制藥網(wǎng)>產(chǎn)品庫(kù)>儀器儀表>其它儀器儀表>其它儀器儀表>>智能型雙溫區(qū)等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

智能型雙溫區(qū)等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)

參考價(jià)	面議

參考價(jià)

面議

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱(chēng)安徽貝意克設(shè)備技術(shù)有限公司
品牌其他品牌
型號(hào)BTF-1200C-II-AS-500A
所在地合肥市
廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間2020/4/26 10:39:34
訪問(wèn)次數(shù)504

產(chǎn)品標(biāo)簽:

智能型智能型雙溫區(qū)等離子化學(xué)氣相沉積

在線詢(xún)價(jià) 收藏產(chǎn)品查看電話同類(lèi)產(chǎn)品

聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是制藥網(wǎng) 上看到的信息，謝謝!

索取相關(guān)資料

公司介紹主營(yíng)產(chǎn)品

（貝意克） BEQ公司是應(yīng)材料界老顧客要求成立的專(zhuān)業(yè)致力于材料制備設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)型企業(yè)。公司擁有多名海歸技術(shù)專(zhuān)家，顧問(wèn)?？稍诓牧涎芯康母鱾€(gè)領(lǐng)域?yàn)槟艖n解難，公司產(chǎn)品設(shè)計(jì)*，注重細(xì)節(jié)，質(zhì)量可靠，售后無(wú)憂。廣泛應(yīng)用于新能源材料，金屬材料，磁性材料，半導(dǎo)體材料，陶瓷材料，電化學(xué)，薄膜材料，CVD,MOCVD，PECVD ,UPECVD,JPECVD,石墨烯，硅納米管，納米線，藍(lán)寶石（LED），光學(xué)材料，齒科等研究領(lǐng)域。

為更好地服務(wù)于顧客，我公司籌建了多功能實(shí)驗(yàn)室，滿足客戶的各種常規(guī)實(shí)驗(yàn)要求，并有專(zhuān)業(yè)的技術(shù)團(tuán)隊(duì)為您提供更*的建議和方案，讓您能*的選擇到Z適合您實(shí)驗(yàn)的設(shè)備。

貝意克（BEQ）以客戶的需求為使命，為材料學(xué)研究者提供Z適合，*的專(zhuān)業(yè)方案。

Best Equipment (貝意克較好的設(shè)備)將是我們一直追求的目標(biāo)。為客戶解決全套方案是貝意克（BEQ）人的追求！

感動(dòng)式服務(wù)贏市場(chǎng)，專(zhuān)業(yè)性理念立品牌。是貝意克（BEQ）的立業(yè)之本！

以人為本，用人求德。是貝意克（BEQ）用人原則！

展開(kāi)顯示更多內(nèi)容

實(shí)驗(yàn)電爐,干燥箱,壓力機(jī)等

產(chǎn)品簡(jiǎn)介在線詢(xún)價(jià)

產(chǎn)地	國(guó)產(chǎn)	產(chǎn)品新舊	全新

智能型雙溫區(qū)等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)
1.高性能、免維護(hù)
2.工藝流程簡(jiǎn)單
3.溫度控制精確，操作簡(jiǎn)便

智能型雙溫區(qū)等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng) 產(chǎn)品信息

主要特點(diǎn)

　　一、智能型雙溫區(qū)等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)設(shè)備的高溫真空電阻爐溫度控制系統(tǒng)采用經(jīng)典的閉環(huán)負(fù)反饋控制系統(tǒng)，控溫儀表選用智能型程序溫度調(diào)節(jié)儀表控溫，電力調(diào)制器控制;負(fù)載采用小電壓大電流控制，從而大大提高了發(fā)熱元件的壽命，測(cè)溫元件采用 K 型熱偶。30段可編程控溫，PID參數(shù)自整定，操作界面為10寸工控電腦，內(nèi)置PLC控制程序，可將溫控系統(tǒng)、滑軌爐滑動(dòng)(時(shí)間和距離)設(shè)定為程序控制。同時(shí)系統(tǒng)設(shè)置了超溫、欠溫、斷偶報(bào)警保護(hù)功能，大大降低了對(duì)操作人員經(jīng)驗(yàn)的要求，關(guān)鍵電氣元件采用優(yōu)質(zhì)的進(jìn)口產(chǎn)品，做到高性能、免維護(hù)，提高了設(shè)備質(zhì)量的可靠性。

