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太陽能離子注入機 測距儀

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更新時間:2023-09-08 09:50:24瀏覽次數(shù):950

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產(chǎn)品簡介

太陽能離子注入機功能太陽能離子注入機用于太陽能電池片的摻雜工藝,離子注入后形成電池片發(fā)電核心-PN結

詳細介紹

太陽能離子注入機功能
太陽能離子注入機用于太陽能電池片的摻雜工藝,離子注入后形成電池片發(fā)電核心-PN結。將離子注入引入太陽能工藝中,可有效提高電池片的均勻性,從而提高轉(zhuǎn)換效率至少1%。



太陽能離子注入機主要經(jīng)濟技術指標對比
 東莞帕薩(Simplant)瓦里安(Solion)
離子種類B+,P+P+
能量5-40keV10--20keV
束流強度B+:70mA  P+:120mAP+:80mA
注入均勻性>98%>97%
單機產(chǎn)能3000片/小時1000片/小時
體積(長×寬×高)6×5×3米9.7×5.2×2.6米
綜合制程成本$0.03/片$0.1/片

 

太陽能電池片離子注入機的特點
離子注入與傳統(tǒng)熱擴散相比較,具有如下特點:
◆注入硅片的離子劑量可以精確控制。使用離子注入機摻雜,劑量可以精確到離子的個數(shù),這樣可以形成高品質(zhì)的PN結,這是傳統(tǒng)熱擴散*沒能力做到的;
◆注入硅片的深度可以精確控制。離子注入機可以自由調(diào)節(jié)束能的大小,這可以調(diào)節(jié)離子的動能從而達到調(diào)節(jié)注入的深度。傳統(tǒng)熱擴散主要靠溫度和時間來控制注入離子的深度,屬于模糊控制;
◆高的光電轉(zhuǎn)化率。離子注入機可以與傳統(tǒng)熱擴散相比可以提升電池1.5%-3%的光電轉(zhuǎn)化率;
◆高均勻性:離子注入機由于可以控制束流的均勻性,對于硅片方塊電阻的均勻性能夠精確控制,使方阻均勻性更好。



主要優(yōu)勢:
◆大束流:可以做到120mA(P+)以上。
◆B+和P+注入:相對市場上其他家的太陽能離子注入機目前只能注入P+離子,太陽能離子注入機也可以注入大束流的B+離子,滿足不同客戶的不同需求。
◆束流利用率:研發(fā)的太陽能離子注入機束流利用率可以達到95%。
◆束流均勻性:研發(fā)的太陽能離子注入機束流均勻度可以達到98%以上。
◆高產(chǎn)能:目前在市場上投入使用的太陽能離子注入機離子注入機的產(chǎn)能為1000片/小時左右(以Varian公司的Solion為例),這會對光伏電池生產(chǎn)線的產(chǎn)能造成很大的限制,直接影響電池片廠家的利潤。研發(fā)的太陽能離子注入機設計產(chǎn)能將達到3000片/小時。
◆制程成本低廉:使用太陽能離子注入機,可以使離子注入機的綜合制程成本控制在約RMB 0.3元/片。
 

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