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光刻機(jī)

參考價(jià)面議
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱蘇州汶顥微流控技術(shù)股份有限公司
  • 品       牌
  • 型       號(hào)URE-2000A
  • 所  在  地蘇州市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間2017/7/26 11:18:13
  • 訪問次數(shù)1153
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蘇州汶顥微流控技術(shù)股份有限公司是一家留學(xué)人員回國(guó)創(chuàng)業(yè)的*企業(yè),集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售為一體,技術(shù)力量雄厚,生產(chǎn)設(shè)備*,檢測(cè)手段齊全,產(chǎn)品質(zhì)量過硬。公司建立了完備的微流控芯片研發(fā)與生產(chǎn)中心,配置了三條微流控芯片生產(chǎn)    線,包括數(shù)控CNC微加工儀器,軟刻蝕有機(jī)芯片加工系統(tǒng),光刻-掩模無機(jī)芯片加工系統(tǒng),可以加工生產(chǎn)所有材質(zhì)的芯片,如玻璃、石英、硅、PDMS和PMMA等。產(chǎn)品涵蓋集成式通用醫(yī)療診斷芯片、集成式通用環(huán)境保護(hù)分析監(jiān)測(cè)芯片、集成式通用食品安全分析檢測(cè)芯片和基于微流控芯片的新能源體系四大系列數(shù)十個(gè)品種,以及各類科研類芯片,并在生物芯片和化學(xué)芯片領(lǐng)域一直保持技術(shù)和研發(fā)的領(lǐng)先地位,申請(qǐng)國(guó)家89項(xiàng),其中*20余項(xiàng),已經(jīng)獲批注冊(cè)商標(biāo)2件,軟件著作權(quán)7件,江蘇省*產(chǎn)品3項(xiàng),建立企業(yè)標(biāo)準(zhǔn)5項(xiàng)。

 

       蘇州汶顥微流控技術(shù)股份有限公司提供的產(chǎn)品和服務(wù)按市場(chǎng)可分為科研類芯片、儀器標(biāo)配芯片、應(yīng)用類芯片及系統(tǒng)和芯片實(shí)驗(yàn)室解決方案??蒲蓄愋酒?wù)于基于微流控芯片的科研工作者,提供包括聚二甲基硅氧烷(PDMS)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)、玻璃及硅基等各種不同材質(zhì)的微流控芯片的設(shè)計(jì)與制備,用戶只需配置必要的輔助設(shè)備即可使用;儀器標(biāo)配芯片是針對(duì)國(guó)內(nèi)市場(chǎng)上微流控芯片儀器開發(fā)的標(biāo)準(zhǔn)芯片,為微流控芯片儀器的核心組件,屬耗材類產(chǎn)品,如毛細(xì)管電泳芯片;應(yīng)用類芯片及系統(tǒng)是利用微流控芯片的技術(shù)優(yōu)勢(shì)開發(fā)的分析檢測(cè)裝置,應(yīng)用于環(huán)保、食品安全、藥物篩選等領(lǐng)域;芯片實(shí)驗(yàn)室解決方案為客戶提供完整的一對(duì)一的微流控芯片科研或應(yīng)用的解決方案,分為產(chǎn)品和科技咨詢兩個(gè)方面:產(chǎn)品包括微流控芯片加工、檢測(cè)儀器設(shè)備配置及微流控芯片配件配置;科技咨詢?yōu)榭蛻籼峁┙M建芯片實(shí)驗(yàn)室的整體方案、解決微流控芯片應(yīng)用中的技術(shù)難題、微流控芯片項(xiàng)目研發(fā)服務(wù)等。 

 

  按照現(xiàn)代公司制度規(guī)范運(yùn)作企業(yè)是公司創(chuàng)辦伊始就秉承的基本理念,目前,公司的團(tuán)隊(duì)結(jié)構(gòu)、人事制度、財(cái)務(wù)制度、知識(shí)產(chǎn)權(quán)制度等都已經(jīng)逐步形成和完善。公司的口號(hào):高品質(zhì)、高信譽(yù)、高效率。公司的宗旨:以發(fā)明創(chuàng)新為,以科技成果轉(zhuǎn)化為手段,以微流控芯片領(lǐng)域?yàn)橹鲬?zhàn)場(chǎng),走科研成果商品化,商品產(chǎn)業(yè)化,產(chǎn)業(yè)規(guī)?;突牡缆罚宰灾鲃?chuàng)新的核心技術(shù)為基礎(chǔ)的競(jìng)爭(zhēng)戰(zhàn)略為企業(yè)*發(fā)展戰(zhàn)略,整合產(chǎn)業(yè)鏈的各項(xiàng)優(yōu)勢(shì)資源,打造以自主創(chuàng)新為企業(yè)特色的產(chǎn)業(yè)價(jià)值鏈,塑造民族品牌,迎接化的挑戰(zhàn)。

