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雙腔室多功能磁控濺射鍍膜機

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面議

具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱北京中科科美科技股份有限公司
品牌
型號
所在地北京市
廠商性質(zhì)其他
更新時間2024/5/30 11:04:47
訪問次數(shù)233

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公司介紹主營產(chǎn)品

北京中科科美科技股份有限公司是直屬企業(yè)北京中科科儀股份有限公司的控股子公司，是專門從事真空系統(tǒng)集成產(chǎn)品設(shè)計、制造、銷售和服務(wù)的國家企業(yè)，為客戶提供真空系統(tǒng)整體解決方案和一站式服務(wù)，包括真空集成系統(tǒng)的總體設(shè)計、工程實施、設(shè)備安裝、技術(shù)服務(wù)等。公司主營業(yè)務(wù)分為空間環(huán)境模擬裝置、充氣回收檢漏系統(tǒng)、新能源真空應用系統(tǒng)和大科學工程真空配套四大類別。公司的客戶行業(yè)涉及航空航天、新能源（太陽能和核能）、新興裝備制造、科研院所、大科學工程、工業(yè)鍍膜、汽車制造、電子、低溫、超導、電氣檢測等多個領(lǐng)域。公司擁有的裝備制造實力，通過了ISO質(zhì)量管理體系和中核供應商體系認證，擁有3項發(fā)明及三十余項實用新型，曾參與：神光Ⅲ、北京高能同步輻射光源、特高壓蘇通GIL綜合管廊工程、江門中微子探測等國家大科學工程項目的實施，在真空領(lǐng)域具有的技術(shù)實力。中科科美致力于發(fā)展成為、具有國際競爭力的真空系統(tǒng)集成整體解決方案供應商，實現(xiàn)與客戶的共同成長！

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檢漏設(shè)備

產(chǎn)品簡介在線詢價

該設(shè)備用于各種單層膜、多層膜和摻雜膜系沉積。可鍍各種硬質(zhì)膜、金屬膜、合金、化合物、半導體、陶瓷膜、介質(zhì)復合膜，亦可鍍鐵磁材料。圖示鍍膜機為雙腔室，共用高真空系統(tǒng)；為避免交叉污染，一個腔室可實現(xiàn)電子槍/電阻蒸發(fā)鍍膜，另一腔室可實現(xiàn)濺射鍍膜。

雙腔室多功能磁控濺射鍍膜機產(chǎn)品信息

　　一、應用領(lǐng)域

　　該設(shè)備用于各種單層膜、多層膜和摻雜膜系沉積?？慑兏鞣N硬質(zhì)膜、金屬膜、合金、化合物、半導體、陶瓷膜、介質(zhì)復合膜，亦可鍍鐵磁材料。圖示鍍膜機為雙腔室，共用高真空系統(tǒng);為避免交叉污染，一個腔室可實現(xiàn)電子槍/電阻蒸發(fā)鍍膜，另一腔室可實現(xiàn)濺射鍍膜。

　　二、性能參數(shù)

　　1. 極限真空壓力:5×10^-5Pa;

　　2. 磁控靶：直徑Φ50 數(shù)量：2-4只;

　　3. 靶單位面積功率:(W/cm2)5～20;

　　4. 靶電源功率(W):DC500W，RF500W;

　　5. 基片加熱溫度:0～500℃可控;

　　6. 工藝氣體：MFC 1-3路;

　　7. 樣品架：公轉(zhuǎn) 2-20rpm可調(diào);

　　8. 電子槍：1套 6-10KW 電(氣)動擋板;

　　9. 蒸發(fā)電源：數(shù)量：1-2組功率：2KW 電壓：0-35V;

　　10. 其它配置：偏壓、膜厚儀、薄膜規(guī)、磁控靶電(氣)動擋板可選;