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全自動(dòng)內(nèi)外層雙面光刻機(jī) K4100系列雙面光刻

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公司名稱(chēng)廣東科視光學(xué)技術(shù)股份有限公司
品牌
型號(hào)
所在地
廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間2024/10/17 11:09:58
訪問(wèn)次數(shù)66

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全自動(dòng)內(nèi)外層雙面光刻機(jī)K4100系列雙面光刻序號(hào)系列K4100備注設(shè)備型號(hào)KST-DI2428A-12NLB1生產(chǎn)尺寸Max24

全自動(dòng)內(nèi)外層雙面光刻機(jī) K4100系列雙面光刻產(chǎn)品信息

全自動(dòng)內(nèi)外層雙面光刻機(jī) K4100系列雙面光刻

序號(hào)	系列	K4100	備注
序號(hào)	設(shè)備型號(hào)	KST-DI2428A-12NLB	備注
1	生產(chǎn)尺寸	Max 24.5″ × 28.5″Min 12″ × 24″
2	基材厚度	0.08 – 3.2mm
3	線寬解析精度	40um/40um
4	景深	±300um
5	對(duì)位精度(外層)	±8um
6	內(nèi)層層間對(duì)準(zhǔn)精度	15um
7	制板速度	24.5″× 28.5″80mj 7.5 – 8.0 PNL /min
8	感光材料	干膜，濕膜
9	DMD個(gè)數(shù)	6 × 2（共12個(gè)）
10	均勻性	≥90%
11	光源頻譜	405 nm
12	光源輸出功率	60W/頭
	曝光方式	雙面曝光
13	資料輸入	Gerber274X；Gerber274D；ODB++
14	圖形脹縮管理	固定脹縮；自動(dòng)脹縮；分區(qū)脹縮；測(cè)量脹縮；
15	掃碼MARK功能	打印日期；時(shí)間；序號(hào)；脹縮系數(shù)等；
16	靶標(biāo)對(duì)位	正面對(duì)位
17	多區(qū)域曝光	支持
18	工作高度	1050±50mm
19	環(huán)境需求	溫度：22±2°C 濕度：55%±5% 萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室
20	電源需求	三相五線 380VAC/50Hz/30KVA
21	氣壓源需求	5.5Kg/cm2，流量500L/min
22	冰水需求	7-12℃，流量70L/min，壓力2-3Kg/cm2
23	設(shè)備尺寸	3940mm（L）× 2820mm（W）× 2350mm（H）
24	設(shè)備重量	總重約9800Kg（單機(jī)重8300Kg，輸送線約重1500Kg）