FS-Pro半導體參數(shù)測試儀

FS-Pro半導體參數(shù)測試儀（I-V測試，C-V測試，1/f噪聲測試）

產(chǎn)品特點

√     一體化測試

FS-Pro™集成直流測試，脈沖測試，瞬態(tài)測試，電容測試和低頻噪聲(1/f 噪聲) 測試于單臺儀器中，無需換線和重新探針即可完成全部低頻參數(shù)化表征。

√ 超快速

FS-Pro™引入人工智能驅(qū)動測試技術(shù)，相比傳統(tǒng)半導體參數(shù)測試系統(tǒng)其測試速度可達10倍，在強大速度提升的同時仍保持測試精度。

√ 模塊化架構(gòu)

FS-Pro™采用模塊化架構(gòu)，在保持緊湊機身的同時又可依照需求擴展，并且支持多通道并行測試，可達20路通道，輕松應(yīng)對高密度生產(chǎn)測試。

√ 操作便捷

內(nèi)置測量控制軟件LabExpress™擁有直觀的用戶圖形界面，僅需點擊幾下鼠標就可以完成強大的測試分析功能，同時可以支持多種探針臺和矩陣開關(guān)等設(shè)備，輕松完成晶圓級數(shù)據(jù)的自動測試任務(wù)，更針對半導體制造提供了完善的解決方案。

√ 特色的1/f噪聲測試能力

特別對*制程器件，二維材料器件，光電探測器的測試應(yīng)用，1/f噪聲作為器件的本征重要參數(shù)之一，1/f噪聲性能制約著器件的實際應(yīng)用能力，1/f噪聲廣泛地存在于各種組分和結(jié)構(gòu)的半導體器件中，同時又敏感的反映材料和器件的許多潛在缺陷，因此1/f噪聲的測量和分析成為評估半導體器件質(zhì)量表征和可靠性的一種新手段。

主要組件性能指標

FS380高精度源測量單元SMU

●   直流測試

±200V/1A 量程，20W輸出功率，最小30fA電流測量精度，30uV電壓測量精度，四象限操作

● 脈沖測試

±200V/3A 量程，480W輸出功率，最小5pA電流測量精度，30uV電壓測量精度，最小脈沖寬度50us

● 瞬態(tài)測試

任意波形輸出，采樣率1.8MS/s，最小10us時間步進

● 電容測試（CV）

±200V/1A 量程，10Hz-10kHz帶寬，20fF~1mF測量范圍

● 1/f噪聲測試

帶寬0.1Hz-100KHz，1e-28A^2⁄Hz 本底噪聲，200V Bias，8s/bias測試速度；

FS336 外置LCR模塊

● 電容測試（CV，CF）

● ±40V量程，40Hz~8MHz帶寬

● 100fF~10mF測量范圍

Labexpress圖形化測試軟件

LabExpress™量測軟件提供完整的直流，脈沖，瞬態(tài)，電容和噪聲測試功能，內(nèi)建常見MOSFET，BJT，二極管，電阻，電容器件類型庫，測試類型豐富齊全，沒有器件知識的新人也可以輕松上手，更針對半導體晶圓廠的日常應(yīng)用提供了一整套解決方案。在測試數(shù)據(jù)分析功能上LabExpress™也毫不遜色，豐富的曲線變換與繪圖功能，常用的代數(shù)運算操作，使即時結(jié)果分析變得更加簡單。

業(yè)界使用情況

在工業(yè)領(lǐng)域，FS-Pro™已經(jīng)被多的設(shè)計公司和半導體代工廠，IDM和設(shè)計公司采用，精度，速度和可靠性通過了嚴苛的工業(yè)認證。在科研領(lǐng)域，F(xiàn)S-Pro™ 已被數(shù)十所大學及研究機構(gòu)所采用，至今已經(jīng)支持了數(shù)十篇學術(shù)論文的發(fā)表。低頻噪音作為一種有效的非損傷性實驗手段越來越被學者們認可，F(xiàn)S-Pro™作為的集成噪音測試功能的半導體參數(shù)分析儀在前沿新材料新器件研發(fā)工作中越來越*。