URE-2000/30Z 型光刻機(jī)
1．技術(shù)參數(shù)
。曝光面積：160mmX160mm
。曝光波長：405nm
。分辨力：（膠厚 2m 的正膠）
。自動對準(zhǔn)精度：±0.7mm
。掩模樣片相對運(yùn)動范圍：X：±5mm；Y：±5mm； 
： ±5°
。掩模尺寸：4 英寸、5 英寸、6 英寸、7 英寸
。樣片尺寸：3 英寸、4 英寸、5 英寸、6 英寸
。曝光方式：定時（倒計時方式）和定劑量
。具備接觸式、接近式、真空曝光三種功能
。照明不均勻性： 4%（150mm×150mm 范圍）
。CCD+遠(yuǎn)心鏡頭+顯示器對準(zhǔn)：光學(xué)合像，光學(xué)倍數(shù) 400 倍，光學(xué)+電子放大 800倍
。調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)
。數(shù)字設(shè)定對準(zhǔn)間隙和曝光間隙
。掩模樣片分離間隙：δ=0-500um 連續(xù)可調(diào)
。焦厚：600
（SU8 膠，用戶提供檢測條件）
。光源平行度：1.2º
。曝光能量密度：>20mW/cm 2
2．配置
（1）曝光頭
。冷光橢球鏡
。XYZ 汞燈調(diào)節(jié)臺
。冷卻風(fēng)扇
。350W 進(jìn)口直流高壓汞燈(德國歐司朗)
。光學(xué)系統(tǒng)：固定光欄、可變光欄、快門、準(zhǔn)直鏡鏡 1、準(zhǔn)直鏡鏡 2、蠅眼透鏡組（109 個透鏡）、i 線濾光片、場鏡、冷光反射鏡 1、反射鏡 2 4
（2）對準(zhǔn)工件臺
。樣片電動運(yùn)動臺
。樣片調(diào)平機(jī)構(gòu)，自動完成
。樣片自動調(diào)焦機(jī)構(gòu)
。承片臺 4 個（3 英寸 、4 英寸、5 英寸、6 英寸）
。掩模夾 4 個（4 英寸、5 英寸、6 英寸、7 英寸）
。樣片電動抽拉式上下片機(jī)構(gòu)
（3）CCD+遠(yuǎn)心鏡頭+顯示器對準(zhǔn)系統(tǒng)
。光源、電源
。CCD 兩組
。6 倍遠(yuǎn)心鏡頭 2 對
。21 英寸液晶顯示器
（4）樣片傳輸系統(tǒng)
。片盒 8 個（3 英寸 、4 英寸、5 英寸、6 英寸各 2 個）
。片盒升降臺 2 組
。光學(xué)預(yù)對準(zhǔn)臺
。4 自由度機(jī)械臂（雙臂）
（5）電控系統(tǒng)
。汞燈觸發(fā)電源(350W 直流汞燈)
。單片機(jī)控制系統(tǒng)5
。 控制柜桌
（6）氣動系統(tǒng)
。氣缸、電磁閥、減壓閥、氣動開關(guān)等
。電磁閥驅(qū)動
。氣動儀
（7）其他附件
。真空泵一臺（無油泵）
。空壓機(jī)一臺（*泵）
。管道
注：可接廠房氣源系統(tǒng)
（8）技術(shù)資料
。 使用維修說明書
3．外形尺寸：1800mm（長）1500mm(寬) ?1700mm（高）
4．重量：240kg
5．電源：220V/10A 單相 6
6．功率：≤1800W
7．工作環(huán)境：
。氣壓：1 個標(biāo)準(zhǔn)大氣壓
。工作溫度：22±2℃
。設(shè)備儲存溫度：-40℃—50℃
。潔凈度：1000 級以上（建議）
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