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關(guān)鍵詞:測厚儀 非接觸式測厚儀 玻璃測厚 薄膜測厚 膜層測厚 鏡片測厚
Lumetrics 品牌OptiGauge系列厚度測量系統(tǒng)采用了短相干光源的邁克爾遜干涉儀原理。測量原理:低相干邁克爾遜干涉儀
如圖所示:
Light Source(短相干光源)發(fā)出短相干光束,經(jīng)Beamsplitter分束成兩束光,這兩束光通過準直儀聚焦到Measurement arm(測量臂)和Reference arm(參考臂)上;
在測量臂段,光束經(jīng)待測物前后兩表面反射產(chǎn)生兩束反射光;在參考臂段,光束被delay line(延遲線路)中的掃描參考鏡反射。
各反射光束經(jīng)光纖返回到Beamsplitter 中,此時掃描反射鏡反射的光束分別與R1和R2兩束光發(fā)生干涉產(chǎn)生兩干涉信號經(jīng)探測器(光電二級管)轉(zhuǎn)換為電信號再由顯示儀顯示。參考鏡位置可以精確移動,當干涉儀的測量臂與參考臂光程相等時,才能夠發(fā)生干涉。這樣通過監(jiān)控參考鏡的移動,就可以 測量被測鏡的位置。
OptiGauge測厚儀特點
1. 非接觸式、非破壞性;
2. 實時在線測量或離線測量;
3. 可單次測量多層膜,可測 20 層;
4. 探針靈活配置,實現(xiàn)多個不同目標測量 (最多可配8個探頭);
5. 測試速度快(1s)
6. 適用范圍廣
測厚儀性能參數(shù):
型號 | OptiGauge® LT | OptiGauge II | OptiGauge EMS |
測量范圍(n=1.5) | 12μm to 3.3 mm | 12µm to 12 mm | 12µm to 35 mm |
測量層數(shù) | 1 | 20 | 20 |
精度 | ±1μm | ±0.1µm | ±0.1µm |
重復精度 | 1μm 1σ | 0.1µm 1σ | 0.1µm 1σ |
掃描速率 | 50Hz | 50Hz,100Hz 和200Hz可選 | 20Hz |
光源 | 1310nm SLED 45nm wide | 1310nm SLED 45nm wide | 1310nm SLED 45nm wide |
測量頭工作距離 | 25mm and 50mm | 25mm and 50mm | 25mm and 50mm |
光纖長度 | 3m,max 1000m | 3m,max 1000m | 3m,max 1000m |
測厚儀應用領(lǐng)域:
Lumetrics 產(chǎn)品既可以提供獨立的測量頭,也可以集成在各種設備中,廣泛應用在以下領(lǐng)域,
1、光電子行業(yè):
2 、薄膜行業(yè):測量塑料薄膜的厚度
3 、醫(yī)療行業(yè):測量滴液管、塑料管壁厚、糖尿試紙、等
4、單件元件厚度控制(特別適用于紅外材料,測量厚度控制平行度)
5 、平板玻璃厚度測試:浮法玻璃、液晶平板 透鏡中心厚及膠合間隙測量