等離子去膠機

甲岸小型等離子去膠機外觀簡潔，系統集成度高，模塊化設計，適用于半導體、生物技術、材料等領域。性能優(yōu)異，可提供***的工業(yè)控制、故障報警系統和數據采集軟件。可滿足科研生產的嚴格控制要求。

影響等離子去膠機使用的四大因素

一、調整合適的頻率

頻率越高，氧越容易電離形成等離子體。如果頻率過高，使電子振幅短于其平均自由程，電子與氣體分子碰撞的概率就會降低，導致電離率降低。通常，公共頻率為13.56MHz和2.45GHz。

二、調整適當的權力

關于一定量的氣體，功率大，等離子體中活性粒子的密度也高，脫膠速度也快；但當功率增加到一定值時，響應消耗的活性離子達到飽和，脫膠速度隨功率的增加不明顯增加。由于功率大，襯底溫度高，需要根據技術要求調整功率。

三、調整合適的真空度

適當的真空度可以使電子運動的平均自由程更大，因此從電場中獲得的能量更大，有利于電離。此外，當氧氣流量必須準時時，真空度越高，氧氣的相對份額越大，活性顆粒濃度越大。但如果真空度過高，活性粒子的濃度反而會降低。

四、氧氣流量的調整

氧氣流量大，活性顆粒密度大，脫膠速率加快；但如果通量過大，離子的復合幾率增加，電子運動的平均自由程縮短，電離強度反而降低。如果回轉室的壓力不變，流量增加，則還增加了被抽出的氣體量，也增加了不參與回轉的活性顆粒量，因此流量對脫膠率的影響不是很顯著。

選擇【甲岸科技】等離子去膠機的理由：

1、可以根據客戶需求定制。

2、小巧、操作簡單、易維護。

3、進口針閥精密流量控制計，精度高。

4、引進德國核心等離子技術，質量有保障。

5、多路工藝反應氣體通道，保證產品清洗效果。

6、316不銹鋼材質，耐腐蝕，環(huán)保不產生金屬污染。