URE-2000/35AL 型紫外單面光刻機

主要技術參數(shù)：

（1）曝光面積：150mm×150mm；

（2）照明不均勻性： ≤4%（ Ф 150mm 范圍）；

（3）分辨力：1.0μm（365nm 波長）

（4）對準精度：≤±0.8μm；

（5）掩模尺寸：2.5 英寸、3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸；

（6）樣片尺寸：直徑 Ф 15mm-- Ф 150mm、厚度 0.1mm--6mm；

（7）掩模相對于樣片運動行程：X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta:±6°；

（8）掩模樣片整體運動范圍：X：6mm;Y:6mm

（9）曝光光源：紫外 LED（進口）；

（10）曝光波長：365nm；

（11）曝光強度：≥15mW/cm2 ；

（12）曝光定時：倒計時方式(0.1s—9999.9s 任意設定).

（13）調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復

（14）數(shù)字設定對準間隙和曝光間隙

（15）具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口

技術構成與配置

設備由曝光頭系統(tǒng)、對準工件臺系統(tǒng)、CCD 對準顯微鏡系統(tǒng)、電控系統(tǒng)、氣動系統(tǒng)等部分構成。

（1）曝光頭系統(tǒng)包括:

◆ 進口紫外 LED 光源模塊；

◆ LED 光源整形模塊；

◆ XYZ 光源位置調(diào)節(jié)臺；

◆ 光學系統(tǒng)（含整形模塊、可變光欄、電子快門、蠅眼透鏡組（79 個透鏡）、場鏡組、反射鏡組）；

◆ 冷卻風扇。

（2）對準工件臺系統(tǒng)包括：

◆ 掩模樣片相對運動臺（XY）；

◆ 轉動臺；

◆ 樣片調(diào)平機構，采用三爪加球氣浮自動調(diào)平方式；

◆ 樣片調(diào)焦機構，采用電機加傳感器方式，可數(shù)字分離曝光間隙；

◆ 承片臺 4 個（2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸各 1 個）；

◆ 掩模夾 4 個（3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸各 1 個）。

（3）CCD 對準顯微鏡系統(tǒng)包括：

◆ 對準光源 LED 燈；

◆ 雙目雙視場對準顯微鏡主體；

◆ 目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個）；

◆ 物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個）；

◆ CCD 部件；

◆ 22 英寸寬屏液晶顯示器。

（4）電控系統(tǒng)包括：

◆ 單片機控制系統(tǒng)；

◆ 紫外 LED 電源模塊；

◆ 控制柜桌。

（5）氣動系統(tǒng)包括：

◆ 氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關、電磁閥驅動、氣動儀表等 。

(6)．輔助設備配置:

◆ 真空泵 1 臺（干泵）；

◆ *空氣壓縮機 1 臺；

◆ 配套接管 10m；

(7)．備品備件

◆ 對準光源燈 4 只（LED-1W，不包括機器自帶的兩只）；