　　二、PECVD是借助于輝光放電等方法產(chǎn)生等離子體，輝光放電等離子體中：電子密度高109-1012cm3電子氣體溫度比普通氣體分子溫度高出10-100倍，使含有薄膜組成的氣態(tài)物質(zhì)發(fā)生化學(xué)反應(yīng)，從而實(shí)現(xiàn)薄膜材料生長(zhǎng)的一種新的制備技術(shù)。通過(guò)反應(yīng)氣態(tài)放電，有效地利用了非平衡等離子體的反應(yīng)特征，從根本上改變了反應(yīng)體系的能量供給方式,低溫?zé)岬入x子體化學(xué)氣相沉積法具有氣相法的所有優(yōu)點(diǎn)，工藝流程簡(jiǎn)單。

三、智能型雙溫區(qū)等離子化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)配有可加熱到400℃的前端預(yù)加熱爐，輔助固態(tài)源蒸發(fā)，后端為雙溫區(qū) ，溫度控制精確，操作簡(jiǎn)便，對(duì)于氣相沉積，二維材料，等離子處理生長(zhǎng)工藝非常合適，也同樣適用于要求快速升降溫的CVD實(shí)驗(yàn)。

技術(shù)參數(shù)

預(yù)熱器參數(shù)：	工作溫度：400℃ zui高溫度：1100℃ zui快升溫速率：≤30℃/min *升溫速率：10℃/min 控溫方式：智能化30段可編程控制工作電壓：AC220V 額定功率：800W 控溫精度：±1℃ 加熱元件：電阻絲
加熱區(qū)參數(shù)：	加熱元件:電阻絲（Fe-Cr-Al Alloy doped by Mo）加熱區(qū)長(zhǎng)度：400mm（200+200mm）恒溫區(qū)長(zhǎng)度: 200mm (100+100mm)（±1℃）工作溫度：1100℃ zui高溫度：1200℃ 控溫方式：模糊PID控制和自整定調(diào)節(jié)，智能化30段可編程控制，具有超溫和斷偶報(bào)警功能控溫精度:±1℃ zui大升降溫速率：≤30℃/min 爐管：高純度石英管Φ25506080100150x2000mm (管徑可選) 標(biāo)準(zhǔn)配件：石英管1支，莫來(lái)石管堵2對(duì)，不銹鋼法蘭1套，氟膠密封圈2套，高溫手套1副，坩堝鉤1支；尺寸約：2000×600×1500 mm（長(zhǎng)、寬、高）備注：可選配單溫區(qū)、雙溫區(qū)、三溫區(qū)等加熱區(qū)。
氣路系統(tǒng)參數(shù)：	質(zhì)量流量計(jì)參考量程（N2)：100sccm、200sccm、500sccm （量程可選）準(zhǔn)確度：±1.5% 線性：±0.5～1.5% 重復(fù)精度：±0.2% 響應(yīng)時(shí)間：氣特性：1～4 Sec，電特性：10 Sec 工作壓差范圍：0.1～0.5 MPa zui大壓力：3MPa 接口：Φ6,1/4'' 顯示：4位數(shù)字顯示工作環(huán)境溫度:5~45高純氣體內(nèi)外雙拋不銹鋼管：Φ6 壓力真空表：－0.1～0.15 MPa, 0.01 MPa/格截止閥：Φ6 連接頭類(lèi)型：雙卡套不銹鋼接頭。備注：可選配一路、兩路、三路、四路等以上質(zhì)量流量計(jì)。
低真空系統(tǒng)參數(shù)：	國(guó)產(chǎn)油泵型號(hào)：BSV-10 抽速：10m³/h 極限真空度：5*10-1pa 電源：220v 50hz 電機(jī)功率：0.4kw 進(jìn)排氣連接口：KF25 用油量：1.1L 電機(jī)轉(zhuǎn)速：1440rpm 工作環(huán)境溫度：5-40℃ 噪音：≤56db 電阻真空計(jì)參數(shù)： 1.配用規(guī)管：ZJ-52T電阻規(guī)， 2.測(cè)量范圍： 10 5 ～10 -1 Pa， 3.測(cè)量路數(shù)： 1路 4.控制范圍： 5×10 3 ～5×10 -1 Pa， 5.控制方式：繼電器觸點(diǎn)輸出，負(fù)載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無(wú)感負(fù)載， 6.電源： 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz， 7.功耗： 20W
射頻源主要參數(shù)：	信號(hào)頻率：13.56 MHz±0.005% 功率輸出范圍：0-500W zui大反射功率:100W 射頻輸出接口：50 Ω, N-type, female 功率穩(wěn)定性：≤5W 諧波分量：≤-50dbc 供電電壓：?jiǎn)蜗嘟涣鳎?87V-253V）頻率50/60HZ 整機(jī)效率：>=70% 功率因素：>=90% 冷卻方式：強(qiáng)制風(fēng)冷備注：可根據(jù)腔體大小選擇射頻源功率。