預壓型高精氣浮直線電機平臺

預壓型高精度氣浮直線電機平臺

產(chǎn)品主要特征：

●天然花崗巖基座，平面度

●氣浮導軌，無摩擦力、超高平面度

●直驅(qū)機構(gòu)，無回程間隙

●全閉環(huán)反饋，分辨率高達5nm

●預壓型機構(gòu)，保證足夠的系統(tǒng)剛性

●表面經(jīng)過噴砂以及陽極氧化處理，美觀又經(jīng)久耐用

RX160-X系列氣浮平臺是我司設計的氣浮直線電機產(chǎn)品，該系列產(chǎn)品采用天然花崗巖做基座，氣浮導軌導向及支撐，具有非常優(yōu)秀的平面度、直線度，結(jié)合高精度線性放大器可以達到非常理想的重復定位精度及定位精度。

主要性能參數(shù)：

*也可選用數(shù)字量光柵，詳詢廠家

**普通PWM驅(qū)動器默認值為5%上限，如需要低于1%速度波動，需要線性驅(qū)動器

**平臺速度取決于有效行程、光柵分辨率以及光柵和驅(qū)動器的時鐘頻率，不同配置會導致此項參數(shù)上限值的變化，詳詢廠家

***此數(shù)據(jù)為實驗室實測數(shù)據(jù)上限，如有更高要求，需搭配AOZ-MCS系列控制器，詳詢廠家

****此數(shù)據(jù)為標定后參數(shù)

RX160-X外形尺寸圖

*實際尺寸會根據(jù)客戶所需的行程來確定

**如需要進一步的尺寸信息或者3D圖檔，請直接聯(lián)系廠家

產(chǎn)品型號命名規(guī)則：

RX160 - X - ER 5 C15

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1RX160為產(chǎn)品系列，ABX為直線電機平臺的英文縮寫，160代表著平臺滑塊部分的寬度

2X代表著該型號產(chǎn)品的有效行程，單位mm，該系列從100-500mm行程中可根據(jù)要求任意定制，如需其它行程，可聯(lián)系廠家溝通定制

3ER代表編碼器的類型，所有直線電機產(chǎn)品默認采用直線開放式光柵

45代表該型號產(chǎn)品光柵的分辨率，單位nm，默認產(chǎn)品分辨率為5nm，為模擬量光柵4096細分后所得，分辨率的改變會導致平臺速度以及重復定位精度的變化，詳細情況請進一步咨詢廠家

5C15代表設備出線長度為1.5m，單位m，默認產(chǎn)品出線長度1.5m，可選0.5m/1m/3m/5m等，寫作05/10/30/50，出線長度會因產(chǎn)品型號不同存在誤差，如設備對出線長度要求較高，請聯(lián)系廠家進一步溝通

特別注意事項：

1、直線電機平臺屬于高精度精密設備，因此如果希望得到性能，需要保證足夠的使用環(huán)境，尤其在使用要求重復定位精度小于1um的設備上，所有指標的復現(xiàn)都需要滿足一定的溫度、濕度、氣壓、振動等，詳細要求可進一步聯(lián)系廠家咨詢溝通

3、氣浮平臺需搭配空壓機、儲氣罐、冷干機、油水分離器、過濾器、干燥器、調(diào)壓閥等輔助配件，詳細規(guī)格請咨詢廠家