石墨化爐

石墨化爐
型號：ZT-180-16

詳細描述

一、設(shè)備主要用途

主要用于多晶硅生產(chǎn)線中后處理設(shè)備，系為還原爐石墨電極后處理之用，當石墨電極經(jīng)酸洗、高溫烘干后殘余水氣、氯化鹽等需經(jīng)高溫真空煅燒并由載氣排出爐外。設(shè)備分頂部裝料及底部裝料二種爐型供選購，配有ＰＬＣ及人機界面可實現(xiàn)全自動運行。底裝料由于其操作方便，脫氣功能強更受歡迎。一爐大裝載量：350套石墨電極。

二、主要技術(shù)參數(shù)

1. 額定功率：120KW，180KW

2. 工作區(qū)尺寸：Φ500×550（石墨管加熱）

Φ800×550（石墨棒加熱）
3. 高溫度：1650℃

4.極限真空度：6*10-3Pa
5.保護氣氛：氬氣或氮氣
6.大裝載量：350套石墨電極
7.生產(chǎn)周期：50小時/爐

三、結(jié)構(gòu)說明
由爐蓋、爐體、爐底、爐架及平臺、真空系統(tǒng)及電控系統(tǒng)等組成。
特點：爐內(nèi)安裝純化石墨，2000度處理的石墨氈等組成保溫層。
全自動生產(chǎn)模式，長壽命熱電偶控溫，多點監(jiān)視溫度，底裝式方式操作方便，上爐蓋也能打開，維修方便。