Nanoscope Systems NS3600三維激光共聚焦顯微鏡
NS-3600是一款高速共聚焦激光掃描顯微鏡(CLSM),可用于精確可靠的3維(3D)測(cè)量。 通過快速光學(xué)掃描模塊和信號(hào)處理算法可實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)共聚焦顯微圖像。
這是測(cè)量和檢查微觀3D結(jié)構(gòu)有前途的解決方案,例如半導(dǎo)體晶圓,F(xiàn)PD產(chǎn)品,MEMS器件,玻璃基板和材料表面。
Features & Benefits(性能及優(yōu)勢(shì)):
高分辨無損傷光學(xué)3D測(cè)量 自動(dòng)傾斜補(bǔ)償
實(shí)時(shí)共焦成像 簡(jiǎn)單的數(shù)據(jù)分析模式
多種光學(xué)變焦 雙Z掃描
大范圍拼接 半透明基材的特征檢測(cè)
實(shí)時(shí)CCD明場(chǎng)和共聚焦成像 無樣品準(zhǔn)備
Application field(應(yīng)用領(lǐng)域):
NS-3600是測(cè)量低維材料的有前途的解決方案。
可測(cè)量微米和亞微米結(jié)構(gòu)的高度,寬度,角度,面積和體積,例如
-半導(dǎo)體:IC圖形,凹凸高度,線圈高度,缺陷檢測(cè),CMP工藝
- FPD產(chǎn)品:觸摸屏屏幕檢測(cè),ITO圖案,LCD柱間距高度
- MEMS器件:結(jié)構(gòu)三維輪廓,表面粗糙度,MEMS圖形
-玻璃表面:薄膜太陽能電池,太陽能電池紋理,激光圖案
-材料研究:模具表面檢測(cè),粗糙度,裂紋分析