電子工業(yè)無(wú)塵廠房檢測(cè)

1）風(fēng)量或風(fēng)速

1對(duì)于單向流潔凈室,應(yīng)采用截面平均風(fēng)速和截面乘積的方法確定送風(fēng)量,并應(yīng)取離高效過(guò)濾器300mm垂直于氣流的截面作為測(cè)試平面。應(yīng)將測(cè)試平面分成相等的柵格,每個(gè)柵格尺寸應(yīng)為600mm×600mm或末端空氣過(guò)濾器尺寸,測(cè)點(diǎn)應(yīng)在柵格中或不應(yīng)少于3點(diǎn)。每一點(diǎn)的測(cè)試時(shí)間不應(yīng)少于10s。應(yīng)記錄平均值、Z大值和Z小值,并應(yīng)以算術(shù)平均值作為平均風(fēng)速。

2對(duì)于非單向流潔凈室,每一點(diǎn)的測(cè)試時(shí)間不應(yīng)少于10s。

3在每個(gè)末端空氣過(guò)濾器或散流器處,應(yīng)采用風(fēng)口法、風(fēng)管法、風(fēng)罩法等測(cè)量送風(fēng)風(fēng)速確定送風(fēng)量,每個(gè)測(cè)試位置的測(cè)點(diǎn)數(shù)不應(yīng)少于3點(diǎn)。

2）靜壓差

1靜壓差的測(cè)定應(yīng)在所有的門關(guān)閉時(shí)進(jìn)行。

2儀器宜采用各種型式的微壓計(jì),儀表靈敏度應(yīng)小于1.0Pa。

3潔凈廠房有多個(gè)潔凈室(區(qū))時(shí),應(yīng)從Z里面的房間與相鄰房間的壓差測(cè)試開(kāi)始,并應(yīng)按順序向外進(jìn)行檢測(cè)。

  3）高效過(guò)濾器檢漏

1儀器應(yīng)使用采樣量大于1l/min的光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器。

2應(yīng)在過(guò)濾器上風(fēng)側(cè)引入大于等于0.1m(0.5gm)粒子,粒子濃度應(yīng)大于3.5×10P/m3的大氣塵或其他氣溶膠;在過(guò)濾器下風(fēng)側(cè)應(yīng)用粒子計(jì)數(shù)器的等動(dòng)力采樣頭放在距離被檢過(guò)濾器表面20~30mm處,并應(yīng)以5~20mm/s速度移動(dòng)。應(yīng)檢測(cè)包括過(guò)濾器的整個(gè)面和過(guò)濾器周邊、過(guò)濾器框架及其密封處的掃描。 

    4）懸浮粒子數(shù)

1應(yīng)使用采樣量大于1l/min光學(xué)粒子計(jì)數(shù)器,應(yīng)根據(jù)粒徑鑒別能力、粒子濃度適用范圍和計(jì)數(shù)效率等要求選用儀器。儀器應(yīng)有有效的標(biāo)定合格證書(shū)。

2Z少采樣點(diǎn)應(yīng)按下式計(jì)算:

NL=A0.5

式中NL---------Z少采樣點(diǎn)

A-----------潔凈室或被控潔凈區(qū)的面積(m2)。

采樣點(diǎn)應(yīng)均勻分布于潔凈室(區(qū))的整個(gè)面積內(nèi),并應(yīng)位于工作區(qū)的高度。

3每一采樣點(diǎn)的每次采樣量應(yīng)按下式確定:

Vs=（20/Cn，m）x100

式中Vs------每個(gè)采樣點(diǎn)的每次采樣量,以l表示,當(dāng)V很大時(shí),可使用順序采樣法。每個(gè)采樣點(diǎn)的Z小采樣時(shí)間為1min,采樣量應(yīng)至少為2l

Cn.m------被測(cè)潔凈室空氣潔凈度等級(jí)的被測(cè)粒徑的限值(p/m3);

20------在規(guī)定被測(cè)粒徑粒子的空氣潔凈度等級(jí)限值時(shí),可測(cè)到的粒子顆數(shù)(顆)。

4當(dāng)潔凈室(區(qū))僅有一個(gè)采樣點(diǎn)時(shí),則在該點(diǎn)應(yīng)至少采樣3次

   5)氣流流型

1氣流流型的檢測(cè),宜采用氣流目測(cè)法。

2氣流目測(cè)法有示蹤線法、示蹤劑注入法,并應(yīng)用圖像處理技術(shù)記錄和處理。示蹤線法所用纖維或示蹤劑的微粒都不應(yīng)成為潔凈室(區(qū))的一種污染源。

