URE-2000S/25A 型紫外雙面光刻機(jī)
技術(shù)參數(shù)
。曝光面積：6 英寸
。曝光波長：365nm：
。功率密度：＞25mW/cm2
。分辨力：1 μm
。正面雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡：
既可通過目鏡目視對準(zhǔn)，也可通過 CCD+顯示器對準(zhǔn)，光學(xué)合像，光學(xué)倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800倍，物鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍；目鏡三對：4 倍、10 倍、20 倍
。正面立式雙 CCD 對準(zhǔn)系統(tǒng)，光學(xué)放大，0.65-4.5 倍；具備側(cè)向光源
。底面面對準(zhǔn)：采用雙顯微物鏡+CCD+采集卡+計(jì)算機(jī)合像，物鏡軸距范圍 10mm-148mm
。對準(zhǔn)精度：±2 μm（雙面，片厚 0.8mm），±0.8 μm（單面）
。掩模尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸
。樣片尺寸：：2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸，厚度 0.1mm--2mm(雙面)
。曝光方式：定時(shí)（倒計(jì)時(shí)方式）和定劑量
。照明不均勻性： 2.5%（ Ф100mm 范圍），4%（ Ф150 mm 范圍）13
。掩模相對于樣片運(yùn)動(dòng)行程：
X: ±5mm; Y: ±5mm; Thelta: ±6 度
。汞燈功率：350W（直流，進(jìn)口）
。調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)
。數(shù)字設(shè)定對準(zhǔn)間隙和曝光間隙
。具備壓印模塊接口，也具備接近模塊接口
。膠厚：350 μm（SU8 膠，用戶提供檢測條件）
。光源平行性：3.5°
外形尺寸：1300mm（長）x900mm(寬) x1800mm（高）
配置
（1）曝光頭
。冷光橢球鏡
。350 W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺
。冷卻風(fēng)扇
。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（79 個(gè)透鏡）、i 線濾光片、場鏡1、冷光反射鏡 1、反射鏡 2
（2）對準(zhǔn)工件臺
。掩模樣片相對運(yùn)動(dòng)臺
。轉(zhuǎn)動(dòng)臺
。樣片調(diào)平機(jī)構(gòu),自動(dòng)完成
。樣片調(diào)焦機(jī)構(gòu)，氣缸自動(dòng)調(diào)
。承片臺 4 個(gè)（2 英寸、3 英寸、4 英寸、6 英寸）
。掩模夾 4 個(gè)（3 英寸、4 英寸、5 英寸、7 英寸）
。掩模抽拉式上下機(jī)構(gòu)
（3）雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡（帶 CCD，目鏡和監(jiān)視器可同時(shí)觀測）
。光源、電源
。雙目雙視場對準(zhǔn)顯微鏡主體
。目鏡 3 對（10 倍、16 倍、20 倍，共 6 個(gè)）
。物鏡 3 對（4 倍、10 倍、20 倍，共 6 個(gè)）
。立式雙 CCD 光學(xué)對準(zhǔn)系統(tǒng) 14
。側(cè)向?qū)?zhǔn)光源
（4）底面 CCD 對準(zhǔn)系統(tǒng)
。光源、電源
。成像光學(xué)系統(tǒng)
。數(shù)據(jù)采集卡
。CCD
（5）電控系統(tǒng)
。汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)
。單片機(jī)控制系統(tǒng)
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。計(jì)算機(jī)系統(tǒng)（21 英寸寬屏液晶顯示器）
（6）氣動(dòng)系統(tǒng)
。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動(dòng)開關(guān)等
。電磁閥驅(qū)動(dòng)
。氣動(dòng)儀表
（7）其他附件
。真空泵一臺（無油泵）
?？諌簷C(jī)一臺 （音靜泵）
。管道
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