曝光燈HBO 200W/DC ,HBO 350W/S,HBO 1000W/D,HBO 5000W/S
HBO® short-arc mercury varour lamps for microlithography
適用SUSS蘇斯光刻機型的曝光燈
燈管型號 壽命(H) 適用SUSS蘇期光刻機型
HBO 200W/DC 1000H MJB3, MJB4
HBO 350W/S 600H MA4, MA6, MA8, MA150, MJB3, MJB21,UV300/500
HBO 1000W/D 1000H MA150,MA200,MA4,MA6, MA8
HBO 5000W/S 1000H MA300
以下是歐司朗曝光燈的技術(shù)參數(shù),適用于蘇斯光刻機以及ASML阿斯麥,NIKON尼康,Canon佳能,EVG, OAI等品牌光刻機