色婷久久,MM131杨晨晨爽爽爽免费

HMPS-2120SP微波等離子體(CVD)系統(tǒng) 返回列表頁

參考價

面議

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號

品牌

廠商性質(zhì)生產(chǎn)商

所在地成都市

在線詢價加入對比查看聯(lián)系電話

聯(lián)系方式：季天仁查看聯(lián)系方式

更新時間：2023-11-09 10:54:06瀏覽次數(shù)：162次

聯(lián)系我時，請告知來自制藥網(wǎng)

性能特點

◆微波功率容量大、功率密度高；

◆沉積面積大、速率快、質(zhì)量高；

◆安全可靠，滿足單晶、多晶金剛石產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)運行；

◆第三代高穩(wěn)定固態(tài)功率源，新型下饋式大容積碟形放電工作腔；

◆微波功率0.5~12kW連續(xù)可調(diào)，穩(wěn)定度1%；

◆放電區(qū)Φ≥100mm；均勻沉積區(qū)Φ≥75mm；

◆工作氣體：H₂/CH₄/N₂/CO₂或O₂或Ar；

◆極限真空度：6×10^-4Pa；真空漏率：10^-9Pa·m³/s；

◆工作壓力：0.1~30kPa；自動控制；

◆紅外測溫：600~1800℃（雙色）；

◆PLC和15寸觸摸屏多參數(shù)自動控制。

技術指標

（1）	產(chǎn)品	HMPS-2120SP
（2）	微波源	12kW/2450MHz固態(tài)功率源
（3）	微波傳輸及耦合系統(tǒng)	BJ-22/環(huán)行器/水負載/銷釘/模式變換器耦合等
（4）	等離子放電工作腔及基片臺系統(tǒng)	Φ500同軸耦合蝶形腔，Φ100mm基片臺
(5)	真空系統(tǒng)	600l/s分子泵、8l/s雙級直聯(lián)泵、進口真空測量規(guī)管
(6)	氣體MFC系統(tǒng)	進口4(5)路質(zhì)量流量計，過濾器、EP-1/4’VCR接頭及管
（7）	測溫及基片臺冷卻	進口(雙色)紅外測溫，進口水溫度流量傳感器
（8）	控制系統(tǒng)	PLC及觸摸屏多參數(shù)自動控制操作