NS3500三維激光共聚焦顯微鏡
NS-3500是一種精確、可靠的三維(3D)測量高速共焦激光掃描顯微鏡(CLSM)。通過快速光學(xué)掃描模塊和信號(hào)處理算法實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結(jié)構(gòu),如半導(dǎo)體晶片,F(xiàn)PD產(chǎn)品,MEMS設(shè)備,玻璃基板,材料表面等方面擁有*的優(yōu)勢。
Features & Benefits(性能及優(yōu)勢):
高分辨無損傷光學(xué)3D測量 自動(dòng)傾斜補(bǔ)償
實(shí)時(shí)共焦成像 簡單的數(shù)據(jù)分析模式
多種光學(xué)變焦 雙Z掃描
大范圍拼接 半透明基材的特征檢測
實(shí)時(shí)CCD明場和共聚焦成像 無樣品準(zhǔn)備
Software (軟件):
Application field(應(yīng)用領(lǐng)域):
NS-3500是測量低維材料的有前途的解決方案。
可測量微米和亞微米結(jié)構(gòu)的高度,寬度,角度,面積和體積,例如
-半導(dǎo)體:IC圖形,凹凸高度,線圈高度,缺陷檢測,CMP工藝
- FPD產(chǎn)品:觸摸屏屏幕檢測,ITO圖案,LCD柱間距高度
- MEMS器件:結(jié)構(gòu)三維輪廓,表面粗糙度,MEMS圖形
-玻璃表面:薄膜太陽能電池,太陽能電池紋理,激光圖案
-材料研究:模具表面檢測,粗糙度,裂紋分析