靈活的系統(tǒng)組合,的成像性能,穩(wěn)定的系統(tǒng)結(jié)構(gòu),專業(yè)應用于工業(yè)檢測及金相分析領(lǐng)域。
技術(shù)規(guī)格
產(chǎn)品圖展示
產(chǎn)品特點:
1、NS-503RT可以實現(xiàn)X、Y方向105mm/158mm的移動范圍。
2、全新設計的長工作距專業(yè)金相物鏡,高倍物鏡采用半復消技術(shù)。
3、各種觀察方法下都能得到清晰銳利與高對比度的顯微圖像。
4、附件齊全,配置完善,可靈活進行系統(tǒng)組合與功能拓展。
5、人機工程學設計、堅實可靠的系統(tǒng)結(jié)構(gòu)。
技術(shù)參數(shù)
可選擇的觀察方法 | 明場/斜照明/偏振光/DIC | 明場/斜照明/偏振光/DIC/透射光 |
光學系統(tǒng) | 無限遠色差校正光學系統(tǒng) | |
目鏡 | PL10X/22平場高眼點目鏡 | |
物鏡 | LMPL無限遠長工作距金相物鏡 | |
觀察筒 | 30°鉸鏈式三目,分光比,雙目:三目=100: 0或50:50 | |
轉(zhuǎn)換器 | 5孔內(nèi)傾式轉(zhuǎn)換器,帶DIC插槽 | |
載物臺 | 4"雙層機械移動平臺,行程105x 105mm;帶金屬平板平臺,右手位X、Y移動手輪,配平臺接口 | 4"雙層機械移動平臺,行程105x 105mm;帶玻璃平臺,右手位X、Y移動手輪,配平臺接口 |
顯微鏡鏡體 | 粗微調(diào)同軸、粗調(diào)行程33mm,微調(diào)精度0.001mm,帶粗調(diào)機構(gòu)上限位及松緊調(diào)節(jié)裝置。內(nèi)置90-240V寬電壓變壓器,單路電源輸出 | 粗微調(diào)同軸、粗調(diào)行程33mm,微調(diào)精度0.001mm,帶粗調(diào)機構(gòu)上限位及松緊調(diào)節(jié)裝置。內(nèi)置90-240V寬電壓變壓器,雙路電源輸出 |
反射照明器系統(tǒng) | 帶可變視場光闌與孔徑光闌,均可調(diào)中心;帶濾色片插槽與偏光裝置插槽;帶斜照明切換拉桿。單顆大功率5W LED,白色,光強連續(xù)可調(diào) | |
透射照明系統(tǒng) | / | 單顆大功率5W LED,白色,光強連續(xù)可調(diào)。N..A.0.5聚光鏡,帶可變孔徑光闌 |
可選擇的觀察方法 | 明場/斜照明/偏振光/DIC | 明場/斜照明/偏振光/DIC/透射光 |
光學系統(tǒng) | 無限遠色差校正光學系統(tǒng) | |
目鏡 | PL10X/22平場高眼點目鏡 | |
物鏡 | LMPL無限遠長工作距金相物鏡 | |
觀察筒 | 正像觀察簡,25°鉸鏈式三目,分光比,雙目:三日=100 0或0:100 | |
轉(zhuǎn)換器 | 5孔內(nèi)傾式明暗場轉(zhuǎn)換器,帶DIC插槽 | |
載物臺 | 6"三層機械移動平臺,行程158x 158mm,。玻璃工作臺,右手位義、V移動手輪,帶離合器手柄,可快速移動 | 6"三層機械移動平臺,反射行程158x 158mm,透射行程:100x100mm,玻璃工作臺,右手位X、Y移動手輪,帶離合器手柄,可快速移動 |
顯微鏡鏡體 | 粗微調(diào)同軸、粗調(diào)行程33mm,微調(diào)精度0.001mm,帶粗調(diào)機構(gòu)。上限位及松緊調(diào)節(jié)裝置。內(nèi)置90-240V寬電壓變壓器,單路電源輸出 | 粗微調(diào)同軸、粗調(diào)行程33mm,微調(diào)精度0.001mm,帶粗調(diào)機構(gòu)上限位及松緊調(diào)節(jié)裝置。內(nèi)置90-240V寬電壓變壓器,雙路電源輸出 |
反射照明器系統(tǒng) | 帶可變視場光,均可調(diào)中心;帶濾色片插與偏光裝置插;帶明暗場切換機構(gòu),預置中心,采用數(shù)字調(diào)光,具有光強設定與復位功能 | 帶可變視場光,均可調(diào)中心;帶濾色片插與偏光裝置插;帶明暗場切換機構(gòu),預置中心,光強連續(xù)可調(diào) |
透射照明系統(tǒng) | / | 單顆大功率5WLED,白色,光強連續(xù)可調(diào)。N..A.0.5聚光鏡,帶可變孔徑光闌 |
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系統(tǒng)介紹
大行程移動平臺設計 ◆NS-503RT機型采用4'/6'平臺設計, 可適用于相應尺寸的晶圓或FPD檢測, 也可用于小尺寸樣品的陣列檢測。 ◆NS-503RT: 4英寸平臺,移動范圍: 105mmX 105mmNS-503RT:6英寸平臺,反射照明移動范圍: 158mmX158mm,透射照明移動范圍100mmX100mm; 帶離合器手柄,可用于全行程范圍內(nèi)快速移動。 ◆通過使用平臺適配接口,所有平臺可在NS-503RT機型 之間通用。 | 超長工作距金相物鏡 ◆全新設計的超長工作距物鏡,采用半復消色差技術(shù), 并使用多層寬帶鍍膜技術(shù),使整個視場內(nèi)的成像清晰銳利, 色彩自然,明亮舒適。 ◆超長的工作距離設計,50X的有效工作距離達到7.8mm, 100X物鏡也達到了2.1mm, 大幅拓展了NS-503RT機型的應用領(lǐng)域, 5X、10X、20X物鏡的設計,通過精選材料及優(yōu)化設計, 使DIC微分干涉觀察的性能非常出色。 ◆同步設計了全套明暗場兩用物鏡,適用于NS-503RT機型, 暗場照明亮度比傳統(tǒng)暗場物鏡提高2倍以上。 |
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高性能物鏡轉(zhuǎn)換器 ◆NS-503RT機型的轉(zhuǎn)換器采用精密軸承設計,轉(zhuǎn)動手感 輕巧舒適,重復定位精度高,物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得 到較好的控制,根據(jù)NS-503RT機型配置及功能的不同, 可以選擇不同型號的轉(zhuǎn)換器。 ◆PI103C5型: 5孔明場轉(zhuǎn)換器,用于NS-503RT機型 ◆PI103C5I型: 5孔明場轉(zhuǎn)換器,帶DIC棱鏡插槽, 用于NS-503RT機型。 ◆PI103C5BD型: 5孔明暗場轉(zhuǎn)換器,用于NS-503RT機型 ◆PI103C5BD|型: 5孔明暗場轉(zhuǎn)換器,帶DIC棱鏡插槽, 用于NS-503RT機型。 | 寬視場鉸鏈式三目觀察筒 ◆MXETH25R型正像鉸鏈三目觀察筒, 所成像的方位與物體實際方位一致, 物體移動的方向跟像面移動的方向相同, 便于觀察與操作,適用于6英寸移動平臺配合使用。 ◆MX4RTH30R型鉸鏈三目觀察筒, 適用于4英寸平臺配合使用。 ◆兩種類型的觀察筒可以在NS-503RT機型內(nèi)通用。 |
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安全、穩(wěn)重的機架結(jié)構(gòu)設計 ◆工業(yè)檢測級顯微鏡體,低重心、高剛性、高穩(wěn).定性金屬 機架,極大的提高的系統(tǒng)的抗振能力與成像的穩(wěn)定性。 ◆前置低手位粗微同軸調(diào)焦機構(gòu),內(nèi)置90-240V寬電壓變壓器,可以適應不同地區(qū)的電網(wǎng)電壓。底座內(nèi)部設計有風循環(huán)散熱系統(tǒng),長時間使用也不會使機架過熱。 | 不同的照明器可供選擇 ◆明場反射照明器:單顆大功率5W白色LED照明, 帶斜照明機構(gòu),適用于NS-503RT機型。 ◆明場反射照明器: 12V100W鹵素燈照明,帶斜照明機構(gòu)、 適用于NS-503RT機型。 明暗場反射照明器: 12V100W鹵素燈照明, 并帶有光強預設功能,可快速切換到預設亮度。 帶明暗場切換機構(gòu)、適用于NS-503RT機型。 ◆透射照明: NS-503RT均可使用透反兩用機型。 透射光源為單顆大功率 5W白色LED,并帶有N.A.0.5聚光鏡。 透射照明與反射照明可獨立控制, 即透反照明可同時開啟,亦可單獨開啟。 |
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明場觀察(反射) 遠心柯拉反射照明系統(tǒng),配以全新設計的無限遠平場消色差 長工作距金相物鏡,從低倍到高倍,都能得到清晰、平坦、 明亮的高畫質(zhì)顯微圖像。 | 明場觀察(透射) 5W大功率LED,配以N.A.0.5聚光鏡,可以透照明下, 觀察LCD彩色液晶顯示屏,器件框架邊緣等。 透射照明與反射照明為獨立控制,即可同時亮,也可單獨亮。 |
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斜照明 使用斜照明,可以使物體表面不同材質(zhì)部分呈現(xiàn)立體圖案, 增加觀察的對比度與視覺效果。斜照明功能只限于NS-503RT機型。 | 暗場觀察 將暗場照明拉桿拉到位置,即可使用暗場功能, 可以觀察物體表面的各種劃痕、雜質(zhì)點及其他細微缺陷, 暗場功能只限于NS-503RT機型。 |
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簡易偏光觀察 將起偏鏡及檢偏鏡插板插入照明器的位置,即可進行 簡易偏光觀察。檢偏鏡可分為固定式和360°旋轉(zhuǎn)式兩種 | DIC微分干涉觀察 在正交偏光的基礎上,插入DIC棱鏡, 即可進行DIC微分干涉相襯觀察。 使用DIC技術(shù),可以使物鏡表面微小的高低差產(chǎn)生明顯的浮雕效果,極大的提高圖像的對比度。 5X、10X、 20X專為DIC設計,使得整個視場的干涉色一致, 微分干涉效果非常出色,高倍物鏡DIC效果也較好。 |
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