3示蹤線法應(yīng)為通過(guò)觀察放置在測(cè)試桿末端或氣流中細(xì)鋼絲格柵上的絲線或單根尼龍纖維等,直接目測(cè)得到氣流方向或因干擾引起的波動(dòng)。

4示蹤劑注入法,可采用純水噴霧或化學(xué)法生成的乙醇/正二醇等示蹤劑粒子的特性,在高強(qiáng)度光源下進(jìn)行觀察或做成圖像。

5應(yīng)采用圖像處理技術(shù)進(jìn)行氣流目測(cè),本法一般是與示蹤結(jié)合,將在攝像機(jī)或膜上的粒子圖像等經(jīng)技術(shù)處理得到氣流特性。

6氣流目測(cè)的測(cè)點(diǎn)位置、儀器等,應(yīng)根據(jù)潔凈室(區(qū))的具條件洽商確定。  

6)溫度、相對(duì)濕度

1溫度、相對(duì)濕度的檢測(cè)應(yīng)在潔凈室(區(qū))內(nèi)氣流分布均勻狀態(tài)測(cè)試,并應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)試運(yùn)轉(zhuǎn)合格后安排進(jìn)行。溫度、相對(duì)濕度檢測(cè)應(yīng)在凈化空調(diào)系統(tǒng)已經(jīng)運(yùn)轉(zhuǎn),并應(yīng)至少穩(wěn)定運(yùn)行1.0h后運(yùn)行。

2相對(duì)濕度檢測(cè)應(yīng)將潔凈工作區(qū)劃分為等面積網(wǎng)格,每格Z大面積應(yīng)為100m2,應(yīng)每格一個(gè)測(cè)點(diǎn),但每個(gè)房間不應(yīng)少于2個(gè)測(cè)點(diǎn)。

3檢測(cè)用探測(cè)器應(yīng)設(shè)在潔凈室(區(qū))內(nèi)的工作高度,且距潔凈室(區(qū))的吊頂、墻和地面不應(yīng)少于300mm。并應(yīng)考量潔凈室(區(qū))內(nèi)可能存在的熱源的影響。

4檢測(cè)時(shí)間應(yīng)至少1.0h,并應(yīng)至少6min進(jìn)行1次(30s)讀數(shù),記錄。

 7)噪聲

1潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲檢測(cè)應(yīng)采用帶倍頻程分析的聲級(jí)計(jì)。

2潔凈室(區(qū))內(nèi)的噪聲檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)根據(jù)電子產(chǎn)品生產(chǎn)工藝要求確定。噪聲檢測(cè)點(diǎn)宜距地面1.1~1.5m,距墻應(yīng)大于3m;檢測(cè)點(diǎn)的布置宜按潔凈室(區(qū))面積均分,宜每100m2設(shè)一檢測(cè)點(diǎn)  

 8)照度

1潔凈室(區(qū))內(nèi)照度檢測(cè)宜采用便攜式自動(dòng)記錄照度計(jì)。

2照度檢測(cè)應(yīng)在室內(nèi)溫度穩(wěn)定、光源光輸出穩(wěn)定后進(jìn)行。潔凈室(區(qū))照度檢測(cè)不應(yīng)包括生產(chǎn)設(shè)備等的局部照明和備用照明。

3照度檢測(cè)點(diǎn)應(yīng)設(shè)在工作高度,宜距地面0.85m,應(yīng)每25m2設(shè)一個(gè)測(cè)點(diǎn)。

   9)自凈時(shí)間

1自凈時(shí)間檢測(cè),宜用于非單向流潔凈室。

2自凈時(shí)間的檢測(cè),宜采用大氣塵或煙霧發(fā)生器等人工塵源為基準(zhǔn),并宜以粒子計(jì)數(shù)器進(jìn)行檢測(cè),同時(shí)應(yīng)符合下列要求:

