雙靶高真空磁控等離子濺射鍍膜儀

輸入功率

單相220 VAC 50 / 60 Hz, 2000 W (包括真空泵和冷水機組)

電源

兩個濺射電源集成在一個控制箱中。

• 直流電源：用于涂覆金屬材料的500 W功率。
• 射頻電源：300 W功率，13.56 MHz頻率，用于涂覆非導(dǎo)電材料。

磁控濺射頭

包括兩個帶有水冷套和百葉窗的2“磁控濺射頭。

此產(chǎn)品頁面中還提供了一個濺射頭型號（在產(chǎn)品選項中）。

• 一個連接到 直流電源以涂覆金屬材料
• 另一個連接到用于非導(dǎo)電材料的RF源
• 靶尺寸要求：2“直徑
• 厚度范圍：0.1 - 5 mm，適用于金屬和非導(dǎo)電目標(biāo)（包括背板）
• 包括一個不銹鋼靶目標(biāo)和一個研究級Al2O3靶 用于樣品測試

定制涂膜機：兩個不帶射頻的直流頭; 兩個沒有DC的RF頭; 可根據(jù)要求提供3個RF頭。

真空室

• 真空室：直徑300毫米×300 mm高度，由不銹鋼制成
• 視口：兩片100毫米直徑玻璃。一個固定；一個可拆卸清潔和更換
• 帶氣動電源桿的鉸接式蓋子可輕松更換靶

樣品臺

• 樣品架是可旋轉(zhuǎn)且可加熱的臺架，由帶銅蓋的陶瓷加熱器制成
• 樣品架尺寸：140 mm直徑對于4"晶圓max
• 轉(zhuǎn)速：1 - 20 rpm可調(diào)，均勻涂層
• 通過數(shù)字溫度控制器，支架溫度可在*高溫度范圍內(nèi)調(diào)節(jié)至高500°C（max2小時），精度為+/- 1.0°C

氣體流量控制

• 安裝了兩個精密質(zhì)量流量控制器（MFC），允許兩種類型的氣體進入  
• 流量: 0 – 200 mL/min可在觸摸屏控制面板上調(diào)節(jié)
• 安裝進氣閥以進行真空釋放

真空泵站

• 包括移動泵站，濺射涂膜機可以放置在工位底部
• 速度為80L/S的高速渦輪泵  與兩級機械泵（220 L / min）相結(jié)合，可實現(xiàn)更大真空水平和更快的抽速。
• 與腔室連接的標(biāo)準(zhǔn)真空度：<4.0E-5 Torr。（帶腔室烘烤的1.0E-6托）。

水冷裝置

包括一個數(shù)字溫控循環(huán)冷水機組 

• 制冷范圍: 5~35 °C
• 流速: 16 L/min
• 泵壓: 14 psi

整體尺寸

蓋子關(guān)閉: 48" × 28" × 32"      

蓋子打開: 48" × 28" × 37"

凈重

160 kg

售后服務(wù)

貨物發(fā)出后，CYKY提供一年免費售后服務(wù)，服務(wù)方式限于電話指導(dǎo)、視頻指導(dǎo)、郵件指導(dǎo)、配件郵寄等遠程。如需要派人現(xiàn)場服務(wù)，客戶需要支付服務(wù)人員差旅費和出差期間的工資。