產(chǎn)品介紹:
名稱(chēng):超聲波掃描顯微鏡
型號(hào):V-400E
產(chǎn)地:德國(guó)
應(yīng)用:晶圓面處分層缺陷;錫球、晶圓、或填膠中的開(kāi)裂;晶圓的傾斜;各種可能之孔洞(晶圓接合面、錫球、填膠…等)
產(chǎn)品應(yīng)用:
超聲波掃描顯微鏡應(yīng)用領(lǐng)域:
- 半導(dǎo)體電子行業(yè):半導(dǎo)體晶圓片、封裝器件、大功率器件IGBT、紅外器件、光電傳感器件、SMT貼片器件、MEMS等;
- 材料行業(yè):復(fù)合材料、鍍膜、電鍍、注塑、合金、超導(dǎo)材料、陶瓷、金屬焊接、摩擦界面等;
- 生物醫(yī)學(xué):活體細(xì)胞動(dòng)態(tài)研究、骨骼、血管的研究等
超聲波掃描顯微鏡在失效分析中的應(yīng)用:
- 晶圓面處分層缺陷
- 錫球、晶圓、或填膠中的開(kāi)裂
- 晶圓的傾斜
- 各種可能之孔洞(晶圓接合面、錫球、填膠…等)
超聲波顯微鏡的在失效分析中的優(yōu)勢(shì):
- 非破壞性、無(wú)損檢測(cè)材料或IC芯片內(nèi)部結(jié)構(gòu)
- 可分層掃描、多層掃描
- 實(shí)施、直觀的圖像及分析
- 缺陷的測(cè)量及缺陷面積和數(shù)量統(tǒng)計(jì)
- 可顯示材料內(nèi)部的三維圖像
- 對(duì)人體是沒(méi)有傷害的
- 可檢測(cè)各種缺陷(裂紋、分層、夾雜物、附著物、空洞、孔洞等)
主要參數(shù):
- -該型號(hào)超聲波掃描顯微鏡系統(tǒng)是實(shí)驗(yàn)室、研發(fā)和工業(yè)生產(chǎn)線(xiàn)主流機(jī)型。
- - 掃描速度可達(dá):2000mm/s
- - 與其它品牌機(jī)型相比掃描效率高30%
- - 掃描范圍:400mm×400mm
- - 最小掃描范圍:200μm×200μm
- - 射頻帶寬:500MHz
- - 新型FCT防誤判探頭
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