NIL Technology 公司簡稱NILT,位于北歐小國丹麥,NIL Technology 是一家專門從事生產納米壓印機、納米結構微加工掩膜和各類標準納米壓印模板的高科技公司。其納米壓印設備(Nanoimprint lithography Tools)產品主要有CNI系列紫外/熱壓壓印機,以及EZI-UV NIL納米壓印儀器。
丹麥NILT的壓印機能夠實現(xiàn)納米壓印、熱模壓、滾印、注射模塑和紫外壓印等多種功能,適用于多種應用。
NILT 納米壓印機 主要應用:
壓印易碎的材料、在硅片上制作納米級光柵
制作壓印模板、掩膜
熱壓高深寬比結構圖形
微結構加工
CNI系列壓印機(UV & 熱壓), 纖細輕巧
CNI V2.1 是一款專為實驗室開發(fā)的即插即用,纖細輕巧的納米壓印工具,其能低成本且高效地實現(xiàn)高精度的納米熱壓工藝。它兼具熱壓印和紫外壓印兩種功能,而且可以快速的實現(xiàn)真空環(huán)境下的壓印。這個系統(tǒng)可以方便的根據不同需要進行配置,閑置時也易于收藏。
它可以處理各種不同形狀、格式以及直達100mm(4英寸)的模板和基片。該系統(tǒng)只需要手動裝入和取出模板和基片,其余的操作都是自動化進行,同時附帶軟件還提供了詳細的參數設置,讓客戶對壓印過程實行全名的操控。
特點:
熱壓?。囟冗_240℃)和 紫外壓?。?65nm)兩種功能
真空壓?。?mbar)
即插即用,纖細輕巧,實驗設計、記錄、分析的好幫手
EZI-UV NIL微加工壓印機
EZI UV Nanoimprint System PL400 / 600
EZImprinting是一款具有超高良品產率(> 99%),帶有一步自動脫模制式(ONE-STEP AUTO RELEASE)特色的納米壓印光刻平臺,可精確運作和處理的10納米以內的圖形。
特點:
可處理10nm尺寸內的圖形,99%的良品率
全晶圓壓印,6英寸(NTP-600) ,4英寸(NTP-400),
一步自動脫模(ONE STEP AUTO-RELEASE)技術,避免基板和模板損傷
PLC可編程式軟件和觸控界面
可配合軟硬模板 ,適合不同大小基板和模板
NILT CT100 - 脫模處理設備(Release Agent Treatment Tool)
為了達到高質量的壓印效果,必須保證模具表面的低能量,以確保模具容易從壓印抗蝕劑中脫離。 CT100脫模處理設備是一種易于使用的全自動工具,可在15分鐘內對模具進行防粘涂層。
NILT PC100 - 等離子清潔設備(Plasma cleaning tool)
PC100等離子清潔設備是一款具有下游等離子體的批量清潔工具(晶片垂直放置在腔室內)。 下游等離子體不會攻擊任何有機材料,包括晶片表面上的金屬。 該工具可配備3 nm濾光片,以確保清潔后晶圓上的顆粒污染極低。
NIL仿真軟件
NIL Technology提供Simprint仿真軟件,節(jié)省寶貴的時間來優(yōu)化壓印參數,