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納米壓印機(jī)

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公司名稱邁可諾技術(shù)有限公司
品牌
型號(hào)
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廠商性質(zhì)其他
更新時(shí)間2021/1/6 13:41:44
訪問次數(shù)1822

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邁可諾技術(shù)（Mycro Technologies）是一家面向大中華及東南亞地區(qū)（包括中國(guó)、香港、澳門、中國(guó)臺(tái)灣、新加坡、馬來西亞、越南等地）科研院所和企業(yè)研發(fā)中心的研究人員，提供歐美日韓實(shí)驗(yàn)室設(shè)備、耗材和的專業(yè)供應(yīng)商。

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壓片機(jī)

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納米壓印機(jī)應(yīng)用：過去五年中，石墨烯的氣體傳感器引起了的興趣，顯示出單分子檢測(cè)。近的研究表明，與非圖案化層相比，石墨烯的圖案化強(qiáng)烈地增加了靈敏度。通過標(biāo)準(zhǔn)程序生長(zhǎng)CVD石墨烯，然后轉(zhuǎn)移到Si/SiO2基板上進(jìn)行進(jìn)一步處理。如（Mackenzie，2DMaterials，[/10.1088/2053-1583/2/4/045003]中所述，使用物理陰影掩模和激光......

納米壓印機(jī) 產(chǎn)品信息

納米壓印機(jī)應(yīng)用：過去五年中，石墨烯的氣體傳感器引起了的興趣，顯示出單分子檢測(cè)。

近的研究表明，與非圖案化層相比，石墨烯的圖案化強(qiáng)烈地增加了靈敏度。

通過標(biāo)準(zhǔn)程序生長(zhǎng)CVD石墨烯，然后轉(zhuǎn)移到Si/SiO 2基板上進(jìn)行進(jìn)一步處理。如（Mackenzie，2D Materials，[/10.1088/2053-1583/2/4/045003]中所述，使用物理陰影掩模和激光燒蝕來定義接觸和器件區(qū)域。

使用軟壓印在CNI v2.0中進(jìn)行熱納米壓印光刻，將mr-I7010E壓印抗蝕劑在130℃，6巴壓力下壓印10分鐘，壓力在70℃下釋放。

通過反應(yīng)離子蝕刻將邊緣到邊緣間隔為120-150nm的大面積圖案的孔轉(zhuǎn)移到石墨烯中，并且用丙酮除去殘留的抗蝕劑。

發(fā)現(xiàn)器件具有大約的載流子遷移率發(fā)現(xiàn)器件在加工前具有約2000cm2/Vs的載流子遷移率，之后具有400cm2/Vs的載流子遷移率處理，同時(shí)保持整體低摻雜水平。

關(guān)鍵詞：傳感器