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主營(yíng)產(chǎn)品： 蒸餾系統(tǒng);反應(yīng)釜;壓縮機(jī);蒸餾裝置;高壓反應(yīng)釜;隔膜式壓縮機(jī);溶劑回收蒸餾裝置 |
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主營(yíng)產(chǎn)品： 蒸餾系統(tǒng);反應(yīng)釜;壓縮機(jī);蒸餾裝置;高壓反應(yīng)釜;隔膜式壓縮機(jī);溶劑回收蒸餾裝置 |
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更新時(shí)間：2022-09-13 17:17:36瀏覽次數(shù)：302
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薄膜沉積系統(tǒng)核心組件
船型金屬蒸發(fā)器（MEB系列）
CreaPhys船型金屬蒸發(fā)器可用于實(shí)驗(yàn)室研究、小批量生產(chǎn)，從操作真空上講，可在高真空（HV）或超高真空（UHV）狀態(tài)下工作。蒸發(fā)器安裝于一個(gè)水冷底板上，也可以選擇安裝于不同型號(hào)的法蘭盤上。
CreaPhys提供不同型號(hào)的蒸發(fā)器以適用于客戶的不同要求。MEB系列傳統(tǒng)形狀的船型蒸發(fā)器可適用于標(biāo)準(zhǔn)金屬物質(zhì)（如Au, Ag, Cu, Mg等）的蒸發(fā)。如果需要對(duì)具有腐蝕性的可熔性金屬（如鋁和鎳等）進(jìn)行蒸發(fā)，則應(yīng)該選擇氧化鋁坩堝蒸發(fā)器。
技術(shù)參數(shù)： l 溫度范圍： 300°C -1400°C（對(duì)氧化鋁鋁坩堝，可達(dá)1700°C） l 沉積速度：投擲距離250mm條件下，10-2 … 100 A/Sec（與物質(zhì)密切相關(guān)） l 水冷系統(tǒng) | 選項(xiàng)： l 氧化鋁坩堝型蒸發(fā)器；特殊的陶瓷材料船型蒸發(fā)器，及特殊的內(nèi)屏蔽設(shè)計(jì) l 不同材質(zhì)、不同大小的金屬蒸發(fā)器 l 電源供應(yīng) l 不同的安裝架 l 多組蒸發(fā)器 |
船型金屬蒸發(fā)器MEB-X系列
船型蒸發(fā)器體積 | 【大小】 | 訂貨編號(hào) |
0.5 ccm | -0.5 | MEB-0.5 |
1 ccm | -1 | MEB-1 |
2 ccm* | -2 | MEB-2 |
*2ccm體積于與氧化鋁坩堝蒸發(fā)器結(jié)合時(shí)方可配置
法蘭選項(xiàng)
法蘭 | 【法蘭】 | 訂貨編號(hào) |
無(wú)法蘭 | BASE | MEB-【大小】-BASE |
DN63CF* | CF63 | MEB-【大小】-CF63 |
*更大的法蘭、ISO法蘭需要定制。水冷系統(tǒng)沒(méi)有包括。
遮光板選項(xiàng)
氧化鋁蒸發(fā)器 | 【選項(xiàng)】 | 溫度范圍 | 訂貨編號(hào) |
無(wú) | 1400°C | MEB-【大小】-【法蘭】 | |
有 | -AL | 1700°C | MEB-【大小】-【法蘭】-AL |
說(shuō)明：如果這些標(biāo)準(zhǔn)組件不能滿足你的實(shí)際使用要求，歡迎直接咨詢。
下圖為不同用戶定制的各種不同形狀的微型蒸發(fā)器，包括船型、矩形、坩堝型、單個(gè)蒸發(fā)器、多組蒸發(fā)器等。
