成都紐曼和瑞微波技術(shù)有限公司
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HMPS-9750S微波等離子體CVD設(shè)備

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產(chǎn)品型號

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廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地成都市

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更新時間：2023-11-09 10:56:10瀏覽次數(shù)：189次

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HMPS-9750S微波等離子體CVD設(shè)備 成都紐曼和瑞微波技術(shù)有限公司是專業(yè)從事微波能、微波等離子體應(yīng)用技術(shù)研發(fā)及其設(shè)備生產(chǎn)、具有自主知識產(chǎn)權(quán)的企業(yè)。公司近年已為中科院、中物院、吉林大學(xué)、南京大學(xué)、四川大學(xué)等、寧波晶鉆公司、北京沃爾德公司等科研院所、企業(yè)以及國外客戶提供了近百臺MPCVD設(shè)備，憑借產(chǎn)品優(yōu)異的性能和高質(zhì)量的服務(wù)，公司獲得用戶廣泛認可和好評。
性能特點

◆微波反應(yīng)腔新型設(shè)計，功率密度大。

◆產(chǎn)品沉積速率快、沉積質(zhì)量高、沉積面積超過6inch。

◆開關(guān)型微波功率源，微波功率輸出穩(wěn)定性高。

◆適合光學(xué)、電子、工具級金剛石膜或單晶、石墨烯等的沉積，材質(zhì)表面處理、低溫氧化物的生長等。

◆性能*，安全、可靠性強、重現(xiàn)性好，操作簡便。

◆多參數(shù)實時監(jiān)測、采集與記錄，PLC屏幕控制，多重聯(lián)鎖保護與報警。

技術(shù)指標(biāo)
（1） 型號 HMPS-9750S
（2） 電源 AC380±10% V 三相五線制 50Hz，額定輸入≤150KVA
（3） 微波輸出功率 5~75kW 連續(xù)可調(diào)
（4） 功率穩(wěn)定度 ≤±1%（@滿功率）
（5） 紋波 ≤1%
（6） 微波頻率 915MHz±15MHz
（7） 測溫方式 紅外雙波長475-1475℃
（8） 極限真空度 6×10-6torr
（9） 腔體內(nèi)工作壓力 7torr~250torr
（10） 自動氣壓控制 ±0.1torr
（11） 等離子放電區(qū)域 Φ≥125mm
（12） 有效沉積區(qū)域 Φ≥100mm
（13） 工作氣氛 五路（可用戶定制）
（14） 微波泄漏值 ＜5mW/cm2
（15） 工作環(huán)境 溫度15~40℃，相對濕度≤60%，無腐蝕性氣體
（16） 冷卻水 ＞210L/Min

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