱容，保證了爐膛的快速升溫和低蓄熱，特別適合于科研溫，電力調(diào)制器控制；負(fù)載采用小電壓大電流控制，從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命，測溫元件采用K型熱偶。采用單回路溫控儀能夠自整定PID 參數(shù)，無須操作人單位的材料工藝研究。加熱元件選用電阻絲加熱，適合中低溫度加熱系統(tǒng)。
高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負(fù)反饋控制系統(tǒng)，控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控員的干預(yù)，可自行根據(jù)不同溫度曲線的升、降溫要求調(diào)整輸出信號(hào)，同時(shí)系統(tǒng)設(shè)置了超溫、欠溫、斷偶報(bào)警保護(hù)功能，大大降低了對(duì)操作人員經(jīng)驗(yàn)的要求。
2、爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)：
爐管轉(zhuǎn)動(dòng)系統(tǒng)可以讓爐管360°勻速轉(zhuǎn)動(dòng)，轉(zhuǎn)速在0-60r/min連續(xù)可調(diào)，且能在60r/min轉(zhuǎn)速下長時(shí)間運(yùn)行。管內(nèi)壁有石英擋片幫助粉料翻轉(zhuǎn)有助于燒結(jié)得更均勻。
3、螺旋送料器：
先將樣品儲(chǔ)存于樣品罐中，通過螺旋送料器將樣品送入石英管內(nèi)。樣品送完之后送料桿退回到原始位置。周而復(fù)始，達(dá)到自動(dòng)送料。
4、供氣系統(tǒng)：
供氣系統(tǒng)是一種可控制三種氣體按不同流量進(jìn)行混合配比，也可根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求加裝洗氣裝置，質(zhì)量流量計(jì)安裝于密封的可移動(dòng)機(jī)柜內(nèi)，由超潔雙拋不銹鋼管與精密雙卡套接頭連接組成，觸摸屏控制。
5、真空系統(tǒng)：
真空機(jī)組，內(nèi)部安裝BSV-60機(jī)械泵1臺(tái)，電阻真空計(jì)1套，并含有配套使用的波紋管，手動(dòng)擋板閥，卡箍等連接部件。
三、加熱主體設(shè)備技術(shù)參數(shù)：
腔體尺寸 | 外徑Φ280 ，Φ300，Φ400，Φ500，Φ600尺寸可選 （中間異型區(qū)域尺寸） |
爐膛保溫材料 | 氧化鋁纖維 |
表面溫度 | ≤60℃ |
加熱元件 | 進(jìn)口KTL電阻絲 |
加熱區(qū)數(shù)量 | 5區(qū)，每個(gè)溫度獨(dú)立控制，使溫場均勻性更好 |
加熱區(qū)長度 | 300+300+300+300+300mm |
恒溫區(qū)長度 | 真空條件兩端加氧化鋁管堵的情況下，兩個(gè)溫區(qū)設(shè)定同一溫度是恒溫區(qū)可達(dá)1200mm |
zui高溫度 | 1200℃ |
建議長時(shí)間使用溫度 | ＜1100℃ |
控溫精度 | ±1℃ |
升溫速率 | 0-20℃/min，建議升溫速率10℃/min |
設(shè)備功率 | 28KW |
設(shè)備工作電源 | 380V/50HZ |
熱電偶型號(hào) | K型 |
控制器 | 可編程控溫儀表，PID調(diào)節(jié)，升、降保溫全自動(dòng) |
控溫方式 | 人機(jī)界面加PLC控制，10寸液晶屏控制，數(shù)字工控儀表雙控，采用工業(yè)智能控溫儀表和軟件實(shí)現(xiàn)雙控，采用模糊型PID控制 |
無紙記錄 | 內(nèi)置存儲(chǔ)記錄運(yùn)行工藝數(shù)據(jù)，外接USB接口，可以電腦連接一鍵拷貝數(shù)據(jù) |
結(jié)構(gòu)描述 | 設(shè)備可對(duì)半電動(dòng)開啟，加快冷卻速度、表面溫度低于60℃ |
轉(zhuǎn)動(dòng)密封收集系統(tǒng) | 爐管一端配有不銹鋼密封可轉(zhuǎn)動(dòng)水冷法蘭、螺旋送料裝置 |
四、3路供氣系統(tǒng)參數(shù)
連接頭類型 | 雙卡套不銹鋼接頭 |
標(biāo)準(zhǔn)量程（N2) | 500sccm、1000sccm、2000sccm（量程型號(hào)根據(jù)要求定制） |
zuida壓力 | 3MPa |
接口 | Φ6 |
顯示 | 液晶屏顯示 |
工作環(huán)境溫度 | 5~45高純氣體 |
內(nèi)外雙拋不銹鋼管 | Φ6 |
壓力真空表 | －0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格 |
截止閥 | Φ6卡套接頭 |
五、真空機(jī)組參數(shù)：
空氣相對(duì)濕度 | ≤85% |
工作環(huán)境 | 5℃～40℃ |
工作電電壓 | 220V±10% 50~60HZ |
功率 | 1千瓦 |
抽氣速率 | 60m³/h |
極限真空 | 5X10-1Pa |
工作壓力范圍 | 1.01325X105～1.33X10-2Pa |
耐壓值 | 0.03MPa |
容油量 | 1.1L |
進(jìn)氣口口徑 | KF40 |
排氣口口徑 | KF40 |
連接方式 | 采用波紋管，手動(dòng)擋板閥與波紋管相連 |
電阻真空計(jì)參數(shù)： | |
配用規(guī)管： | ZJ-52T電阻規(guī)， |
測量范圍： | 10 5 ～10 -1 Pa， |
測量路數(shù)： | 1路 |
控制范圍： | 5×10 3 ～5×10 -1 Pa， |
控制方式： | 繼電器觸點(diǎn)輸出，負(fù)載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負(fù)載 |
電源： | 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz， |
功耗： | 20W |
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