| 型號(hào) | AES-4535 AES-4535W | AES-6035 AES-6035W | AES-8035 AES-8035W | AES-A1035W | AES-A1235W | |
| 溫度范圍 | -45℃～225℃ | -60℃～225℃ | -80℃～225℃ | -100℃～225℃ | -120℃～225℃ | |
| 制冷量 | -45℃ | 2.5kW | ||||
| -60℃ | 2kW | |||||
| -80℃ | 1.5kW | |||||
| -100℃ | 1.2kW | |||||
| -120℃ | 1.2kW | |||||
| 溫控精度 | ±0.5℃ | ±0.5℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | |
| 溫度轉(zhuǎn)換時(shí)間 | -25℃ to 150℃ 約10S 150℃to -25℃ 約20s | -45℃ to 150℃ 約10S 150℃to -45℃ 約20s | -55℃ to 150℃ 約10S 150℃to -55℃ 約15s | -70℃ to 150℃ 約10S 150℃to -70℃ 約20s | -80℃ to 150℃ 約11S 150℃to -80℃ 約20s | |
| 空氣要求 | 空氣濾清器<5um 空氣含油量:<0.1ppm 空氣溫濕度：5℃～32℃ 0～50%RH | |||||
| 空氣處理能力 | 7m³/h ～ 25m³/h 壓力5bar～7.6bar | |||||
| 系統(tǒng)壓力顯示 | 制冷系統(tǒng)壓力采用指針式壓力表實(shí)現(xiàn)（高壓、低壓） 循環(huán)系統(tǒng)壓力采用壓力傳感器檢測(cè)顯示在觸摸屏上 | |||||
| 控制器 | 西門(mén)子PLC，模糊PID控制算法 | |||||
| 溫度控制 | 控制出風(fēng)口溫度 | |||||
| 可編程 | 可編制10條程序，每條程序可編制10段步驟 | |||||
| 通信協(xié)議 | 以太網(wǎng)接口TCP/IP協(xié)議 | |||||
| 設(shè)備內(nèi)部溫度反饋 | 設(shè)備出口溫度、制冷系統(tǒng)冷凝溫度、環(huán)境溫度、壓縮機(jī)吸氣溫度、冷卻水溫度（水冷設(shè)備有） | |||||
| 溫度反饋 | T型溫度傳感器 | |||||
| 壓縮機(jī) | 法國(guó)泰康/艾默生 | |||||
| 蒸發(fā)器 | 套管式換熱器 | |||||
| 加熱器 | 法蘭式桶狀加熱器 | |||||
| 制冷附件 | 丹佛斯/艾默生配件（干燥過(guò)濾器、油分離器、高低壓保護(hù)器、膨脹閥、電磁閥） | |||||
| 操作面板 | 無(wú)錫冠亞定制7英寸彩色觸摸屏，溫度曲線顯示EXCEL 數(shù)據(jù)導(dǎo)出 | |||||
| 安全防護(hù) | 具有自我診斷功能；相序斷相保護(hù)器、冷凍機(jī)過(guò)載保護(hù)；高壓壓力開(kāi)關(guān)，過(guò)載繼電器、熱保護(hù)裝置等多種安全保障功能。 | |||||
| 制冷劑 | 冠亞混合制冷劑 | |||||
| 外接保溫軟管 | 方便外送保溫軟管1.8m DN32快接卡箍 | |||||
| 外型尺寸（風(fēng)）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 80*120*185 | 100*150*185 | |
| 外型尺寸（水）cm | 54*69*132 | 54*69*132 | 75*73*133 | 70*100*175 | 80*120*185 | |
| 風(fēng)冷型 | 采用銅管鋁翅片冷凝方式，冷凝風(fēng)機(jī)采用德國(guó)EBM軸流風(fēng)機(jī) | |||||
| 水冷型 W | 帶W型號(hào)為水冷型 | |||||
| 水冷冷凝器 | 板式換熱器（務(wù)必確保冷卻水清潔） | |||||
| 冷卻水量 at 25℃ | 0.6m³/h G3/8 | 1.2m³/h G3/4 | 1.6m³/h G1 | 2.6m³/h G1 | 3m³/h G1 | |
| 電源 50HZ max | 3.7kW 220V | 5kW 220V | 5kW 220V | 6.8kW 220V | 7.5kW 220V | |
| 電源 | 可定制460V 60HZ、220V 60HZ 三相 | |||||
| 外殼材質(zhì) | 冷軋板噴塑 （標(biāo)準(zhǔn)顏色7035） | |||||
| 溫度擴(kuò)展 | 高溫到 +300℃ | |||||
半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置開(kāi)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)注意事項(xiàng)
半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置開(kāi)機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)注意事項(xiàng)
操作人員在使用半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置時(shí)，應(yīng)當(dāng)在開(kāi)機(jī)前做好一些準(zhǔn)備工作，這樣可以避免由于非正常條件下啟動(dòng)引起的半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置故障報(bào)警。
操作半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置開(kāi)機(jī)時(shí)應(yīng)當(dāng)注意以下幾點(diǎn)：
1、一般壓縮機(jī)等部件的電壓范圍是不允許超過(guò)額定電壓的范圍，如果機(jī)組在運(yùn)行時(shí)出現(xiàn)電壓不穩(wěn)定或是缺相等故障，嚴(yán)重的會(huì)造成壓縮機(jī)、水泵等電機(jī)部件燒毀。所以檢查半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置的供電電壓值是否與設(shè)備標(biāo)示的電壓、頻率一致是非常重要的，另外還需要檢查半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置電控部分如接觸器、傳感器等部件的接線是否牢固。
2、檢查完電控系統(tǒng)、水循環(huán)系統(tǒng)，還需要檢查制冷系統(tǒng)，這里一般是查看半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置上的高壓壓力表和低壓壓力表，通過(guò)上面顯示的壓力值我們可以判定半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置的制冷劑及系統(tǒng)是否正常，如果出現(xiàn)壓力值為零或是高低壓超出正常范圍，那就需要排查故障后再啟動(dòng)半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置。
3、我們檢查完半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置的電路以后，還要檢查水路系統(tǒng)（可能包含冷卻水系統(tǒng)、冷凍水系統(tǒng)以及供水水源等）是否運(yùn)轉(zhuǎn)正常，如水循環(huán)管路上的閥門(mén)是否已經(jīng)打開(kāi)等等。
4、確保半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置的長(zhǎng)期穩(wěn)定運(yùn)行需要操作人員更多地了解半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置的相關(guān)知識(shí)，如部件構(gòu)成及運(yùn)行原理、規(guī)范操作流程和保養(yǎng)知識(shí)等等，當(dāng)然如果能有專(zhuān)人來(lái)負(fù)責(zé)操作和維護(hù)那樣就更好了。
設(shè)備操作人員應(yīng)當(dāng)仔細(xì)閱讀半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置的使用說(shuō)明以及半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置廠家所提供的技術(shù)培訓(xùn)內(nèi)容，按步驟操作及維護(hù)保養(yǎng)半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置，這樣才能確保半導(dǎo)體晶圓快速冷卻裝置穩(wěn)定地運(yùn)行。
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