◆微波反應腔新型設計,功率密度大。
◆產(chǎn)品沉積速率快、沉積質(zhì)量高。
◆開關(guān)型微波電源,微波輸出穩(wěn)定性高。
◆適合光學、電子、工具級金剛石膜或單晶、石墨烯等的沉積,材質(zhì)表面處理、低溫氧化物的生長等。
◆性能*,安全、可靠性強、重現(xiàn)性好,操作簡便。
◆多參數(shù)實時監(jiān)測、采集與記錄,PLC屏幕控制,多重聯(lián)鎖保護。
(1) | 型號 | HMPS-2060S |
(2) | 電源 | AC380±10% V 三相五線制 50Hz,額定輸入<10KVA |
(3) | 微波輸出功率 | 0.5~6kW 連續(xù)可調(diào) |
(4) | 功率穩(wěn)定度 | 優(yōu)于2% |
(5) | 紋波 | ≤1% |
(6) | 微波頻率 | 2450MHz±50MHz |
(7) | 測溫方式 | 紅外300~1400℃ |
(8) | 極限真空度 | 6×10-6torr |
(9) | 腔體內(nèi)工作壓力 | 7torr~250torr |
(10) | 樣品臺 | Φ60mm |
(11) | 樣品臺軸向調(diào)節(jié)范圍 | 0-60mm |
(12) | 工作氣氛 | 五路(可用戶定制) |
(13) | 微波泄漏值 | <5mW/cm2 |
(14) | 工作環(huán)境 | 溫度15-40℃,相對濕度≤60%,無腐蝕性氣體 |
(15) | 冷卻水 | >22L/Min |