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光刻機(jī)溫度控制裝置該如何選型

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公司名稱無錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司
品牌其他品牌
型號(hào)AES-4535
所在地無錫市
廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間2021/3/26 14:21:30
訪問次數(shù)1037

產(chǎn)品標(biāo)簽:

元器件水冷機(jī)chiller unit 元器件冷水機(jī)高低溫測(cè)試裝置導(dǎo)熱油溫控系統(tǒng)

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公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

無錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司是一家集研發(fā)、生產(chǎn)和銷售為一體的GAO端裝備制造企業(yè)，專業(yè)生產(chǎn)研發(fā)制冷加熱控溫系統(tǒng)、超低溫冷凍機(jī)、半導(dǎo)體控溫Chiller、新能源用控溫控流量系統(tǒng)等專用設(shè)備，廣泛應(yīng)用于醫(yī)藥化工、半導(dǎo)體、新能源、儲(chǔ)能、數(shù)據(jù)中心、太陽能光伏等領(lǐng)域。

無錫冠亞恒溫制冷技術(shù)有限公司擁有數(shù)位在超低溫、高低溫開發(fā)方面具有豐富經(jīng)驗(yàn)的高素質(zhì)專業(yè)設(shè)計(jì)人員的研發(fā)隊(duì)伍。特別是反應(yīng)釜高精度控溫為單一介質(zhì)控制-90度～+250度連續(xù)控溫，并且高精度線性控制反應(yīng)釜物料溫度。產(chǎn)品溫度范圍涉及-152度到350度。

門頭.jpg

我們的成功源自于不懈地幫助客戶提高生產(chǎn)力。

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制冷加熱循環(huán)器、加熱制冷控溫系統(tǒng)、反應(yīng)釜溫控系統(tǒng)、加熱循環(huán)器、低溫冷凍機(jī)、低溫制冷循環(huán)器、冷卻水循環(huán)器、工業(yè)冷處理低溫箱、超低溫保存箱、藥品穩(wěn)定性測(cè)試箱、試驗(yàn)箱、培養(yǎng)箱、加熱制冷恒溫槽等設(shè)備。

產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢價(jià)

產(chǎn)地	國(guó)產(chǎn)	產(chǎn)品大小	小型
產(chǎn)品新舊	全新	結(jié)構(gòu)類型	密封式,立式
結(jié)構(gòu)類型	密封式,立式	溫度	常溫冷水機(jī)

元器件高低溫測(cè)試裝置在用于惡劣環(huán)境的半導(dǎo)體電子元件的制造中，IC封裝組裝和工程和生產(chǎn)的測(cè)試階段包括在溫度（-85℃至+ 250℃）下的電子冷熱測(cè)試和其他環(huán)境測(cè)試模擬。光刻機(jī)溫度控制裝置該如何選型

光刻機(jī)溫度控制裝置該如何選型產(chǎn)品信息

蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求

型號(hào)		AES-4535 AES-4535W	AES-6035 AES-6035W	AES-8035 AES-8035W	AES-A1035W	AES-A1235W

溫度范圍		-45℃～225℃	-60℃～225℃	-80℃～225℃	-100℃～225℃	-120℃～225℃
制冷量	-45℃	2.5kW
	-60℃		2kW
	-80℃			1.5kW
	-100℃				1.2kW
	-120℃					1.2kW
溫控精度		±0.5℃	±0.5℃	±1℃	±1℃	±1℃
溫度轉(zhuǎn)換時(shí)間		-25℃ to 150℃ 約10S 150℃to -25℃ 約20s	-45℃ to 150℃ 約10S 150℃to -45℃ 約20s	-55℃ to 150℃ 約10S 150℃to -55℃ 約15s	-70℃ to 150℃ 約10S 150℃to -70℃ 約20s	-80℃ to 150℃ 約11S 150℃to -80℃ 約20s


空氣要求		空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度：5℃～32℃ 0～50%RH


空氣處理能力		7m³/h ～ 25m³/h 壓力5bar～7.6bar
系統(tǒng)壓力顯示		制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實(shí)現(xiàn)（高壓、低壓）循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測(cè)顯示在觸摸屏上

