90kg多晶硅鑄錠提純爐
型號(hào):ZG-90
詳細(xì)描述:
一、設(shè)備特點(diǎn)
本設(shè)備為立式結(jié)構(gòu),具有高真空、充氣及高溫熔化定向凝固等功能,是多晶硅原料熔化及成錠的優(yōu)選設(shè)備,在添加等到離子加熱源后可滿足部分提純要求。設(shè)備具有自動(dòng)控溫、快速升溫冷卻、快速升降取錠、超壓保護(hù)等功能,同時(shí)設(shè)有操作平臺(tái)方便操作及維護(hù)。
二、技術(shù)參數(shù)
型號(hào) | 名稱 | 額定功率 | 額定溫度 | 坩堝容量 | 定向凝固速度 | 冷態(tài)極限真空度 |
ZG-90D | 多晶硅定向凝固爐 | 160KW | 1600℃ | 90KG | 5-25mm/小時(shí) | 6.67×10-2Pa |