1)以大氣塵為基準(zhǔn)時(shí),則必須將潔凈室停止運(yùn)行相當(dāng)時(shí)間在室內(nèi)含塵濃度已接近于大氣濃度時(shí),測(cè)出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N0)。然后開(kāi)機(jī),定時(shí)讀數(shù)(一般可設(shè)置每間隔6s讀數(shù)一次),直到回風(fēng)口處的含塵濃度回復(fù)到原來(lái)的穩(wěn)定狀態(tài),記錄下所需的時(shí)間(t)。

2)以人工塵源為基準(zhǔn)時(shí),應(yīng)將煙霧發(fā)生器放置在離地面1.8m以上室中心,發(fā)煙1~2min后停止,等待1min,測(cè)出潔凈室內(nèi)靠近回風(fēng)口處的含塵濃度(N。)。然后開(kāi)機(jī),方法同上。

3由初始濃度(N)、室內(nèi)達(dá)到穩(wěn)定的濃度(N)、實(shí)際換氣次數(shù)(n),可得到計(jì)算自凈時(shí)間(t0),與實(shí)測(cè)自凈時(shí)間(t)進(jìn)行對(duì)比如果t≤1.2t0,為合格。

4自凈時(shí)間檢測(cè)方法除上述方法外,還有微粒濃度變化率評(píng)估法等。自凈時(shí)間檢測(cè)方法應(yīng)洽商確定。

 10)密閉性檢測(cè)

1密閉性檢測(cè)或稱抑制滲漏測(cè)試,是測(cè)定潔凈室(區(qū))有無(wú)受污染的空氣從周圍具有相同或不相同靜壓的較低潔凈度等級(jí)的潔凈室(區(qū))或非潔凈室(區(qū))侵入。本檢測(cè)一般用于ISO1~5級(jí)潔凈室(區(qū))。

2采用粒子計(jì)數(shù)器法檢測(cè)潔凈室(區(qū))的密閉性,檢測(cè)時(shí)應(yīng)先測(cè)量緊靠被測(cè)圍護(hù)結(jié)構(gòu)表面外部的懸浮粒子濃度,一般此濃度應(yīng)比潔凈室(區(qū))內(nèi)濃度大104,并大于等于3.5×106個(gè)/m3待測(cè)粒徑的粒子。

3潔凈室(區(qū))的施工接縫,包括對(duì)墻板、吊頂?shù)慕涌p和管線、燈具等的接縫的滲漏檢測(cè)，應(yīng)在被測(cè)部位的50~100mm處掃描,其掃描速度為50mm/s。

潔凈室敞開(kāi)門處的滲漏檢測(cè),應(yīng)在距離門0.3~3.0m處測(cè)定潔凈室內(nèi)的懸浮粒子濃度。

記錄并報(bào)告比測(cè)得的外部相同粒徑粒子濃度大于10-3倍的讀數(shù)和位置。

引用標(biāo)準(zhǔn)GB 50591-2010潔凈室施工及驗(yàn)收規(guī)范標(biāo)準(zhǔn)

   11)懸浮微生物的采樣

1采用無(wú)源采樣裝置,如培養(yǎng)皿

2采用有源采樣裝置,如撞擊采樣器、離心采樣器、過(guò)濾采樣器。

GB50597-2010 E.8.2空氣潔凈環(huán)境中懸浮微生物的靜態(tài)或空態(tài)檢測(cè)前,應(yīng)對(duì)各類表面進(jìn)行擦拭消毒,但不得對(duì)室內(nèi)空氣進(jìn)行熏蒸、噴灑之類的消毒。動(dòng)態(tài)檢測(cè)均不得對(duì)表面和空氣進(jìn)行消毒。

GB50597-2010 E.8.3沉降菌檢測(cè)應(yīng)符合下列要求

1使用直徑90mm(90)的培養(yǎng)皿采樣。當(dāng)采用其他直徑培養(yǎng)皿時(shí),應(yīng)使其總面積和90皿總面積相當(dāng)。

2培養(yǎng)皿中灌注胰蛋白酶大豆瓊脂培養(yǎng)基,必須留樣作陰性對(duì)照。

3培養(yǎng)皿表面應(yīng)經(jīng)適當(dāng)消毒清潔處理后,布置在有代表性的地點(diǎn)和氣流擾動(dòng)極小的地點(diǎn)。在亂流潔凈室內(nèi)培養(yǎng)皿不應(yīng)布置在送風(fēng)口正下方。

