弱吸收儀測量意義
在高功率激光系統(tǒng)中,光學(xué)鏡片的膜層及體材料吸收較大的話會引起以下熱透鏡效應(yīng)進(jìn)而產(chǎn)生一系列問題:
1.如下圖所示的焦距發(fā)生變化
2.波前畸變
3.退偏
4.膜層吸收是影響薄膜損傷閾值 的一個(gè)重要指標(biāo)
LID原理示意圖
此系統(tǒng)采用光熱偏轉(zhuǎn)技術(shù),用于測量透明光學(xué)材料及鍍膜產(chǎn)品受到激光照射后產(chǎn)生的微弱吸收。在強(qiáng)激光照射下,材料內(nèi)部由于吸收熱能產(chǎn)生折射率梯度現(xiàn)象(熱透鏡效應(yīng)),當(dāng)一束探測光經(jīng)過“熱透鏡”效應(yīng)區(qū)域時(shí)發(fā)生位置偏移,通過PSD位移傳感器測量其位置偏移量。
LID結(jié)構(gòu)圖
LID技術(shù)參數(shù)一覽表
項(xiàng)目 | LID |
儀器原理 | 光熱偏轉(zhuǎn)技術(shù) |
Pump激光器 | UV到IR常見激光波長任選 光束質(zhì)量要求不高,可以同時(shí)配置多臺激光器 不同波長光路切換簡單 |
Probe激光器 | LD 640nm |
儀器校準(zhǔn) | 電極校準(zhǔn) 體吸收:樣品中間鉆孔放置棒型熱敏電 面吸收:表面放置熱敏電阻 |
測試項(xiàng)目 | 體吸收、HR及AR膜吸收 |
LID與PCI比較一覽表
項(xiàng)目 | LID |
樣品屬性要求 | 任何未知樣品或已知樣品 |
測試結(jié)果 | 吸收系數(shù)是值 |
區(qū)分面、體吸收 | 可以 |
樣品規(guī)格 | 方形,且四面拋光(采用sandwich模塊只需兩面拋光); 圓形:厚度1mm,φ25.4mm min:3x3x3mm(采用sandwich模塊) 通常:20x20x10mm |
靈敏度 | 面吸收:0.1ppm 體吸收:0.1ppm/cm |
測量速度 | 40min/片 |
LID校準(zhǔn)-電極校準(zhǔn)
采用電極校準(zhǔn)得出校正因子Fcal, Ilid 為信號強(qiáng)度,Pl 為pump光功率。
特點(diǎn):是無需了解樣品材料的特性,便可提供獨(dú)立校準(zhǔn)。如果改變光熱偏轉(zhuǎn)系統(tǒng)裝置,需要客戶自己插入和連接校準(zhǔn)樣品,利用軟件完成自動校準(zhǔn)。
LID測量結(jié)果