12X近紫外DI光刻機(jī)-標(biāo)準(zhǔn)單臺(tái)面
類別 | 項(xiàng)目描述 | KST-DI2824-12FHS | 備注 | |
基材 | 基材尺寸(MAX) | 740mm x 638mm | ||
基材尺寸(MIN) | 740mm x 510mm[可壓邊]304mm x 304mm[不可壓邊] | |||
基材厚度 | 0.05-3.5mm | |||
壓板機(jī)構(gòu) | 針對(duì)客戶板定制 | 工藝不同 | ||
解析度L/S | 橋/開窗尺寸 | 50um/75um | ||
線寬解析精度 | ±5um | |||
光源景深 | ±300um | |||
制程 | 感光材料 | 普通防焊油墨;高亮油墨;LDI專用油墨; | ||
均勻性 | 大于等于90% | |||
光源頻譜 | 385~405nm | |||
光源總功率 | 528W | |||
應(yīng)用范圍 | 硬板,柔性板,軟硬結(jié)合板 | |||
適用工序 | 防焊工藝;阻焊工藝; | |||
文件輸入形式 | 資料輸入 | Gerber274X;Gerber274D(強(qiáng)烈不推薦此種格式) | ||
裝機(jī)需求 | 電源供應(yīng) | 三相,AC380V 50HZ 15KW | 不含冰水機(jī)等功率 | |
純凈水需求 | 15~20L(風(fēng)冷冰水機(jī),水冷冰水機(jī)) | |||
單機(jī)設(shè)備重量 | 4500kg(參考值,不同配置重量不同) | |||
外形尺寸(參考) | (W * D * H) 1550mm X2750mm X2150mm | |||
無塵環(huán)境溫度 | 22±2°C | |||
相對(duì)環(huán)境濕度 | 45~60%(不結(jié)露) | |||
無塵等級(jí) | 10W CLASS 或以上 | |||
特殊應(yīng)用 | 圖形漲縮管理 | 固定漲縮;測(cè)量漲縮;自動(dòng)漲縮; | ||
掃碼MARK功能 | 打印日期;時(shí)間;序號(hào);漲縮系數(shù)等; | |||
應(yīng)用管理 | 漲縮管理 | 局部漲縮;區(qū)域漲縮; | ||
資料輸入 | ODB++ | |||
有孔對(duì)位 | 正面對(duì)位 | |||
臺(tái)面系統(tǒng)定制 | 壓板機(jī)構(gòu) | |||
多區(qū)域曝光 | 有 |