DS-2000/14G 型無掩模單面激光光刻機(jī)

1．技術(shù)特征

.采用 DMD 作為數(shù)字掩模，像素數(shù) 1024×768 或 1920×1080 或 2560x1600 三種選配

.采用縮小投影光刻物鏡成像，分辨力 1um。

.采用技術(shù)——積木錯位蠅眼透鏡實現(xiàn)均明。

.采用進(jìn)口精密光柵、進(jìn)口電機(jī)、進(jìn)口導(dǎo)軌、進(jìn)口絲杠實現(xiàn)精確工件定位和曝光拼接，可適應(yīng) 100mm?100mm 基片。

.采用 CCD 檢焦系統(tǒng)實現(xiàn)整場調(diào)平、自動逐場調(diào)焦或自動選場調(diào)焦曝光。

.具備對準(zhǔn)功能

2．技術(shù)參數(shù)

.光源：350W 球形汞燈（曝光譜線： i 線）或紫外 LED；

.照明不均勻性：2%；

.物鏡倍率：7.6 倍（或 14 倍與選擇的 DMD 像素尺寸有關(guān)）

.曝光場面積：1mm×0.7mm （或 1.9mm×1.8mm ，或 2.5mm×1.6mm，與選擇的 DMD 像素數(shù)有關(guān)）?

.光刻分辨力：1 μm

.工件臺運(yùn)動范圍：X：100mm、 Y：100mm；

.工件臺運(yùn)動定位精度：± 0. 5μm；

.調(diào)焦臺運(yùn)動靈敏度：1μm；

.對準(zhǔn)精度：± 2μm；

.調(diào)焦臺運(yùn)動行程：6mm

.檢焦：CCD 檢測，檢測精度 2 微米

.轉(zhuǎn)動臺行程：±6°以上

.直寫速度：40mm2 /min

基片尺寸

.外徑: Ф1mm—Ф100mm，厚度：0.1mm--5mm

3．外形尺寸：840mm（長）x450mm(寬) x830mm（高）

4．配置

（1）照明系統(tǒng)

.350W 直流汞燈（或紫外 LED）、橢球鏡、準(zhǔn)直鏡、蠅眼透鏡組、場鏡組、365nm 濾光片、氣動快門、DMD（美

國德州儀器）、冷卻風(fēng)扇。

.投影物鏡 7.6 倍，可根據(jù)用戶要求另增加一種.

.分辨力 1?m（縮小倍率 7.6 倍）

（2）工件臺系統(tǒng)

.X 臺：電機(jī)驅(qū)動器（日本樂孜）、絲杠（日本 NSK）、導(dǎo)軌 2（日本 THK）、光柵（美國）

.Y 臺：電機(jī)及驅(qū)動器（日本樂孜）、絲杠（日本 NSK）、導(dǎo)軌 2（日本 THK）、光柵 2（美國）

.轉(zhuǎn)動臺：電機(jī)及驅(qū)動器（日本樂孜），轉(zhuǎn)動軸系

.Z 臺：電機(jī)及驅(qū)動器（日本樂孜）、絲杠、上升導(dǎo)向機(jī)構(gòu)

.承片臺：4 英寸（可增加 3 英寸、2 英寸、1 英寸等）

（3）檢焦系統(tǒng)

.焦面光學(xué)檢測系統(tǒng)、CCD、焦面檢測軟件

（4）對準(zhǔn)系統(tǒng)

.對準(zhǔn)光學(xué)檢測系統(tǒng)、CCD、對準(zhǔn)軟件

（5）電控系統(tǒng)

.汞燈電源及觸發(fā)器、主機(jī)控制系統(tǒng)、軟件、計算機(jī)、監(jiān)視器（19 英寸液晶）、接口（6）氣動系統(tǒng)

.電磁閥、旋轉(zhuǎn)氣缸、減壓閥、壓力表、真空表

（7）其他附件

.真空泵一臺(無油泵)

.空壓機(jī)一臺（*泵）

.管道