4當(dāng)用戶沒(méi)有特定要求時(shí),培養(yǎng)皿應(yīng)布置在地面及其以上8m之內(nèi)的任意高度。

5每一間潔凈室或每一個(gè)控制區(qū)應(yīng)設(shè)1個(gè)陰性對(duì)照皿。

6動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)時(shí)也可協(xié)商布點(diǎn)位置和高度。

7培養(yǎng)皿數(shù)應(yīng)不少于微粒計(jì)數(shù)濃度的測(cè)點(diǎn)數(shù),如工藝無(wú)特殊要求應(yīng)大于等于表1中的Z少培養(yǎng)皿數(shù),另外各加1個(gè)對(duì)照皿。

8當(dāng)延長(zhǎng)沉降時(shí)間時(shí),可按比例減少Z少培養(yǎng)皿數(shù),為防止脫水,Z長(zhǎng)沉降時(shí)間不宜超過(guò)1h,當(dāng)所需沉降時(shí)間超過(guò)1b可重疊多皿連續(xù)采樣。除非經(jīng)過(guò)驗(yàn)證,證明更長(zhǎng)的沉降時(shí)間可以

基本按比例增加菌落數(shù)。

9培養(yǎng)皿應(yīng)從內(nèi)向外布置,從外向內(nèi)收皿。

10每布置完1個(gè)皿,皿蓋只允許斜4放在皿邊上,對(duì)照皿蓋挪開(kāi)即蓋上。

11布皿前和收皿后,均應(yīng)用雙層包裝保護(hù)培養(yǎng)皿,以防污染。

12收皿后皿應(yīng)倒置擺放,并應(yīng)及時(shí)放入培養(yǎng)箱培養(yǎng),在培養(yǎng)箱外時(shí)間不宜超過(guò)2h。如無(wú)專業(yè)標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定,對(duì)于檢測(cè)細(xì)菌總數(shù),培養(yǎng)溫度采用(35~37)℃,培養(yǎng)時(shí)間為(24~48)h;對(duì)于檢測(cè)真菌,培養(yǎng)溫度(27~29)℃,培養(yǎng)時(shí)間3d。

13布皿和收皿的檢測(cè)人員必須穿無(wú)菌服,但不得穿大褂。頭、手均不得裸露,褲管應(yīng)塞在襪套內(nèi),并不得穿拖鞋。

14對(duì)培養(yǎng)后的皿上菌落計(jì)數(shù)時(shí),應(yīng)采用5~10倍放大鏡查看,若有2個(gè)或更多的菌落重疊,可分辨時(shí)則以2個(gè)或多個(gè)菌落計(jì)數(shù)。

15當(dāng)單皿菌落數(shù)太大受到質(zhì)疑時(shí),可按以下原則之一進(jìn)行處理:

1)作為壞點(diǎn)剔除;

    2)重測(cè),如結(jié)果仍大,以兩次平均值為準(zhǔn);如結(jié)果很小可再重測(cè)；

3)重測(cè)該處微粒濃度,參考此結(jié)果作出判斷。

所有上述處理方法均應(yīng)記錄在案

16每皿平均菌落數(shù)取到小數(shù)點(diǎn)后1位。

17動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)時(shí)每點(diǎn)疊放多個(gè)平皿或采用可自動(dòng)切換的儀器,每點(diǎn)應(yīng)采滿4h以上,每皿采30min。當(dāng)只放1個(gè)皿時(shí),可少于4h,但不可少于1h。

GB50597-2010 E.8.4浮游菌采樣應(yīng)符合下列要求

1使用單級(jí)或多級(jí)撞擊式采樣器、離心采樣器或過(guò)濾采樣器,采樣必須按所用儀器說(shuō)明書(shū)的步驟進(jìn)行,特別要注意檢測(cè)之前對(duì)儀器消毒滅菌,并對(duì)培養(yǎng)皿或培養(yǎng)基條做陰性對(duì)照。

2采樣點(diǎn)數(shù)應(yīng)不少于微粒計(jì)數(shù)濃度測(cè)點(diǎn)數(shù)。

3采樣點(diǎn)應(yīng)在離地0.8m高平面上均勻布置,或經(jīng)委托方（用戶)與檢測(cè)方協(xié)商確定。亂流潔凈室內(nèi)不得在送風(fēng)口正下方布點(diǎn)。靜態(tài)或空態(tài)檢測(cè)前對(duì)室內(nèi)各種表面應(yīng)作擦拭消毒。