控制器		西門子PLC，模糊PID控制算法
溫度控制		控制出風(fēng)口溫度
可編程		可編制10條程序，每條程序可編制10段步驟
通信協(xié)議		以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議
設(shè)備內(nèi)部溫度反饋		設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設(shè)備有）
溫度反饋		T型溫度傳感器
壓縮機(jī)		法國(guó)泰康/艾默生
蒸發(fā)器		套管式換熱器
加熱器		法蘭式桶狀加熱器
制冷附件		丹佛斯/艾默生配件（干燥過濾器、油分離器、高低壓保護(hù)器、膨脹閥、電磁閥）
操作面板		無錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出
安全防護(hù)		具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過載保護(hù)；高壓壓力開關(guān)，過載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。
制冷劑		冠亞混合制冷劑
外接保溫軟管		方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍
外型尺寸（風(fēng)）cm		5469132	5469132	7573133	80120185	100150185
外型尺寸（水）cm		5469132	5469132	7573133	70100175	80120185
風(fēng)冷型		采用銅管鋁翅片冷凝方式，冷凝風(fēng)機(jī)采用德國(guó)EBM軸流風(fēng)機(jī)
水冷型 W		帶W型號(hào)為水冷型
水冷冷凝器		板式換熱器（務(wù)必確保冷卻水清潔）
冷卻水量 at 25℃		0.6m³/h G3/8	1.2m³/h G3/4	1.6m³/h G1	2.6m³/h G1	3m³/h G1

電源 50HZ max		3.7kW 220V	5kW 220V	5kW 220V	6.8kW 220V	7.5kW 220V
電源		可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相
外殼材質(zhì)		冷軋板噴塑（標(biāo)準(zhǔn)顏色7035）
溫度擴(kuò)展		高溫到 +300℃

蝕刻液冷卻裝置的類型和機(jī)油要求

光刻機(jī)溫度控制裝置該如何選型

　　如何選擇合適的工業(yè)冷水機(jī)組，在機(jī)組的設(shè)計(jì)上又應(yīng)該注意哪些方面呢?

　　1. 使用光刻機(jī)溫度控制裝置還是水冷式冷水機(jī)

　　工業(yè)冷水機(jī)組的冷凝方式分為風(fēng)冷式和水冷式，對(duì)應(yīng)的設(shè)備也常被稱為光刻機(jī)溫度控制裝置組和水冷式工業(yè)冷水機(jī)組，光刻機(jī)溫度控制裝置組的選型先要考慮是否適合采用風(fēng)冷的冷凝方式

　　2. 確定制冷量需求

　　需要計(jì)算待控溫設(shè)備實(shí)際應(yīng)用所需要的制冷量是多少，通?？梢愿鶕?jù)客戶所提供的制冷量或壓縮機(jī)功率要求來直接確定，也可以根據(jù)實(shí)際工藝情況和經(jīng)驗(yàn)來進(jìn)行估算，需要注意的是通常所說光刻機(jī)溫度控制裝置組的制冷量指的是額定制冷量，還需要結(jié)合實(shí)際環(huán)境溫度等因素來計(jì)算。

　　3. 蒸發(fā)器的選擇

　　蒸發(fā)器類型：盤管式蒸發(fā)器 / 殼管式蒸發(fā)器 / 板式換熱器

　　蒸發(fā)器材質(zhì): 被冷卻液體（載冷劑）是否有耐酸耐堿等防腐要求，需要采用不銹鋼、鈦管等特殊材料

　　4. 循環(huán)水泵的選擇

　　應(yīng)結(jié)合應(yīng)用設(shè)備的管道、安裝距離、控溫精度等因素來確定光刻機(jī)溫度控制裝置組中冷凍水循環(huán)泵的流量及揚(yáng)程。

　　光刻機(jī)溫度控制裝置的選型還有其他許多需要注意的方面，如供電電壓、冷媒是否有要求等等，在此不再一一贅述。

關(guān)鍵詞：壓力表傳感器控制器壓縮機(jī) 蒸發(fā)器