2017-07-26 11:18:131152
- 產(chǎn)品型號:URE-2000A
- 廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
- 品牌:
- 所在地區(qū):蘇州市
圖片描述:
中國光電URE-2000A型光刻機精準(zhǔn)度高,尺寸豐富,運動行程多樣化等特點。產(chǎn)品特點:◆曝光面積:150mm×150mm◆分辨力:0.8-1μm(膠厚2μm的正膠)◆對準(zhǔn)精度:0.6μm◆掩模樣片整體運動范圍:X:6mm;Y:6mm◆掩模尺寸:3英寸、4英寸、5英寸、7英寸◆樣片尺寸:直徑15mm--150mm;厚度0.1mm--8mm◆照明均勻性:3.5%(10
圖片來源: