URE-2000/25 型紫外單面光刻機(jī)
技術(shù)參數(shù)
。曝光面積：4 英寸
。曝光波長：365nm
。分辨力：1 μm（膠厚 2 μm的正膠）
。對準(zhǔn)精度：± 0.8μm
。掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)范圍：X：15mm;Y:15mm
。掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸
。樣片尺寸：直徑 Ф15mm-- Ф100mm(各種不規(guī)則片)，厚度 0.1mm--6mm
。曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量
。照明不均勻性： 3%（ Ф100mm 范圍）
。雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡：既可通過目鏡目視對準(zhǔn)，也可通過 CCD+顯示器對準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)倍數(shù) 400 倍， 光學(xué)+電子放大 800 倍
物鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍
目鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍
。掩模相對于樣片運(yùn)動(dòng)行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6º
。焦厚：350μm（SU8 膠，用戶提供檢測條件）
。光源平行性：3.5 º
。曝光能量密度：>20mW/cm2,照明面溫度<35 º
。汞燈功率：350W（直流，進(jìn)口）33
2．外形尺寸：1200mm（長）x900mm(寬) x1750mm（高）
3．配置
（1）曝光頭
。冷光橢球鏡
。350W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺
。冷卻風(fēng)扇
。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（79 個(gè)透鏡）、i 線濾光片、場鏡1、場鏡 2、冷光反射鏡 1、反射鏡 2
（2）對準(zhǔn)工件臺
。掩模樣片整體運(yùn)動(dòng)臺
。掩模樣片相對運(yùn)動(dòng)臺
。轉(zhuǎn)動(dòng)臺
。樣片調(diào)平機(jī)構(gòu), 手動(dòng)
。樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，手動(dòng)
。承片臺 3 個(gè)（Ø50mm 、Ø75mm 、 Ø100mm）
。掩模夾 4 個(gè)（2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸）
?；槔缴舷聶C(jī)構(gòu)
（3）對準(zhǔn)顯微鏡
。光源（配備品 2 只）、電源
。雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體
。目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個(gè)）
。CCD 及 21 英寸液晶顯示器
。物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個(gè)）
（4）電控系統(tǒng)
。汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)
。單片機(jī)控制系統(tǒng)
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（5）氣動(dòng)系統(tǒng)
。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開關(guān)等
。電磁閥驅(qū)動(dòng)
。氣動(dòng)儀表
（6）其他附件
。真空泵一臺
?？諌簷C(jī)一臺
。管道
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