INFICON CrystalSix六探頭是長過程中連續(xù)速率控制的關鍵設備。
無論是 OLED，MBE，太陽能，長過程光學鍍膜，或在兩次放空
之間有一個長的時間周期的其它過程，CrystalSix六探頭提供6片
石英監(jiān)測晶體在一個六探頭探頭內的可靠性。當使用INFICON薄
膜控制儀, 一旦晶體損壞或變得不穩(wěn)定時。CrystalSix自動將新的
晶體旋轉到位。晶體被自動更換,不影響過程的連續(xù)沉積速率監(jiān)測
規(guī)格 特性
CrystalSix六探頭由氣動機構自動完成晶體的標引. 與采用昂貴的
在真空中發(fā)熱的電動馬達的競爭性儀器相比， 這個氣動的驅動馬
達提供更好的晶體熱穩(wěn)定性。1 / 8 " 冷卻水管可保持六探頭的熱
穩(wěn)定性和六探頭布局的靈活性。
與 INFICON 薄膜控制儀一起使用時，六探頭提供位置反饋，從
而可使用特定材料于特定的位置。
優(yōu)點
■ 六探頭內 6 片晶體有堅固耐用, 過程運行時間自動轉換的功能
■ 穩(wěn)定的晶體溫度是由于晶體的氣動轉換 ( 競爭性儀器使用發(fā)熱的馬達)
■ 1/ 8 " 冷卻水管可保持熱穩(wěn)定性和六探頭布局的靈活性
■ 供應可選的光學晶體擋板
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