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高性能聚焦離子束系統(tǒng) MI4050

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱柯岷國際貿(mào)易(上海)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地上海市
  • 廠商性質(zhì)其他
  • 更新時間2024/4/26 15:43:51
  • 訪問次數(shù)122
產(chǎn)品標(biāo)簽:

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總部:益弘儀器公司于1976年成立,代理電子顯微鏡已有40多年,經(jīng)驗豐富、服務(wù)口碑頗佳。公司員工逾100位,電子顯微鏡部門維修服務(wù)人員超過40員,其中中國臺灣20多位,中國大陸20多位,如附表一。中國大陸柯岷國際貿(mào)易(上海)有限公司成立于2002年四月。 HHT日立柯岷公司負(fù)責(zé)中國區(qū)域的VIP客戶(例如:中芯國際,臺積電,英特爾集團(tuán)、美光集團(tuán)、三星集團(tuán),Hynix集團(tuán),日立集團(tuán),長江存儲武漢新芯集團(tuán),晶合,睿力,格芯半導(dǎo)體(GLOBALFOUNDRIES);日月光集團(tuán),富士通集團(tuán),江蘇長電科技;LG集團(tuán),友達(dá)集團(tuán),群創(chuàng)集團(tuán),三星集團(tuán),信利集團(tuán);廣達(dá)集團(tuán),富士康集團(tuán),華碩集團(tuán),滬士電子,欣興集團(tuán),健鼎集團(tuán),南亞集團(tuán)……),應(yīng)廣大的臺資外資,半導(dǎo)體,光電企業(yè)與電子相關(guān)企業(yè)在中國大陸投產(chǎn)使用電子顯微鏡售后服務(wù)迫切需求,2002年Hitachi特別委由中國臺灣益弘儀器公司在中國名為柯岷公司負(fù)責(zé)該區(qū)域與售后服務(wù)。十九年多來與臺資、外資電子,光電相關(guān)企業(yè)使用Hitachi電子顯微鏡客戶與柯岷公司建立良好的互動關(guān)系,客戶對柯岷國際貿(mào)易(上海)有限公司負(fù)責(zé)Hitachi電子顯微鏡售后服務(wù)維修保養(yǎng)十分滿意。目前柯岷公司注冊于上海自由貿(mào)易區(qū),總部設(shè)在蘇州昆山地區(qū)?服務(wù)人員計有4位臺籍常駐干部,每位資歷都超過20年維修服務(wù)工作經(jīng)驗。十幾位本國服務(wù)工程師維修服務(wù)團(tuán)隊陣容堅強(qiáng),且均屬專業(yè)電子顯微鏡項目。
研磨機(jī)(研磨儀)
MI4050是具有以下特征的高性能聚焦離子束系統(tǒng):新型電子光學(xué)系統(tǒng),可達(dá)到高水準(zhǔn)的SIM像分辨率?大束流使加工速度得以提升?提高了低加速電壓的分辨率,使得高品質(zhì)TEM樣品制備成為可能可用于截面加工觀察,高品質(zhì)TEM樣品制備,電路修復(fù),Vector Scan加工,微納米級微細(xì)圖形及磨具加工,利用沉積功能制作3維構(gòu)造等眾多樣品加工應(yīng)用。
高性能聚焦離子束系統(tǒng) MI4050 產(chǎn)品信息

◆ 大探針電流90nA,實現(xiàn)快速加工和大面積加工

焊線的截面加工

(加工尺寸 寬:95µm 深:55µm, 加工時間 20min)


◆ 通過提高極低加速電壓(0.5kV~)加工及低加速電壓二次電子圖像分辨率,實現(xiàn)制備損傷率更低的TEM樣品

*1kV以下為選配


◆ 可觀察高分辨率SIM成像(二次電子成像分辨率高達(dá)4nm@30kV)

     

        正常部位                彎折部位

                鋁罐的截面SIM圖像


◆ 采用高精度5軸電動機(jī)械優(yōu)中心馬達(dá)臺

可在樣品臺移動(包括傾斜)時自動對多個部位進(jìn)行多種加工。


◆ *的操作性能和多種多樣的加工模式

截面制備程序加工

TEM/STEM樣品程序加工

自動連續(xù)加工

TEM樣品自動連續(xù)精加工軟件

位圖加工

Vector Scan加工

制備納米精度三維結(jié)構(gòu)樣品 其他

懸空納米導(dǎo)線制作

樣品來源:兵庫縣立大學(xué) 松井真二 先生


◆ SIM像三維重構(gòu)分析

等間隔截面加工與截面觀察的往復(fù)進(jìn)行,可取的多張截面連續(xù)SIM像,并進(jìn)行3維重構(gòu)。由此可判斷樣品中顆粒,孔洞等3維分布狀態(tài)。

     

                                                                    半導(dǎo)體封裝材料中的填料分布分析示例


◆ 使用多路氣體系統(tǒng)(MGS-II)修復(fù)電路

該系統(tǒng)可對應(yīng)保護(hù)膜材料、配線材料、絕緣膜、加速蝕刻等多種用途,照射多種氣體。

 鎢沉積氣體

 鉑沉積氣體

 絕緣膜制備用沉積氣體

 氟化氙蝕刻氣體

 有機(jī)類蝕刻氣體

 碳沉積氣體

使用XeF2氣體實現(xiàn)的大深徑比孔加工

以及采用鎢沉積引線


◆ 豐富多樣的坐標(biāo)鏈接功能

日立公司的坐標(biāo)鏈接功能豐富多樣,可確定正確的加工位置和大幅縮短時間。

 光鏡圖像與SIM像的鏈接

 雙光標(biāo)功能

 日本zhuanli第4634134號 美國zhuanli第7595488號

 與缺陷檢測設(shè)備建立坐標(biāo)鏈接

 已截斷的晶元或芯片也可與缺陷檢測設(shè)備建立坐標(biāo)鏈接。

 CAD聯(lián)用導(dǎo)航軟件


 4通道供氣系統(tǒng)

 自動連續(xù)加工軟件

 TEM樣品自動加工軟件

 控制器顯微鏡 其他

*:可選擇其他MI系列的各種選配件。


關(guān)鍵詞:控制器 顯微鏡
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