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HMPS-2060P微波等離子體CVD設備

參考價面議
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱成都紐曼和瑞微波技術(shù)有限公司
  • 品       牌
  • 型       號
  • 所  在  地成都市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時間2023/11/9 11:01:34
  • 訪問次數(shù)133
產(chǎn)品標簽:

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        成都紐曼和瑞微波技術(shù)有限公司(和瑞)是一家專業(yè)從事微波能和微波等離子體應用技術(shù)科研,開發(fā)和生產(chǎn)的股份制民營高科技企業(yè)。和瑞擁有一支集高頻,微波和等離子體技術(shù)、電氣自控技術(shù)、機械以及成套工程技術(shù)和高級管理相結(jié)合的精干技術(shù)隊伍和高級管理人材。其中包括有教授級高工、微波和電氣高級工程師、獲得美國MBA的高級經(jīng)濟師、工程師、高級技師和碩士研究生等。和瑞具有微波網(wǎng)絡分析儀等完善的測試手段,計算機CAD系統(tǒng),多種*的微波和等離子體實驗系統(tǒng)以及必要的工藝和機械加工裝配手段。和瑞具備了從理論設計、數(shù)字模擬、到研制和開發(fā)以及專業(yè)化生產(chǎn)的優(yōu)勢能力。和瑞具有可靠的材料,元器件供貨渠道和外協(xié)加工配套基地。和瑞主要成員與美國*公司合作多年,將*的技術(shù)和理念直接引進國內(nèi),并經(jīng)過十余年堅持不懈的研究和開發(fā),已經(jīng)在微波能工業(yè)應用領(lǐng)域以及微波等離子體*領(lǐng)域形成了一套具有自主知識產(chǎn)權(quán)的系列產(chǎn)品和技術(shù),在國內(nèi)居*地位,并已與國內(nèi)近百家用戶有著密切的合作關(guān)系和良好的信譽。
 

微波設備
HMPS-2060P微波等離子體CVD設備 成都紐曼和瑞微波技術(shù)有限公司是專業(yè)從事微波能、微波等離子體應用技術(shù)研發(fā)及其設備生產(chǎn)、具有自主知識產(chǎn)權(quán)的企業(yè)。公司近年已為中科院、中物院、吉林大學、南京大學、四川大學等、寧波晶鉆公司、北京沃爾德公司等科研院所、企業(yè)以及國外客戶提供了近百臺MPCVD設備,憑借產(chǎn)品優(yōu)異的性能和高質(zhì)量的服務,公司獲得用戶廣泛認可和好評。
HMPS-2060P微波等離子體CVD設備 產(chǎn)品信息
性能特點

◆微波反應腔新型設計,功率密度大。
◆產(chǎn)品沉積速率快、沉積質(zhì)量高。
◆開關(guān)型微波電源,微波輸出穩(wěn)定性高。
◆適合光學、電子、工具級金剛石膜或單晶、石墨烯等的沉積,材質(zhì)表面處理、低溫氧化物的生長等。
◆性能*,安全、可靠性強、重現(xiàn)性好,操作簡便。
◆多參數(shù)實時監(jiān)測、采集與記錄,PLC屏幕控制,多重聯(lián)鎖保護。

技術(shù)指標
(1) 型號 HMPS-2060S
(2) 電源 AC380±10% V 三相五線制 50Hz,額定輸入<10KVA
(3) 微波輸出功率 0.5~6kW 連續(xù)可調(diào)
(4) 功率穩(wěn)定度 優(yōu)于2%
(5) 紋波 ≤1%
(6) 微波頻率 2450MHz±50MHz
(7) 測溫方式 紅外300~1400℃
(8) 極限真空度 6×10-6torr
(9) 腔體內(nèi)工作壓力 7torr~250torr
(10) 樣品臺 Φ60mm
(11) 樣品臺軸向調(diào)節(jié)范圍 0-60mm
(12) 工作氣氛 五路(可用戶定制)
(13) 微波泄漏值 <5mW/cm2
(14) 工作環(huán)境 溫度15-40℃,相對濕度≤60%,無腐蝕性氣體
(15) 冷卻水 >22L/Min
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