硒化爐

硒化爐
型號：RG-3-8

詳細描述

一、此設備主要用于銅銦鎵硒(CIGS)薄膜太陽能電池的硒化反應處理。
CIGS薄膜太陽能電池首先用磁控濺射制備出銅銦鎵(CIG)薄膜預制層，然后在此設備中用固態(tài)硒源實現(xiàn)硒化處理，從而反應生成CIGS薄膜太陽能吸收層。

二、設備特點：

1、過濾器采用德國萊寶公司結(jié)構(gòu)制作，吸附力強，便于取出清理和更換濾芯。

2、我公司采用的氦質(zhì)譜真空檢漏儀進行壓升率檢測，可保證技術(shù)指標的可信和準確，壓升率指標接近或低于國標的小值。

三、主要技術(shù)參數(shù)

1、額定功率：3 Kw±10%

2、額定溫度：A區(qū)230 ℃、B區(qū)800 ℃

3、冷態(tài)極限真空度：6.67×10-3 Pa(在100℃溫度以下允許抽真空)

4、壓升率：2.0 Pa/h

5、工作區(qū)尺寸：Φ100×600 mm（直徑×長）

6、控溫區(qū)數(shù)：3區(qū)

7、保護氣氛：氬氣

9、充氣壓力：≤500 Pa

10、電源：三相 380V 50Hz