成都紐曼和瑞微波技術有限公司
免費會員

當前位置:成都紐曼和瑞微波技術有限公司>>微波等離子體化學氣相沉積(MPCVD)設備>> HMPS-2120SP微波等離子體(CVD)系統(tǒng)

HMPS-2120SP微波等離子體(CVD)系統(tǒng)

參  考  價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品       牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所  在  地成都市

聯(lián)系方式:季天仁查看聯(lián)系方式

更新時間:2023-11-09 10:54:06瀏覽次數(shù):162次

聯(lián)系我時,請告知來自 制藥網(wǎng)
HMPS-2120SP微波等離子體(CVD)系統(tǒng) 成都紐曼和瑞微波技術有限公司是專業(yè)從事微波能、微波等離子體應用技術研發(fā)及其設備生產(chǎn)、具有自主知識產(chǎn)權的企業(yè)。公司近年已為中科院、中物院、吉林大學、南京大學、四川大學等、寧波晶鉆公司、北京沃爾德公司等科研院所、企業(yè)以及國外客戶提供了近百臺MPCVD設備,憑借產(chǎn)品優(yōu)異的性能和高質(zhì)量的服務,公司獲得用戶廣泛認可和好評。
性能特點

微波功率容量大、功率密度高;

沉積面積大、速率快、質(zhì)量高;

安全可靠,滿足單晶、多晶金剛石產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)運行;

第三代高穩(wěn)定固態(tài)功率源,新型下饋式大容積碟形放電工作腔;

微波功率0.5~12kW連續(xù)可調(diào),穩(wěn)定度1%;

放電區(qū)Φ≥100mm;均勻沉積區(qū)Φ≥75mm;

工作氣體:H2/CH4/N2/CO2O2Ar;

極限真空度:6×10-4Pa;真空漏率:10-9Pa·m3/s;

工作壓力:0.1~30kPa;自動控制;

紅外測溫:600~1800℃(雙色);

PLC和15寸觸摸屏多參數(shù)自動控制。

技術指標
(1) 產(chǎn)品 HMPS-2120SP
(2) 微波源 12kW/2450MHz固態(tài)功率源
(3) 微波傳輸及耦合系統(tǒng) BJ-22/環(huán)行器/水負載/銷釘/模式變換器耦合等
(4) 等離子放電工作腔及基片臺系統(tǒng) Φ500同軸耦合蝶形腔,Φ100mm基片臺
(5) 真空系統(tǒng) 600l/s分子泵、8l/s雙級直聯(lián)泵、進口真空測量規(guī)管
(6) 氣體MFC系統(tǒng) 進口4(5)路質(zhì)量流量計,過濾器、EP-1/4’VCR接頭及管
(7) 測溫及基片臺冷卻 進口(雙色)紅外測溫,進口水溫度流量傳感器
(8) 控制系統(tǒng) PLC及觸摸屏多參數(shù)自動控制操作

會員登錄

×

請輸入賬號

請輸入密碼

=

請輸驗證碼

收藏該商鋪

X
該信息已收藏!
標簽:
保存成功

(空格分隔,最多3個,單個標簽最多10個字符)

常用:

提示

X
您的留言已提交成功!我們將在第一時間回復您~
在線留言