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集成電路車間對環(huán)境的控制有較為嚴(yán)格的要求。不同的工藝制程對潔凈度的要求也各不相同,例如光刻要求在1級的微環(huán)境下,而化學(xué)機(jī)械研磨則只要求1000級的環(huán)境即可。
集成電路車間相關(guān)分類
①.按功能結(jié)構(gòu)分
集成電路,又稱為IC,按其功能、結(jié)構(gòu)的不同,可以分為模擬集成電路、數(shù)字集成電路和數(shù)/?;旌霞呻娐啡箢悺DM集成電路又稱線性電路,用來產(chǎn)生、放大和處理各種模擬信號(指幅度隨時間變化的信號。例如半導(dǎo)體收音機(jī)的音頻信號、錄放機(jī)的磁帶信號等),其輸入信號和輸出信號成比例關(guān)系。而數(shù)字集成電路用來產(chǎn)生、放大和處理各種數(shù)字信號(指在時間上和幅度上離散取值的信號。例如5G手機(jī)、數(shù)碼相機(jī)、電腦CPU、數(shù)字電視的邏輯控制和重放的音頻信號和視頻信號)。
②.按制作工藝分
集成電路按制作工藝可分為半導(dǎo)體集成電路和膜集成電路。膜集成電路又分類厚膜集成電路和薄膜集成電路。
③.按集成度高低分
集成電路按集成度高低的不同可分為:SSIC 小規(guī)模集成電路、MSIC 中規(guī)模集成電路、LSIC 大規(guī)模集成電路、VLSIC 超大規(guī)模集成電路、ULSIC特大規(guī)模集成電路、GSIC 巨大規(guī)模集成電路也被稱作規(guī)模集成電路或超特大規(guī)模集成電路。
④.按導(dǎo)電類型不同分
集成電路按導(dǎo)電類型可分為雙極型集成電路和單極型集成電路,他們都是數(shù)字集成電路。雙極型集成電路的制作工藝復(fù)雜,功耗較大,代表集成電路有TTL、ECL、HTL、LST-TL、STTL等類型。單極型集成電路的制作工藝簡單,功耗也較低,易于制成大規(guī)模集成電路,代表集成電路有CMOS、NMOS、PMOS等類型。
⑤.按用途分
集成電路按用途可分為電視機(jī)用集成電路、音響用集成電路、影碟機(jī)用集成電路、錄像機(jī)用集成電路、電腦(微機(jī))用集成電路、電子琴用集成電路、通信用集成電路、照相機(jī)用集成電路、遙控集成電路、語言集成電路、報警器用集成電路及各種集成電路。
⑥.按應(yīng)用領(lǐng)域分
集成電路按應(yīng)用領(lǐng)域可分為標(biāo)準(zhǔn)通用集成電路和集成電路。
⑦.按外形分
集成電路按外形可分為圓形(金屬外殼晶體管封裝型,一般適合用于大功率)、扁平型(穩(wěn)定性好,體積小)和雙列直插型。
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