JXA-8230 電子探針顯微分析儀
日本電子新開發(fā)出的EPMA (電子探針)秉承近半個(gè)世紀(jì)的EPMA的發(fā)展歷史,JXA-8230具備用戶友好的操作、通過新式簡單易用的PC 用戶界面提供完整范圍的高精度、快速分析,這是JEOL長年來對高可靠性硬件不斷改良的結(jié)果。JXA-8230電子探針是下一代能*多種需求的強(qiáng)力分析工具之一。
EPMA快速啟動(dòng)
點(diǎn)擊任何一點(diǎn),就能開始預(yù)設(shè)的EDS定性、定量分析或WDS分析。
用戶菜單(User recipes)
能保存或調(diào)用經(jīng)常使用的各種不同類型的樣品分析條件,菜單中包括了全部的電子光學(xué)參數(shù)、EDS和WDS參數(shù)在內(nèi)。
EDS 的性能
數(shù)字化脈沖處理器
全譜面分布(WD/ED, 樣品臺(tái)和電子束掃描)
無風(fēng)扇SDD (選配)
JXA-8230 電子探針顯微分析儀
檢測元素范圍 | WDS:(Be)*1 /B~U, EDS:B~U |
X射線檢測范圍 | WDS檢測的波長范圍: 0.087~9.3nm, EDS EDS檢測的能量范圍: 20keV |
分光譜儀數(shù)量 | WDS: 1~5道可選、EDS: 1臺(tái) |
大樣品尺寸 | 100mm × 100mm × 50mm(H) |
加速電壓 | 0~30kV(以0.1 kV為步長) |
束流電流范圍 | 10-12 ~ 10-5 A |
束流電流穩(wěn)定度 | 5%/h, ±0.3%/12h(W) |
二次電子分辨率 | 6nm(W), 5nm(LaB6)*2 (W.D. 11mm, 30kV) |
掃描倍率 | ×40 ~ ×300,000(W. D. 11mm) |
掃描圖像分辨率 | 大 5,120× 3,840 |
彩色顯示器 | EPMA分析用: LCD 1,280 × 1,024 SEM操作、 EDS分析用: LCD 1,280 × 1,024 |
光學(xué)顯微鏡 | |
分辨率 | ~1um |
焦深 | 1um |
真空系統(tǒng) | 機(jī)械泵、分子泵、離子泵 *2 |
真空度 | 樣品室: 優(yōu)于8.0 x 10-4Pa, 電子槍: 優(yōu)于9.0 x 10-5Pa |