微流控芯片及加工定制,相關(guān)儀器設(shè)備與配件耗材,實(shí)驗(yàn)室組建
中國(guó)光電URE-2000A型光刻機(jī)精準(zhǔn)度高,尺寸豐富,運(yùn)動(dòng)行程多樣化等特點(diǎn)。
產(chǎn)品特點(diǎn):
◆ 曝光面積:150mm×150mm
◆ 分辨力:0.8-1μm(膠厚2μm的正膠)
◆ 對(duì)準(zhǔn)精度:0.6μm
◆ 掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍:X:6mm;Y:6mm
◆ 掩模尺寸:3英寸、4英寸、5英寸、7英寸
◆ 樣片尺寸:直徑15mm-- 150mm;厚度0.1mm--8mm
◆ 照明均勻性: 3.5%(10
光刻機(jī) 產(chǎn)品信息

產(chǎn)品名稱:

中國(guó)光電URE-2000A型光刻機(jī)

光刻機(jī)產(chǎn)品特點(diǎn):

◆ 曝光面積:150mm×150mm

◆ 分辨力:0.8-1μm(膠厚2μm的正膠)

◆ 對(duì)準(zhǔn)精度:0.6μm

◆ 掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍:X:6mm;Y:6mm

◆ 掩模尺寸:3英寸、4英寸、5英寸、7英寸

◆ 樣片尺寸:直徑15mm-- 150mm;厚度0.1mm--8mm

◆ 照明均勻性: 3.5%(100mm 范圍); 5%( 150mm范圍)

◆ 掩模相對(duì)于樣片運(yùn)動(dòng)行程:X: 5mm; Y: 5mm; : 6度

◆ zui大膠厚:500m(SU8膠,用戶提供勻膠條件)

◆ 光源平行性:3.5

◆ 汞燈功率:1000W(直流)

◆ 曝光設(shè)定方式:定時(shí)(倒計(jì)時(shí)方式0.1s-999.9s任意設(shè)定)

◆ 外形尺寸:1400mm(長(zhǎng))1200mm(寬) 2150mm(高)

 

技術(shù)參數(shù)配置:

(1)曝光頭

◆冷光橢球鏡

◆1000W進(jìn)口直流高壓汞燈(德國(guó)歐司朗,長(zhǎng)壽命型)

◆XYZ汞燈調(diào)節(jié)臺(tái)

◆光學(xué)系統(tǒng):固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡1、準(zhǔn)直鏡鏡2、蠅眼透鏡組(100個(gè)透鏡)、i線濾光片、場(chǎng)鏡1、場(chǎng)鏡2、冷光反射鏡1、反射鏡2

◆冷卻風(fēng)扇

◆循環(huán)水冷系統(tǒng)

(2)對(duì)準(zhǔn)工件臺(tái)

◆掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)臺(tái)

◆掩模樣片相對(duì)運(yùn)動(dòng)臺(tái)

◆轉(zhuǎn)動(dòng)臺(tái)

◆樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動(dòng)完成

◆樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu),自動(dòng)調(diào)

◆承片臺(tái)4個(gè)(2英寸、3英寸、4英寸、6英寸)

◆掩模夾4個(gè)(3英寸、4英寸、5英寸、7英寸)

◆基片抽拉式上下機(jī)構(gòu)

(3)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡

◆光源(配備品2只)、電源

◆雙目雙視場(chǎng)對(duì)準(zhǔn)顯微鏡主體

◆目鏡3對(duì)(10倍、16倍、20倍,共6個(gè))

◆物鏡3對(duì)(4倍、10倍、20倍,共6個(gè))

(4)CCD對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)

◆光源(配備品3只)、電源

◆成像光學(xué)系統(tǒng)

◆數(shù)據(jù)采集卡

◆CCD

(5)電控系統(tǒng)

◆汞燈觸發(fā)電源(1000W直流汞燈)

◆單片機(jī)控制系統(tǒng)

◆控制柜桌

◆計(jì)算機(jī)系統(tǒng)及液晶顯示器(21寸寬屏)

(6)氣動(dòng)系統(tǒng)

◆氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開關(guān)等

◆電磁閥驅(qū)動(dòng)

◆氣動(dòng)儀表

(7)其他附件

◆真空泵一臺(tái)(無油泵)

◆空壓機(jī)一臺(tái)(*泵)

◆管道

(8)技術(shù)資料

◆使用維修說明書

◆顯微鏡使用說明書

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