功能
- 高清晰 1/4 VGA 有源矩陣彩色 LCD 顯示器 – 提供有英文界面和中文界面
- 標(biāo)準(zhǔn) RS-232 和 USB(可選 RS-232 和以太網(wǎng))
- 設(shè)有“Quick Setup”(快速設(shè)定)菜單、6 個(gè)區(qū)分上下文按鈕以及一個(gè)簡(jiǎn)便的參數(shù)設(shè)定旋鈕,易于設(shè)定和操作
- 用于開發(fā)、測(cè)試和下載過程的 Windows® 程序,以及用于將儀器數(shù)據(jù)記錄到 PC 進(jìn)行過程分析與質(zhì)量控制的 Windows 程序
- 精確的過程控制,尤其適用于低沉積速率,測(cè)量速率為每秒 10 個(gè)讀數(shù),測(cè)量分辨率為 ±0.03 Hz
- 存儲(chǔ)容量可達(dá) 100 個(gè)過程、1000 層薄膜、50 種薄膜材料
- 使用單傳感器或多傳感器監(jiān)控源材料,提供精確的源分布監(jiān)控
功能
- 高清晰 1/4 VGA 有源矩陣彩色 LCD 顯示器 – 提供有英文界面和中文界面
- 標(biāo)準(zhǔn) RS-232 和 USB(可選 RS-232 和以太網(wǎng))
- 設(shè)有“Quick Setup”(快速設(shè)定)菜單、6 個(gè)區(qū)分上下文按鈕以及一個(gè)簡(jiǎn)便的參數(shù)設(shè)定旋鈕,易于設(shè)定和操作
- 用于開發(fā)、測(cè)試和下載過程的 Windows® 程序,以及用于將儀器數(shù)據(jù)記錄到 PC 進(jìn)行過程分析與質(zhì)量控制的 Windows 程序
- 精確的過程控制,尤其適用于低沉積速率,測(cè)量速率為每秒 10 個(gè)讀數(shù),測(cè)量分辨率為 ±0.03 Hz
- 存儲(chǔ)容量可達(dá) 100 個(gè)過程、1000 層薄膜、50 種薄膜材料
- 使用單傳感器或多傳感器監(jiān)控源材料,提供精確的源分布監(jiān)控
規(guī)格
類型 | SQC-310 | |
---|---|---|
測(cè)量 | ||
QCM 輸入 | 2 (4 optional) | |
頻率范圍 | 4 to 6 MHz | |
頻率分辨率 | ± 0.03 Hz at 0.10 sec measurement period | |
厚度分辨率(密度 = 1,z 比值 = 1) | 0.0368 Å | |
頻率穩(wěn)定性 | ± 2 ppm total, 0 to 50C | |
測(cè)量速率 | 1 to 10 Hz | |
速率顯示 | 0.01 Å/sec | |
控制 | ||
存儲(chǔ) | 100 processes, 1000 layers, 50 films | |
控制輸出 | 2 (4 optional) | |
輸出信號(hào) | ± 0 to 10 VDC, 15 bits | |
數(shù)字輸入/繼電器 | 8 (16 optional) | |
數(shù)字輸入 | 5 VDC non-isolated | |
繼電器 | SPST Form 1A, 30V, 2A max | |
接口 | Standard RS-232 and USB (RS-232 and Ethernet optional) | |
遠(yuǎn)程電源控制 | Optional (IPN 782-900-017) | |
顯示器 | ||
類型 | 1/4 VGA 320 x 240 active matrix color LCD | |
圖表 | Rate, deviation, power or full screen numeric | |
一般 | ||
功率 | 100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W | |
合規(guī)性 | CE, RoHS | |
Windows® 軟件 | Included | |
殼體/安裝 | 5 1/4” half-rack |