◆高品質(zhì)單晶金剛石、多晶金剛石的批量生長。
◆多種薄膜的CVD制備、材料表面處理和改性、低溫氧化物的生長等。
◆第三代高穩(wěn)定固態(tài)功率源;上饋式圓柱型放電腔;
◆適合光學(xué)、電子、工具級(jí)金剛石膜或單晶、石墨烯等的產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn),材質(zhì)表面處理、低溫氧化物的生長等。
◆性能*,安全、可靠性強(qiáng)、重現(xiàn)性好,操作簡便。
◆多參數(shù)實(shí)時(shí)監(jiān)測、采集與記錄,PLC屏幕控制,多重聯(lián)鎖保護(hù)。
(1) | 型號(hào) | HMPS-2060SP |
(2) | 電源 | AC380±10% V 三相五線制 50Hz,額定輸入<18KVA |
(3) | 微波輸出功率 | 0.5~6kW 連續(xù)可調(diào) |
(4) | 功率穩(wěn)定度 | 1%(@穩(wěn)態(tài)) |
(5) | 紋波 | ≤1% |
(6) | 微波頻率 | 2450MHz±50MHz |
(7) | 測溫方式 | 紅外300~1400℃ |
(8) | 極限真空度 | 6×10-6torr |
(9) | 腔體內(nèi)工作壓力 | 7torr~250torr |
(10) | 樣品臺(tái) | Φ60mm |
(11) | 樣品臺(tái)軸向調(diào)節(jié)范圍 | 0-60mm |
(12) | 工作氣氛 | 五路(可用戶定制) |
(13) | 微波泄漏值 | <5mW/cm2 |
(14) | 工作環(huán)境 | 溫度15-40℃,相對(duì)濕度≤60%,無腐蝕性氣體 |
(15) | 冷卻水 | >37L/Min |