4每點(diǎn)采樣1次,如工藝無(wú)特殊要求,每次采樣量應(yīng)大于等于表2*的浮游菌Z小采樣量。

每次采樣時(shí)間不宜超過(guò)15min，不應(yīng)超過(guò)30min。

當(dāng)潔凈度很高，或預(yù)期含菌濃度可能很低時(shí)，采樣量應(yīng)大于Z小采樣量很多，以滿足減少計(jì)數(shù)誤差的要求。

5 采樣器應(yīng)用支架固定，采樣時(shí)檢測(cè)人員應(yīng)退出，手持離心式采樣器除外。檢測(cè)人員的穿戴同本附錄GB50597-2010 E.8.3條第15款。必須手持采樣器時(shí),應(yīng)將手臂伸直,站于下風(fēng)向。

6采樣后宜在2h之內(nèi)將采樣器中的培養(yǎng)皿或培養(yǎng)基條送入培養(yǎng)箱中培養(yǎng)。

7每點(diǎn)平均值取到小數(shù)點(diǎn)后1位。

8動(dòng)態(tài)監(jiān)測(cè)的測(cè)點(diǎn)位置、數(shù)量和高度由工藝并經(jīng)協(xié)商確定。每間潔凈室或每一個(gè)獨(dú)立受控環(huán)境中各點(diǎn)總采樣量,不分級(jí)別,均應(yīng)大于1m3。每點(diǎn)可用多臺(tái)采樣器。

9單點(diǎn)菌落數(shù)太大時(shí),應(yīng)按附錄E.8.3條第15款的原則處理。

GB50597-2010 E.8.5表面染菌密度檢測(cè)應(yīng)符合下列要求:

1對(duì)于潔凈室內(nèi)圍護(hù)結(jié)構(gòu)、設(shè)備等表面的微生物采樣,應(yīng)采用無(wú)菌棉拭子擦抹法,當(dāng)表面很大,硬且平時(shí),也可采用接觸皿法。

2用規(guī)格板標(biāo)定出面積為625px2的區(qū)塊,對(duì)于圍護(hù)結(jié)構(gòu),每面結(jié)構(gòu)不少于4塊,對(duì)于設(shè)備,每件不少于2塊,取樣地點(diǎn)均協(xié)商確定。

3將無(wú)菌棉拭于含10mL稀釋液試管中浸濕,于管壁上擠干后,對(duì)一區(qū)塊擦抹采樣,橫豎往返8次。每一區(qū)塊使用1根無(wú)菌棉拭。采樣后,以無(wú)菌操作方式將棉拭采樣端剪入原稀釋液試管中,經(jīng)電動(dòng)混勻器震蕩20s或在手掌振打200次。

4取含菌液體1.Oml,以瓊脂灌注法接種平皿,每個(gè)樣本接種2個(gè)平皿,于(35~37)℃培養(yǎng)箱中培養(yǎng)(24~48)h后計(jì)數(shù)。

5必須將本次檢測(cè)所用的稀釋液、棉拭子、培養(yǎng)基等留樣作陰性比照。

6具體事項(xiàng)遵照衛(wèi)生部《消毒技術(shù)規(guī)范》執(zhí)行。

7對(duì)于適用接觸皿采樣的表面,以無(wú)菌操作方式,先將培養(yǎng)基注入硬質(zhì)或軟質(zhì)45平皿,使培養(yǎng)基表面高出培養(yǎng)皿周邊測(cè)試時(shí),將培養(yǎng)皿倒過(guò)來(lái),使培養(yǎng)基表面均勻牢固地按壓住整個(gè)區(qū)域5s,不得有環(huán)形或線性的運(yùn)動(dòng)。

8 對(duì)于圍護(hù)結(jié)構(gòu)，沒(méi)面結(jié)構(gòu)應(yīng)用不少于4個(gè)培養(yǎng)皿按壓，對(duì)于設(shè)備，每件用不少于2個(gè)培養(yǎng)皿按壓。

9 按壓取樣后的培養(yǎng)皿，應(yīng)在2h之內(nèi)，與（35-37）℃培養(yǎng)箱中培養(yǎng)（24-48）h后計(jì)數(shù)。

10 菌數(shù)平均數(shù)取到小數(shù)點(diǎn)后1位。