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高低溫分析晶圓測試探針臺

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更新時間:2020-02-18 14:27:43瀏覽次數(shù):549

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產(chǎn)品簡介

非真空環(huán)境下的低溫測試,可達(dá)-100℃ ;大手柄驅(qū)動,操作舒適,無回程差設(shè)計;兼容高倍率金相顯微鏡,可微調(diào)移動 ;0.2微米以上芯片內(nèi)部線路/電極/PAD測試;.高等院校/研究所/公司實驗室使用 ;VCSEL/LD/LED/PD的光功率/光譜測試;可用于12英寸以內(nèi)樣品測試 ;VCSEL/LD/LED/PD的IV/CV特性測試精密絲桿傳動結(jié)構(gòu),線性移動 ;器件的高頻特性測試

詳細(xì)介紹

產(chǎn)品特性

 

1. 非真空環(huán)境下的低溫測試,可達(dá)-100℃     

2. 大手柄驅(qū)動,操作舒適,無回程差設(shè)計

3. 兼容高倍率金相顯微鏡,可微調(diào)移動      

4. 0.2微米以上芯片內(nèi)部線路/電極/PAD測試

5. 高等院校/研究所/公司實驗室使用         

6. VCSEL/LD/LED/PD的光功率/光譜測試

7. 大可用于12英寸以內(nèi)樣品測試                       

8. VCSEL/LD/LED/PD的IV/CV特性測試

9. 精密絲桿傳動結(jié)構(gòu),線性移動          

10. 器件的高頻特性測試(可至300GHz頻率)

 

主要技術(shù)指標(biāo)

 

 

型號

LS-WPS150-TEC

LS-WPS200-TEC

LS-WPS300-TEC

外形

860mm*

850mm*

700mm

880mm*

860mm*

750mm

1400mm*

920mm*

920mm

重量

150公斤

170公斤

250公斤

電力需求

220VC, 50~60Hz

樣品臺

尺寸

6英寸,可360度旋轉(zhuǎn)

8英寸,可360度旋轉(zhuǎn)

12英寸,可360度旋轉(zhuǎn)

行程

X-Y行程6*6英寸

X-Y行程8*8英寸

X-Y行程12*12英寸

移動精度

1um

切換樣品功能

樣品臺快速拉出

樣品固定方式

真空吸附

電學(xué)運用

電學(xué)獨立懸空,可作為背電極使用

針座平臺

規(guī)格

O型平臺,多可以放置8個針座

O型平臺,多可以放置10個針座

O型平臺,多可以放置12個針座

行程&調(diào)節(jié)方式

平臺可以快速升降,行程6mm,并帶自動鎖定功能;可以上下微調(diào),行程25mm,升降精度1um

溫控特性

溫度范圍

-100~200℃

-80~200℃

-60~200℃

溫控精度

溫度分辨率:0.01℃

加熱電源

LVDC低壓直流

低控溫速率

±0.1℃/小時

制冷方式

液氮制冷

光學(xué)特性

顯微鏡行程

X-Y軸行程2英寸*2英寸,Z軸:50.8mm

切換鏡頭方式

顯微鏡氣動升降

放大倍數(shù)

16~100X/20~4000X

鏡頭規(guī)格

目鏡:10X;  物鏡:5X,  10X,  20X,  50X,  100X (選配)

CCD像素

50W(模擬)/200W(數(shù)字)/500W(數(shù)字)

點針規(guī)格

X-Y-Z行程

12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm

機械精度

10微米/2微米/0.7微米/0.1微米

漏電精度

10pA/100fA(配置屏蔽箱時)

接口形式

香蕉頭/鱷魚夾/同軸/叁軸/SMA/K接口

應(yīng)用方向

高低溫環(huán)境下,LD/LED/PD測試,PCB/封裝器測試,射頻測試等

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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