高真空和超高真空薄膜沉積系統(tǒng)
單通道沉積系統(tǒng)
CreaPhys沉積系統(tǒng)專門為有機電子及相關(guān)領(lǐng)域設(shè)計。以多套已運行的設(shè)備和積累的經(jīng)驗為基礎(chǔ),我們可為每一位客戶個性化設(shè)計并制造符合特殊需要的每一套設(shè)備。以每一位用戶可支付的價格長期提供優(yōu)質(zhì)的組件及完善的質(zhì)量保證。我們的設(shè)備規(guī)格包含實驗室小型系統(tǒng),直端復(fù)雜的工業(yè)化定制設(shè)備。
說明:所有的蒸發(fā)器和部件都可以安裝到高真空和超高真空系統(tǒng)之中,也可以單獨銷售。
單通道沉積系統(tǒng)(EVAP-x系列)
CreaPhys EVAP-x系列是為客戶專門設(shè)計制造的單通道真空或高真空沉積系統(tǒng)。每一套系統(tǒng)都可以實現(xiàn)一至多個特定的科學(xué)研究或?qū)嶋H應(yīng)用。這些設(shè)計經(jīng)驗源于我們在真空沉積領(lǐng)域已成功運行的多套系統(tǒng),諸如DE或ME系列設(shè)備。通常情況下,EVAP-x系統(tǒng)已完整配備了必要的真空、機械和電子部件(客戶特殊要求除外),達到了貨到即用的水平。
基礎(chǔ)系統(tǒng) | 沉積腔尺寸 | 底板尺寸 | 技術(shù)參數(shù) |
EVAP-150 | 150mm | 50 X 50 mm2 | 請聯(lián)系我們確定您的具體要求 |
EVAP-250 | 250mm | 100 X 100 mm2 | |
EVAP-300 | 300mm | 150 X 150 mm2 | |
EVAP-400 | 400mm | 200 X 200 mm2 |
多通道沉積系統(tǒng)
多通道真空沉積系統(tǒng)集合了一組沉積腔,同時提供了一些互補性的其它功能。
說明:請咨詢我們的工程師為您量身定做*符合您要求的配置。
有機物制備與分析實驗室系統(tǒng)
這套系統(tǒng)高度集成的用于實驗室研究之目的的薄膜沉積系統(tǒng)。集多種有機物蒸發(fā)和金屬蒸發(fā)與一體,并配備原位采樣測試。所有部件均機械化,且工藝過程可以自動化。標(biāo)準系統(tǒng)配置于300mm的玻璃罩內(nèi),且為高度模塊化設(shè)計,同時已配備了高真空(HV)系統(tǒng)。 這個平臺為特種無機物、有機物、以及金屬層狀沉積工藝提供了廣泛、但又緊湊的全自動分析方案。 典型應(yīng)用于有機物設(shè)備,如光電二極管(OLED),以及有機光電池設(shè)備(OPV)。 |
說明:請咨詢我們的工程師為您量身定做*符合您要求的配置。