薄膜沉積系統(tǒng)核心組件
微型有機(jī)物蒸發(fā)器（DE系列）
微型有機(jī)物升華器專為實(shí)驗(yàn)室研究或微小規(guī)模的制備而設(shè)計(jì)，可以裝配高真空或超高真空系統(tǒng)，主要用于通過(guò)熱升華和沉積的方式制備有機(jī)分子（化合物）。升華器具有各種不同的體積，特殊的設(shè)計(jì)結(jié)構(gòu)可以允許快速更換坩堝，各種材質(zhì)的升華容器可選。
從規(guī)模上講，CreaPhys微型有機(jī)物蒸發(fā)器可用于實(shí)驗(yàn)室研究、小批量生產(chǎn)，從操作真空上講，可在高真空（HV）或超高真空（UHV）狀態(tài)下工作。所有的蒸發(fā)器都具有較大范圍的沉積速度和穩(wěn)定的工作溫度。CreaPhys提供不同體積的蒸發(fā)器體積和不同尺寸的承載架，同時(shí)提供各種形狀的坩堝，集成安裝的遮光板組件以及輔助的水冷系統(tǒng)。所有產(chǎn)品都可根據(jù)用戶的特殊要求定制。
技術(shù)參數(shù)： l 沉積速度：投擲距離150mm條件下，10-2… 50 A/Sec（與物質(zhì)密切相關(guān)） l 溫度： 50°C -800°C l 溫度穩(wěn)定性：< 0.1K l 溫度傳感器類型：K型 l 可提供體積：100 ccm | 選項(xiàng)： l 不同的承載架，如CF, ISO-KF, ISO-K等，以及不同大小的法蘭連接 l 坩堝：氧化鋁材質(zhì)，圓錐形結(jié)構(gòu)（標(biāo)準(zhǔn)），其它形狀定制 l 不同型號(hào)的PID溫度控制器 l 集成安裝的遮光器組件（手動(dòng)、氣動(dòng)、電動(dòng)等） l 水冷系統(tǒng) |
單個(gè)蒸發(fā)器組件 DE-X
容積* | 蒸發(fā)器尺寸（mm） | 【大小】 | 訂貨編號(hào) | ||
A** | B | C | |||
0.5 ccm | 100 | 15.5 | 46 | -0.5 | DE-0.5 |
2 ccm | 100 | 35 | 42.7 | -2 | DE-2 |
4 ccm | 110 | 35 | 53.7 | -4 | DE-4 |
8 ccm | 125 | 35 | 68.7 | -8 | DE-8 |
20 ccm | 145 | 35 | 90 | -20 | DE-20 |
50 ccm* | 190 | 57 | 135 | -50 | DE-50 |
*對(duì)于圓錐形蒸發(fā)器，體積可達(dá)100ccm
**指最小的位于真空系統(tǒng)中的長(zhǎng)度，可按照用戶的要求延長(zhǎng)
法蘭選項(xiàng)
法蘭 | 【法蘭】 | 訂貨編號(hào) |
不配備法蘭 | 基本配置 | DE-【大小】-BASE |
DN40CF* | CF40* | DE-【大小】-CF40 |
DN40KF* | KF40 | DE-【大小】-KF40 |
*更大的法蘭需要定制。DN16CF或DN16KF對(duì)DE-0.5蒸發(fā)器許可。ISO-K法蘭需要定制。
遮光板選項(xiàng)
遮光板 | 【遮光板】 | 訂貨編號(hào) |
不配備遮光板 | NOS | DE-【大小】-【法蘭】-NOS |
集成式遮光板，手動(dòng) | SHM | DE-【大小】-【法蘭】-SHM |
集成式遮光板，氣動(dòng)* | SHP | DE-【大小】-【法蘭】-SHP |
集成式遮光板，電動(dòng)* | SHE | DE-【大小】-【法蘭】-SHE |
*有些遮光板不可配備到小型法蘭上，如有必要，請(qǐng)咨詢?cè)敿?xì)信息。
多組微型有機(jī)物蒸發(fā)器（DE系列）
CreaPhys多組微型有機(jī)物蒸發(fā)器將通過(guò)熱蒸發(fā)原理進(jìn)行真空沉積，在配備一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)法蘭、一個(gè)基本底座的情況下，可同時(shí)進(jìn)行最多三個(gè)不同物料的真空沉積。各種熱防護(hù)和水冷系統(tǒng)可確保溫度的準(zhǔn)確性和高效的熱分離，因此，相鄰的蒸發(fā)器之間并無(wú)干擾，各自的沉積速度在全溫度范圍內(nèi)獨(dú)立可控。
技術(shù)參數(shù)： l 沉積速度：投擲距離150mm條件下，10-2… 50 A/Sec（與物質(zhì)密切相關(guān)） l 溫度： 50°C -800°C l 溫度穩(wěn)定性：< 0.1K l 溫度傳感器類型：K型 l 可提供體積：50 ccm l 集成的水冷系統(tǒng) | 選項(xiàng)： l 不同的承載架，如CF,ISO-KF, ISO-K等，以及不同大小的法蘭連接 l 集成安裝的遮光器組件（手動(dòng)、氣動(dòng)、電動(dòng)等） l 坩堝：氧化鋁材質(zhì)，圓錐形結(jié)構(gòu)（標(biāo)準(zhǔn)），其它形狀定制 l 不同型號(hào)的PID溫度控制器 l 在一個(gè)CF-40法蘭上，最多可容納3個(gè)蒸發(fā)器 l 僅僅對(duì)DE-DUAL-0.5，可設(shè)計(jì)水平和垂直兩種狀態(tài) |
多組蒸發(fā)器組件 DE-Multi-X
蒸發(fā)器個(gè)數(shù) | 【多組】 | 訂貨編號(hào) |
2 | DUAL | DE-【DUAL】 |
3 | TRIPLE | DE-【TRIPLE】 |
容積 | 蒸發(fā)器尺寸（mm） | 【大小】 | 訂貨編號(hào) | |
每一個(gè)蒸發(fā)器的容積* | A | B | ||
2 ccm | 35 | 70 | -2 | DE-【Multi】-2 |
4 ccm | 35 | 80 | -4 | DE-【Multi】-4 |
8 ccm | 35 | 95 | -8 | DE-【Multi】-8 |
*對(duì)于圓錐形蒸發(fā)器
其它選項(xiàng)：
以水冷底板為基礎(chǔ)的多組微型有機(jī)物蒸發(fā)器，可以安裝于一個(gè)法蘭盤(pán)上，或者組合在不同的遮光板上。沒(méi)有遮光板時(shí)，一套由3個(gè)蒸發(fā)器組成的多組蒸發(fā)器組件可以安裝在DN100法蘭盤(pán)上。如果需要遮光板，則需要加大法蘭盤(pán)至DN200。具體信息請(qǐng)聯(lián)系咨詢。
最小型多組蒸發(fā)器組件 DE-【Multi】-0.5
最小型多組蒸發(fā)器設(shè)計(jì)安裝于非常有限的空間內(nèi)，使用DN40法蘭安裝。
蒸發(fā)器個(gè)數(shù) | 每個(gè)蒸發(fā)器的體積 | 【多組】 | 訂貨編號(hào) |
2 | 0.5 ccm | DUAL | DE-DUAL-0.5 |
3 | 0.5 ccm |
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